一种石英钟罩的密封结构的制作方法

1.本技术涉及真空除气炉密封的领域，尤其是涉及一种石英钟罩的密封结构。


背景技术：

2.目前，在对一些工件进行热处理时，需要在真空状态下对工件进行加热，所使用的设备为通过真空除气炉为工件提高一个真空环境，然后通过加热装置为工件加热，从而达到对工件在真空环境下加热处理的目的。
3.真空除气炉包括真空炉主体以及可拆卸连接在真空炉主体上的用于放置工件石英钟罩，石英钟罩整体为一端开口的管状，其开口端通过一个水冷法兰安装在真空炉主体上。使用时，直接将工件放置在石英钟罩内，并通过真空除气炉的抽真空系统将石英钟罩内的空气抽掉，即可保持石英钟罩内部处于真空状态，然后再通过加热装置对石英钟罩内部的工件进行隔空加热，即可满足工件在真空环境下加热的要求。
4.但是，在对工件进行处理的过程中，外界气体很容易从水冷法兰和石英钟罩之间进入至石英钟罩内部，影响对工件的处理。因此如何保证石英钟罩的密封性，减少外界气体进入至石英钟罩内部的概率是非常重要的。


技术实现要素：

5.为了加强石英钟罩的密封性，降低外界气体进入至石英钟罩内部的概率，本技术提供一种石英钟罩的密封结构。
6.本技术提供的一种石英钟罩的密封结构采用如下的技术方案：
7.一种石英钟罩的密封结构，包括固接在石英钟罩开口端的连接法兰、设置在所述连接法兰和水冷法兰之间的密封圈以及用于将连接法兰固定在水冷法兰上的固定件，所述密封圈不暴露于石英钟罩内部。
8.通过采用上述技术方案，安装时，直接通过固定件将连接法兰安装在水冷法兰上，即可实现石英钟罩的安装，密封圈的设置，在保证连接法兰和水冷法兰之间密封性的基础上，由于不暴露于石英钟罩内部，所以降低了气体通过密封圈而进入至石英钟罩内部的概率。加强了石英钟罩的密封性，降低了外界气体进入至石英钟罩内部的概率。
9.可选的，所述水冷法兰朝向所述石英钟罩的一侧开设有供密封圈嵌入的容置槽。
10.通过采用上述技术方案，密封圈嵌入容置槽内，实现了在对水冷法兰和连接法兰进行密封的同时，还不暴露于石英钟罩内部。
11.可选的，所述容置槽为燕尾槽。
12.通过采用上述技术方案，当密封圈嵌入容置槽内时，燕尾槽可以固定住密封圈在容置槽内的位置，避免密封圈从容置槽中滑出。
13.可选的，所述密封圈为o型圈。
14.通过采用上述技术方案，其价格便宜，制造简单，功能可靠，并且安装要求简单。
15.可选的，所述固定件包括设置在连接法兰远离水冷法兰一侧的压块，所述压块与
所述水冷法兰之间通过螺栓连接。
16.通过采用上述技术方案，通过采用螺栓将压块固定在水冷法兰上，即可将连接法兰夹持在压块和水冷法兰之间，从而固定住连接法兰的位置，实现对石英钟罩的安装。
17.可选的，所述压块和所述连接法兰之间设置有防护垫。
18.通过采用上述技术方案，防护垫可以为连接法兰提供防护，避免压块直接挤压连接法兰而对连接法兰造成损坏。
19.可选的，所述石英钟罩为石英玻璃材质制成的石英钟罩，所述连接法兰为石英玻璃材质制成的连接法兰。
20.通过采用上述技术方案，使得制作完成的石英钟罩具有较高的耐热性，且能够被加热装置的磁场穿透，便于加热装置通过电磁对石英钟罩内部的工件进行隔空加热，且石英玻璃材质能够透过紫外线和红外线，便于后续对石英钟罩内工件的温度进行检测。
21.可选的，所述水冷法兰为不锈钢材质制成的水冷法兰，所述压块为不锈钢材质制成的压块。
22.通过采用上述技术方案，便于加工制造。
23.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
24.1.固定件的设置可以实现连接法兰和水冷法兰的连接，从而实现石英钟罩的安装，密封圈不暴露于石英钟罩内部的设置，使得在实现连接法兰和水冷法兰之间密封的同时，还不会使得气体从密封圈处流至石英钟罩内部，加强了石英钟罩的密封性，降低了外界气体进入至石英钟罩内部的概率；
25.2.燕尾槽的设置，可以固定住密封圈在容置槽中的位置，避免密封圈从容置槽内滑出；
26.3.防护垫的设置，使得连接法兰被夹持在压块和水冷法兰之间从而固定住连接法兰位置的同时，还能够对连接法兰进行保护，避免压块压力过大而压坏连接法兰。
附图说明
27.图1是为了体现现有石英钟罩密封结构所做的示意图。
28.图2是本技术的整体结构示意图。
29.图3是图2中a处的放大示意图。
30.附图标记说明：1、石英钟罩；2、水冷法兰；21、放置槽；22、容置槽；3、密封圈；4、连接法兰；5、固定件；51、压块；6、防护垫。
具体实施方式
31.以下结合附图1-3对本技术作进一步详细说明。
32.参照图1，为现有的石英钟罩1的密封结构，石英钟罩1为一端开口的管状，在水冷法兰2上开设有供石英钟罩1开口端嵌入的放置槽21，通过将石英钟罩1开口端插入放置槽21内，即可实现石英钟罩1和水冷法兰2的连接。其中，为了保证石英钟罩1和水冷法兰2之间的密封，在放置槽21内放置有密封圈3，该密封圈3选用u型密封圈，u型密封圈位于石英钟罩1开口端和放置槽21槽底之间，通过u型密封圈即可实现对石英钟罩1和放置槽21之间的密封。但是由于u型密封圈3一部分位于石英钟罩1内，而石英钟罩1内部处于真空状态，所以将
导致u型密封圈3表面或内部形成微小空隙，气体将从微小空隙中穿过，从而影响对石英钟罩1和水冷法兰2之间的密封。
33.为了加强对石英钟罩1的密封，本技术实施例公开一种石英钟罩的密封结构。参照图2和图3，石英钟罩的密封结构包括一体固接在石英钟罩1开口端的连接法兰4、设置在连接法兰4和水冷法兰2之间的密封圈3以及用于将连接法兰4固定在水冷法兰2上的固定件5，其中密封圈3不暴露于石英钟罩1内部。使得密封圈3将不会由于位于真空状态下而形成供气体流过的空隙，降低外界气体进入至石英钟罩1内部的概率，加强了石英钟罩1的密封性。
34.其中，石英钟罩1可选用石英玻璃材质，其具有较高的耐热性，且能够被加热装置的磁场穿透，便于加热装置在外部对石英钟罩1内部的工件进行电磁隔空加热，且石英玻璃材质能够透过紫外线和红外线，便于后续测温装置的红外线可以透过石英钟罩1对位于石英钟罩1内的工件温度进行检测。因此，与石英钟罩1一体成型的连接法兰4也选用石英玻璃材质，制作更加方便。
35.其中，水冷法兰2可选用不锈钢材质，密封圈3不暴露于石英钟罩1内部具体的可体现为，在连接法兰4朝向水冷法兰2的一侧或者是在水冷法兰2朝向连接法兰4的一侧开设有供密封圈3嵌入的容置槽22，本技术以容置槽22开设在易加工的水冷法兰2上为例进行说明。常态下，水冷法兰2直接和连接法兰4贴合，密封圈3被压持在容置槽22内，且在其自身弹性作用下抵接在连接法兰4上，从而对水冷法兰2和连接法兰4之间进行密封，在实现对石英钟罩1密封的同时，还不会由于密封圈3暴露在真空环境中而导致密封不严的情况产生，大大提高了对石英钟罩1的密封，降低外界气体进入至石英钟罩1内部的概率。
36.同时，为了使得水冷法兰2和连接法兰4之间的密封性更好，在石英钟罩1和连接法兰4一体成型后，再采用二次研磨的方式研磨连接法兰4与水冷法兰2接触的一面，使得连接法兰4用于密封石英钟罩1的端面可以得到更高的平面度，密封效果更好。
37.参照图3，容置槽22可开设为燕尾槽，当将密封圈3放置在容置槽22中时，密封圈3侧壁将伸出容置槽22与连接法兰4抵接实现密封，且燕尾槽的开口端可以限制密封圈3在容置槽22中的位置，避免密封圈3从容置槽22中滑出。
38.密封圈3可选用o型圈，o型圈可采用氟橡胶材质，其价格便宜，制造简单，功能可靠，并且安装要求简单。
39.参照图2和图3，固定件5包括设置在连接法兰4远离水冷法兰2一侧的压块51，压块51整体呈环状，且套装在石英钟罩1上。压块51一侧同时与连接法兰4和水冷法兰2贴合，并通过螺栓与水冷法兰2可拆卸连接，通过螺栓可以将压块51固定在水冷法兰2上，从而将连接法兰4夹持在压块51和水冷法兰2之间，固定住石英钟罩1在水冷法兰2上的位置，完成石英钟罩1的安装。同时，连接法兰4也将挤压密封圈3，达到密封的效果。当需要将工件放置在石英钟罩1内或者是将石英钟罩1内的工件取出时，直接旋下螺栓，取下压块51，即可实现石英钟罩1的拆卸。
40.其中，压块51也可选用不锈钢材质，加工方便。
41.同时，为了避免通过螺栓将压块51固定在水冷法兰2上时，压块51向水冷法兰2方向挤压连接法兰4，而对连接法兰4造成损坏，在压块51和连接法兰4之间设置有防护垫6。防护垫6可选用橡胶材质，可以为连接法兰4起到保护的作用，避免压块51直接与连接法兰4接触而对连接法兰4造成损坏。
42.本技术实施例一种石英钟罩的密封结构的实施原理为：当需要对工件进行处理时，直接将工件安装在石英钟罩1内，并将石英钟罩1的开口端贴合在水冷法兰2上，然后将压块51套设在石英钟罩1上，使得压块51同时与连接法兰4和水冷法兰2贴合，且将防护垫6放置在压块51和连接法兰4之间，再通过螺栓将压块51固定在水冷法兰2上，压块51将向水冷法兰2方向推动连接法兰4，从而将连接法兰4夹持在水冷法兰2和压块51之间，连接法兰4也将挤压密封圈3从而实现连接法兰4和水冷法兰2之间的密封。在实现对石英钟罩1密封的同时，还不会由于密封圈3与石英钟罩1内的真空气体接触而形成微小空隙影响密封，加强了石英钟罩1的密封性，降低外界气体进入至石英钟罩1内部的概率。
43.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。