平台水平度调节机构及包括其的微组件翻贴转移装置的制作方法

1.本实用新型涉及微组件制造领域，特别涉及一种微组件转移装置的平台水平度调整机构。


背景技术：

2.一般的微组件，如微级发光二极管、硅片、微机电系统设备等，在完成芯片化制程后会需要翻贴转移大量的芯片至不同载板以进行后续相应的封装、测试、挑拣、组装等制程，这类翻贴转移的制程基本都需要大量大范围快速地转移。在转移过程中，芯片等微组件从来源基板转移到接收基板，来源基板与接收基板需要保持平行。
3.现有的设备中存在来源基板与接收基板平行度不佳的缺陷。来源基板和接收基板平行度不佳在接触式的转移中可能造成局部过压而损坏微组件，局部压力不足而无法正常转移；而在非接触的转移过程中，平行度的不佳会造成来源基板与接收基板间的间隙随着位置不同而改变，导致微组件转移后发生程度不一的偏位误差问题。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术中来源基板和接收基板平行度不佳的缺陷，提供一种平台水平度调节机构及包括其的微组件翻贴转移装置。
5.本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
6.一种平台水平度调节机构，其包括平台、支架、锁紧件和多个调节杆，所述平台用于承载来源基板或接收基板，所述调节杆活动地设置在所述支架上，所述锁紧件用于锁紧所述调节杆相对所述支架的位置，所述调节杆与所述平台活动连接并能带动所述平台上下移动，所述调节杆的数量至少为三个，且各所述调节杆与所述平台的连接点的联机能围成多边形。
7.在本技术方案中，设置支架以安装调节杆，设置锁紧件以锁紧调节杆使调节杆相对支架的位置固定。设置多个调节杆且调节杆与平台活动连接，通过上下移动调节杆以调节平台各部分的高度，以调整平台的水平度；调节杆的数量至少为三个，且调节板与平台的连接点的联机能围城多边形，即所有的连接点的联机并非在同一直在线，基于三点确定一个平面的原理，通过至少三个调节杆实现平台的至少三个点的高度调节，从而实现平台的水平度调节。通过调节平台的水平度，以调节来源基板和接收基板的水平度。
8.较佳地，所述调节杆与所述平台的侧面连接。
9.在本技术方案中，调节杆设置在平台的侧面，以避免设置调节杆占用平台上表面和下表面的工作台。同时，相较于调节杆与平台的上表面或下表面连接，调节杆与平台侧面连接时结构更为方便实现，平台的结构更易于加工。
10.较佳地，所述调节杆的数量为三个，所述平台和所述支架均为三角形的板状结构，三个所述调节杆分别对应所述支架和所述平台的三个角，并靠近所述支架的边缘设置。
11.在本技术方案中，基于三点确定平面的原理，为实现平台的水平度调节，调节杆的
数量为三个时调节杆的数量最少，即使得平台水平度调节机构的结构简单；调节两个调节杆或三个调节杆就能完成平台的水平度调节，操作便捷。通过操作三个调节杆实现平台的水平度调节，在平台水平度调节过程中，整个机构稳定性强。调节杆靠近支架的边缘设置，是为了避免调节杆干涉到平台水平度调节机构的其他结构，妨碍微组件的转移过程。该结构设置方案的结构相对更紧凑。
12.较佳地，所述调节杆的数量为四个，所述平台为方形的板状结构，四个所述调节杆分别对应所述平台的四个侧面的中部设置。
13.较佳地，所述支架上开设有多个滑动孔，所述调节杆与所述滑动孔相配合且一一对应，所述调节杆能相对所述滑动孔上下滑动。
14.在本技术方案中，通过在支架上开设滑动孔以实现调节杆的上下移动。采用滑动方式实现调节杆的上下移动，结构简单。
15.较佳地，所述支架设置在所述平台的上方。
16.在本技术方案中，将支架设置在平台的上方，便于支架与其他部件连接，从而将平台水平度调节机构安装在其他部件的下方，以便于微组件转运过程的进行。
17.较佳地，所述平台水平度调节机构还包括多个万向接头，所述万向接头与所述调节杆一一对应，且所述调节杆与所述平台通过所述万向接头相连接。
18.在本技术方案中，设置万向接头以连接调节杆和平台。万向连接灵活，万向接头结构简单。
19.较佳地，所述平台上开设有透光孔，所述支架在垂直方向未遮盖所述透光孔。
20.在本技术方案中，平台上开设的透光孔用于使光透过，支架在垂直方向未遮盖平台上的透光孔，是为了避免支架影响光的穿过。
21.较佳地，所述透光孔为方形。
22.在本技术方案中，透光孔为方形或圆形，与工件的形状相适应便于将平台的尺寸设置得小，从而使平台水平度调节机构的结构紧凑。
23.较佳地，所述调节杆围绕所述透光孔设置。
24.在本技术方案中，调节杆围绕透光孔设置，避免调节杆遮盖透光孔。且调节杆围绕透光孔设置，使得平台水平度调节机构结构紧凑。
25.一种微组件翻贴转移装置，所述微组件翻贴转移装置包括前述任一技术方案所述的平台水平度调节机构。
26.本实用新型的积极进步效果在于：
27.通过设置至少三个调节杆，且调节板与平台活动连接并能带动平台上下移动，以实现平台的水平度调节。
附图说明
28.图1为本实用新型实施例1提供的平台水平度调节机构第一视角的结构示意图；
29.图2为本实用新型实施例1提供的平台水平度调节机构第二视角的结构示意图；
30.图3为本实用新型实施例2提供的平台水平度调节机构的结构示意图。
31.附图标记说明：
32.平台水平度调节机构 10
33.平台 1
34.透光孔 2
35.支架 3
36.锁紧件 4
37.万向接头 5
38.调节杆 6
具体实施方式
39.下面通过实施例的方式进一步说明本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在所述的实施例范围之中。
40.实施例1
41.如图1-图2所示，本实施例提供一种平台水平度调节机构10。该平台水平度调节机构10包括平台1、支架3、锁紧件4和多个调节杆6。设置支架3以安装调节杆6，且调节杆6活动地设置在支架3上。锁紧件4用于锁紧调节杆6使调节杆6相对支架3的位置固定。调节杆6与平台1活动连接并通过调节调节杆6带动平台1上下移动。
42.在本实施例中，支架3上开设有多个滑动孔，调节杆6与滑动孔相配合且一一对应，调节杆6能相对滑动孔上下滑动。通过在支架3上开设滑动孔以实现调节杆6的上下移动，且采用滑动方式实现调节杆6的上下移动，结构简单紧凑。
43.在本实施例中，支架3设置在平台1的上方。将支架3设置在平台1的上方，便于支架3与其他部件连接，从而将平台水平度调节机构10安装在其他部件的下方，以便于微组件转运过程的进行。
44.在其他实施例中，支架3和平台1的相对位置也可以和本实施例不同。只要支架3能满足安装调节杆6，并不影响工件加工工作的进行即可。
45.在本实施例中，调节杆6与平台1的侧面连接，调节杆6的数量为四个，平台1和支架3均为方形的板状结构，四个调节杆6分别对应平台1的四个侧面的中部设置。
46.调节杆6设置在平台1的侧面，以避免设置调节杆6占用平台1上表面和下表面的工作台。同时，相较于调节杆6与平台1的上表面或下表面连接，调节杆6与平台1侧面连接时，更易于装配的进行，同时也便于在平台1的侧面加工出与调节杆6相配合的结构。调节杆6对应平台1的四个侧面的中部，是为了使调节杆6与平台1的连接可靠稳定。
47.在其他实施例中，调节杆6的数量可以和本实施例不同，调节杆6的数量至少为三个，且各调节杆6与平台1的连接点的联机能围成多边形，即所有的连接点的联机并非在同一直在线即可。通过至少三个调节杆6实现平台1的至少三个点的高度调节，从而实现平台1的水平度调节。
48.在其他实施例中，调节杆6与平台1的连接位置也可以与本实施例不同。在其他实施例中，调节杆6也可以与平台1的上表面或下表面连接，以缩减平台水平度调节机构10的横向尺寸。
49.在本实施例中，平台1和支架3均为方形，支架3的形状与平台1形状相对应，便于调节杆6安装在支架3上并与平台1进行连接，使得平台水平度调节机构10的结构紧凑。
50.在其他实施例中，支架3的形状可以和本实施例的不同，只要便于调节杆6的安装
即可。
51.在本实施例中，平台1和支架3上均开设有透光孔2，且支架3在垂直方向未遮盖到平台1上的透光孔2。平台1和支架3上均开设透光孔2，用于使光透过，支架3在垂直方向未遮盖平台1上的透光孔2，是为了避免支架3影响光的穿过。
52.在本实施例中，透光孔2为方形，且调节杆6围绕透光孔2设置。方形的透光孔2与工件的形状相适应便于将平台1的尺寸设置得小，从而使平台水平度调节机构10的结构紧凑。调节杆6围绕透光孔2设置，避免调节杆6遮盖透光孔2。且调节杆6围绕透光孔2设置，使得平台水平度调节机构10结构紧凑。进一步地，在本实施例中，平台1为方形，与透光孔2形状相适应，便于把平台1结构尺寸做得较小，从而使平台水平度调节机构10的结构紧凑。
53.在其他实施例中，透光孔2也可以为圆形或其他形状。透光孔2为圆形或方形，便于与光学镜相适配；就可加工面积(光束可扫描的范围)而言，外切方形较内接圆形的加工面积更大。透光孔2为其他形状时，只要将平台水平度调节机构10应用到微组件翻贴转移装置上能实现所需功能即可。
54.在本实施例中，平台水平度调节机构10还包括多个万向接头5，万向接头5与调节杆6一一对应，且调节杆6与平台1通过万向接头5活动连接。万向连接具有灵活、结构简单等优点。
55.在其他实施例中，调节杆6和平台1也可以通过铰链连接等方式实现活动连接。
56.在其他实施例中，也可以将本实施例中的平台水平度调节机构10应用到微组件翻贴转移装置中。其中，在将平台水平度调节机构10应用到微组件翻贴转移装置中时，可将平台1作为微组件翻贴转移装置的接收基板载台或来源基板载台，通过调节杆6的调节作用调节接收基板载台或来源基板载台的水平度，从而调节接收基板和来源基板之间的平行度，使接收基板和来源基板的平行度保持在允许的偏差范围内。
57.在本实施例中，平台1作为调节接收基板载台，接收基板和来源基板之间的平行度调整可依次包括以下步骤：
58.s1、通过调节调节杆6以调整接收基板载台的水平度，并用水平仪校正，当接收基板载台呈水平状态后锁固调节杆6；
59.s2、松开来源基板载台的锁固机构并垂直移动使接收基板载台和来源基板载台上的基板完全贴合，并锁固来源基板载台；
60.s3、分离接收基板和来源基板再于基板上不同水平位置以千分表或三次元量测仪进行平行度测量，并回馈调校直到两基板的平面平行度在允收范围内。
61.通过上述步骤，就能使得翻贴转移设备上的来源基板与接收基板能够经常保持在允许的平面平行度的裕度内。当然，上述平行度调整的具体步骤仅用于说明平台水平度调节机构10的具体用法，平行度调整的步骤并不是唯一的，在其他实施例中，可采用其他步骤对平台水平度调节机构10进行调节。
62.在本实施例中，平台水平度调节机构10的锁紧件4为手动锁固，具体为：锁紧件4为卡簧(参见图2)，卡紧在调节杆6的上端，以限位调节杆6相对平台1的上下位置(参见图1)。
63.在其他实施例中，锁紧件4也可以为螺母等部件，通过螺纹锁紧的方式固定在调节杆6，以限定调节杆6相对平台1的位置；具体地，锁紧件4上开设内螺纹并约束锁紧件4沿调节杆6方向的移动，调节杆6上开设与锁紧件4相配合的外螺纹，通过转动锁紧件4带动调节
杆6移动，同时螺纹连接的自锁功能实现调节杆6的锁固。
64.在其他实施例中，也可以在锁紧件4的侧面开设螺纹小孔，在螺纹小孔内设置螺钉，转动螺钉使螺钉的端面抵接到调节杆6的周面，实现调节杆6的锁固。
65.另外，锁紧件4也可以使用电动锁固的方式实现自动化锁定调节杆6位置的目的。关于手动锁固和电动锁固的机构，现有技术中已公开了大量的技术手段，具体可参照现有技术进行。
66.关于如何将平台水平度调节机构10应用到微组件翻贴转移装置中，现有技术中已公开了大量的技术手段，具体可参照现有技术进行。
67.实施例2
68.如图3所示，本实施例提供一种平台水平度调节机构10。
69.在本实施例中，调节杆6的数量为三个，平台1和支架3均为三角形的板状结构，三个调节杆6分别对应支架3和平台1的三个角，并靠近支架3的边缘设置。
70.为实现平台1的水平度调节，调节杆6的数量为三个时调节杆6的数量最少，使得平台水平度调节机构10的结构紧凑。调节一个调节杆6就能进行平台1的水平度调节；调节两个调节杆6可以将平台1调节至任一角度，通过调节两个调节杆6就可以实现平台1水平度的完全调节，操作便捷。调节全部的调节杆6，不仅能实现平台1的水平度调节，还能实现平台1与支架3之间相对距离的调整，即能调整平台1的高度。平台1和支架3均为三角形结构，整个平台水平度调节机构10的稳定性强。调节杆6靠近支架3的边缘设置，是为了避免调节杆6干涉到平台水平度调节机构10的其他结构，妨碍微组件的转移过程。
71.在本实施例中，平台1的三个角处设置了倒角平面，以便于安装万向接头5。
72.本实施例中的其他部分的结构和效果具体参照实施例1。
73.虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。