流体控制装置的制作方法

1.本公开涉及流体控制装置。


背景技术：

2.已经提出将加热器块安装于底板上的集成单元，并将集成单元加热至规定的温度的集成阀(例如参考专利文献1)。现有技术文献专利文献
3.专利文献1：日本特开平11
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294615号公报


技术实现要素：

(一)要解决的技术问题
4.近年来，通过加热器块加热的集成单元的温度具有高温化的倾向。但是，如果集成单元的温度成为高温，则与该集成单元相邻的流体控制设备的温度也会上升，对在该流体控制设备中流动的流体产生影响。
5.因此，本公开的目的在于，提供一种流体控制装置，其能够抑制对气体管线加热的加热器的热对相邻的流体控制设备产生的影响。(二)技术方案
6.为了实现上述目的，本公开一方式的流体具备：底板；以及气体管线，其设置于所述底板，所述气体管线具备：树脂部件，其沿着规定的方向设置于所述底板；第一托架，其设置在所述树脂部件上；多个接头，其设置在所述第一托架上；多个流体控制设备，其设置于所述多个接头；以及加热器，其安装于所述多个接头及所述多个流体控制设备，所述第一托架具备：第一固定部，其固定于所述树脂部件；第一脚部，其从所述第一固定部向远离所述底板的方向延伸；以及第一设置部，其从所述第一脚部的相对于所述第一固定部侧的相反侧的端部以与所述第一脚部交叉的方式突出，并设置有所述接头。
7.所述第一脚部以及所述第一设置部可以形成为板状。所述树脂部件可以是绝热部件。
8.还可以具备设置于所述底板与所述树脂部件之间的第二托架，所述第二托架可以具备：第二固定部，其固定于所述底板；第二脚部，其从所述第二固定部向远离所述底板的方向延伸；以及第二设置部，其从所述第二脚部的相对于所述第二固定部侧的相反侧的端部以与所述第二脚部交叉的方式突出，并设置有所述树脂部件。(三)有益效果
9.根据本公开，能够提供一种流体控制装置，其能够抑制对气体管线加热的加热器的热对相邻的流体控制设备产生的影响。
附图说明
10.图1是本实施方式的流体控制装置的立体图。图2是气体管线的侧视图。图3是流体控制装置的系统图。图4是树脂部件的立体图。图5是第一托架的立体图。图6是第二托架的立体图。图7是变形例的第一托架的立体图。图8是变形例的第二托架的立体图。
具体实施方式
11.参考附图说明本公开的实施方式的流体控制装置。在以下说明中的上下是图1的上下，将气体管线3延伸的方向作为第一方向d1(规定的方向)，将与底板2平行且与第一方向d1正交的方向作为第二方向d2。
12.图1是本实施方式的流体控制装置1的立体图。图2是气体管线3的侧视图。图3是流体控制装置1的系统图。
13.如图1～图3所示，流体控制装置1具备底板2以及多个气体管线3。在本实施方式中，在底板2上设置有3根气体管线3，但是根数不限于此。
14.底板2由不锈钢等金属材料构成，例如是构成气体盒的底壁的板。在底板2中，形成有多个铆钉孔2a(图2)。各铆钉孔2a形成为圆台形状。
15.各气体管线3具备多个树脂部件4、多个第一托架20、多个第二托架30、入口配管5、出口配管6、连结配管7、8、多个接头9、多个流体控制设备10～17、以及加热器18(图3)。另外，加热器18仅设置在一根气体管线3上。在图1、3中，只在一根气体管线3上标注构成部件的附图标记。加热器18未在图1、2中图示。
16.多个第二托架30设置为沿着第一方向d1在底板2上呈一列排列。多个树脂部件4分别设置在对应的第二托架30上。多个第一托架20分别设置在多个树脂部件4上。对于第一托架20、树脂部件4、以及第二托架30的详细结构将在下文叙述。
17.入口配管5是气体管线3中的流体的入口。出口配管6是气体管线3中的流体的出口。连结配管7将接头9彼此连结。连结配管8将位于最下游的接头9与出口配管6连结。多个接头9形成为块状，位于入口配管5与出口配管6之间，并设置为在多个第一托架20上呈一列排列。在各接头9中形成有气体的流路。各接头9通过未图示的螺栓固定于第一托架20。
18.多个流体控制设备10～17由包含过滤器的手动阀10、自由块11、压力计12、自动阀(例如流体驱动式的自动阀)13、14、16、流量控制设备(例如质量流量控制器(mfc:mass flow controller))15、以及压力开关17构成。如图3所示，各流体控制设备10～16通过螺栓19分别固定在对应的接头9上。为了附图的简略化，仅对一个螺栓19标注附图标记。压力开关17与连结配管8连接。
19.加热器18例如是带状加热器，安装在3根气体管线3中的一根气体管线3上，将该气体管线3加热至规定的温度(例如95℃)。
20.各树脂部件4由绝热性优异的树脂材料(例如ptfe(聚四氟乙烯)、pei(聚醚酰亚胺))构成。如图4所示，各树脂部件4形成为以俯视观看为大致矩形的板状。在各树脂部件4中，在两处形成供螺栓4b(图2)插入的螺栓插入孔4a。
21.图5是第一托架20的立体图。
22.第一托架20通过对金属制(例如sus304、spcc)的平板进行弯曲加工而成形，具备四个第一固定部21、四根第一脚部22、以及第一设置部23。在各第一固定部21中，形成有供螺栓4b(图2)插入的螺栓插入孔21a。各第一脚部22从对应的第一固定部21的内端向上方延伸。即，各第一脚部22从对应的第一固定部21向远离底板2的方向(远离的一侧)延伸。
23.第一设置部23与各第一脚部22的上端连接，与各第一脚部22正交。即，第一设置部23从各第一脚部22的相对于第一固定部21侧的相反侧的端部以与各第一脚部22交叉的方式突出。因此，在第一设置部23与底板2之间形成有空间。在第一设置部23中，形成有供用于固定接头9的未图示的螺栓螺纹结合的多个螺栓螺合孔23a。为了附图的简略化，只对一个螺栓螺合孔23a标注附图标记。
24.图6是第二托架30的立体图。
25.第二托架30通过对金属制(例如sus304、spcc)的平板进行弯曲加工而成形，具备第二固定部31、第二脚部32、以及第二设置部33。在第二固定部31中，在两处形成供铆钉2b(图2)插入的铆钉插入孔31a。第二脚部32从第二固定部31的端缘向上方延伸。即，第二脚部32从第二固定部31向远离底板2的方向(远离的一侧)延伸。
26.第二设置部33与第二脚部32的上端连接，相对于第二脚部32正交。即，第二设置部33从第二脚部32的相对于第二固定部31侧的相反侧的端部以与第二脚部32交叉的方式突出。因此，在第二设置部33与底板2之间形成有空间。在第二设置部33中，在两处形成供螺栓4b(图2)螺纹结合的螺栓螺合孔33a。
27.如图2所示，将铆钉2b插入各第二托架30的第二固定部31的各铆钉插入孔31a(图6)以及底板2的各铆钉孔2a，通过将心轴拉伸并切断，而使第二托架30固定于底板2。
28.各树脂部件4设置在各第二托架30的第二设置部33上，第一托架20的两个第一固定部21设置在各树脂部件4上。螺栓4b插入各树脂部件4的螺栓插入孔4a(图4)以及各第一固定部21的螺栓插入孔21a(图5)，通过使该螺栓4b与各第二设置部33的螺栓螺合孔33a(图6)螺纹结合，而使各树脂部件4以及各第一托架20固定于对应的第二托架30。
29.根据上述流体控制装置1，气体管线3具备沿着第一方向d1设置的树脂部件4、设置在树脂部件4上的第一托架20、设置在第一托架20上的多个接头9、设置于多个接头9的多个流体控制设备10～16、以及安装于多个接头9以及多个流体控制设备10～16的加热器18，第一托架20具备固定于树脂部件4的第一固定部21、从第一固定部21向远离底板2的方向延伸的第一脚部22、以及从第一脚部22的相对于第一固定部21侧的相反侧的端部以与第一脚部22交叉的方式突出且设置有接头9的第一设置部23。
30.根据这种结构，安装有加热器18的多个接头9以及多个流体控制设备10～16通过由第一固定部21、第一脚部22、以及第一设置部23构成的第一托架20而远离底板2配置。由此，由于在多个接头9以及多个流体控制设备10～16与底板2之间形成有空间，因此能够抑制加热器18产生的热传递至底板2。其结果，能够抑制热对与气体管路3相邻的流体控制设备、例如相邻的气体管路3的流体控制设备产生的影响。
31.由于第一脚部22以及第一设置部23形成为板状，因此能够抑制加热器18产生的热传递至底板2。
32.还具备设置于底板2与树脂部件4之间的第二托架30，第二托架30具备固定于底板2的第二固定部31、从第二固定部31向远离底板2的方向延伸的第二脚部32、从第二脚部32的相对于第二固定部31侧的相反侧的端部以与第二脚部32交叉的方式突出并设置有树脂部件4的第二设置部33。
33.根据这种结构，由于在树脂部件4与底板2之间形成有空间，因此能够进一步抑制加热器18产生的热传递至底板2。
34.另外，本公开不限于上述实施方式。本领域技术人员能够在本公开的范围内进行各种追加和变更等。
35.例如，第一托架20的构造不限于图5所示的构造，也可以是如图7所示的第一托架120那样，由两个第一固定部21、两根第一脚部22、以及第一设置部23构成。也可以是如图8所示的第一托架220那样，由一个第一固定部21、一根第一脚部22、以及第一设置部23构成。
36.第二托架30通过铆钉2b而固定于底板2，但也可以通过焊接而固定于底板2。在加热器18之中，对多个接头9以及流体控制设备10～16加热的部分也可以是片式加热器。
37.相对两个第一固定部21设置一个树脂部件4，但也可以相对各第一固定部21设置一个树脂部件4。树脂部件4由多个树脂部件4构成，但也可以是沿着第一方向d1延伸的一条树脂部件4。就第一托架20而言，在一个气体管线3设置两个第一托架20，但也可以是沿着第一方向d1延伸的一个托架20，也可以根据流体控制设备的结构而使用图7所示的第一托架120及图8所示的第一托架220。第二托架30由多个第二托架30构成，但也可以是沿着第一方向d1延伸的一条第二托架30。附图标记
38.1:流体控制装置2:底板3:气体管线4:树脂部件9:接头10～16:流体控制设备18:加热器20:第一托架21:第一固定部22:第一脚部23:第一设置部30:第二托架31:第二固定部32:第二脚部33:第二设置部