专利名称：化学品供应系统管路的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造装置技术领域，尤其涉及一种化学品供应系统管路。
背景技术：
在半导体集成电路的制造过程中，需使用大量的化学药品。通常来说，这些化学药 品经配制后都储存在原液桶中，需使用化学药品时，再通过管道从所述原液桶中抽取化学 药品以供使用。同时，为了方便工作人员更换化学药品，一般都使用两个原液桶，即双原液 桶系统。并且，有些化学药品为悬浮液，例如化学机械抛光工艺(CMP)中大量使用的研磨 液。研磨液储存在原液桶中一段时间后，其上下层的密度存在很大差别，因此，使用之前需 对原液桶中的研磨液进行搅拌，使其混合均勻，并且不能对研磨液造成污染。为了达到上述目的，目前的化学品供应系统通过管路设计实现了搅拌功能。请参 考图1，图1为现有的化学品供应系统管路结构示意图，如图1所示，现有的化学品供应系 统管路100包括主管路、供液管路、第一回流管路以及第二回流管路，所述主管路分别与所 述供液管路、第一回流管路以及第二回流管路相连；其中，所述主管路包括依次相连的水泵 121、第一二通气动阀122以及使用桶120 ；所述供液管路包括第一三通气动阀112、第一原 液桶110以及第二原液桶111，所述第一三通气动阀112分别与所述水泵121、所述第一原 液桶110以及所述第二原液桶111相连；所述第一回流管路包括第二二通气动阀130，所述 第二二通气动阀130的一端接在所述水泵121与所述第一二通气动阀122之间，另一端与 所述第一原液桶110相连；所述第二回流管路包括第三二通气动阀140，所述第三二通气动 阀140的一端接在所述水泵121与所述第一二通气动阀122之间，另一端与所述第二原液 桶111相连。并且，所述第一二通气动阀122、第一三通气动阀112、第二二通气动阀130以 及第三二通气动阀140分别由不同的电气信号控制。现有的化学品供应系统管路100的使用方法为控制所述第一三通气动阀112，使其与所述第一原液桶110相连的管路打开，与所 述第二原液桶111相连的管路关闭，并打开所述第二二通气动阀130，关闭所述第三二通气 动阀140及所述第一二通气动阀122，同时开启所述水泵121，使得所述第一原液桶110内 的化学品被抽取后通过所述第一回流管路回流至所述第一原液桶110，实现搅拌功能；搅拌一段时间后，打开所述第一二通气动阀122，从而使得所述第一原液桶110内 的化学品被抽取后流入所述使用桶120内，以供使用；当然，为了使流入所述使用桶120内 的化学品流速加快，也可以在搅拌后关闭所述第二二通气动阀130 ；当所述第一原液桶110内的化学品使用完，需更换时，将所述第一二通气动阀122 切换至所述第二原液桶111，同时关闭所述第二二通气动阀130及所述第一二通气动阀 122，打开所述第三二通气动阀140，对所述第二原液桶111内的化学品进行搅拌；之后打开 所述第一二通气动阀122，将所述第二原液桶111内的化学品抽取至所述使用桶120内，以 供使用。[0009]虽然现有的化学品供应系统管路100能实现搅拌及切换原液桶的功能，但是由于 所述第一三通气动阀112、第二二通气动阀130以及第三二通气动阀140分别由不同的电 气信号控制，当所述第一三通气动阀112与所述第一原液桶110相连的管路打开后，所述第 二二通气动阀130没有及时打开且所述第三二通气动阀140没有及时关闭，则所述第一原 液桶110内的化学品会被汲取到所述第二原液桶111内，从而造成所述第二原液桶111内 的化学品外溢；反之，当所述第一三通气动阀112与所述第二原液桶111相连的管路打开 后，所述第三二通气动阀140没有及时打开且所述第二二通气动阀130没有及时关闭，则所 述第二原液桶111内的化学品会被汲取到所述第一原液桶110内，从而造成所述第一原液 桶110内的化学品外溢；化学品外溢既造成浪费，也存在安全隐患。因此，有必要对现有的化学品供应系统管路进行改进。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种化学品供应系统管路，以解决现有技术中化学品 供应系统管路的供液管路、第一回流管路以及第二回流管路由不同的电气信号控制，从而 存在将一个原液桶中的化学品汲取至另一个原液桶中，导致另一个原液桶内的化学品外溢 的风险，造成化学品浪费，并存在安全隐患。为解决上述问题，本实用新型提出一种化学品供应系统管路，该化学品供应系统 管路包括主管路，所述主管路包括依次相连的水泵、第一气动阀门以及使用桶；供液管路，所述供液管路包括第二气动阀门、第一原液桶以及第二原液桶，所述第 二气动阀门包括第一端口、第二端口及第三端口，所述第二气动阀门的第一端口、第二端口 及第三端口分别与所述水泵、所述第一原液桶以及所述第二原液桶相连；以及回流管路，所述回流管路包括第三气动阀门，所述第三气动阀门包括第一端口、第 二端口及第三端口，所述第三气动阀门的第一端口接在所述水泵与所述使用桶之间，所述 第三气动阀门的第二端口及第三端口分别与所述第一原液桶以及所述第二原液桶相连，且 所述第一气动阀门位于所述第三气动阀门与所述使用桶之间，所述第二气动阀门与所述第 三气动阀门由同一电气信号控制。可选的，所述第一气动阀门为二通气动阀，所述第三气动阀门的第一端口接在所 述水泵与所述二通气动阀之间。可选的，所述第一气动阀门为三通气动阀，所述三通气动阀的一端与所述第三气 动阀门的第一端口相连，另两端分别与所述水泵及所述使用桶相连。可选的，所述第二气动阀门为三通气动阀门。可选的，所述第三气动阀门为三通气动阀门。本实用新型由于采用以上的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和 积极效果1、现有技术通过两个二通气动阀实现第一原液桶和第一原液桶内化学品的回流， 而本实用新型提供的化学品供应系统管路通过一个三通气动阀实现了第一原液桶和第一 原液桶内化学品的回流，因而降低了阀门的数量，节约了成本；2、本实用新型提供的化学品供应系统管路的供液管路中的第二气动阀门与回流管路中的第三气动阀门采用同一电气信号控制，保证所述第二气动阀门与所述第三气动阀 门同时接通所述第一原液桶或者第二原液桶，从而防止所述第一原液桶和所述第二原液桶 因相互汲取而造成化学品外溢，避免了化学品浪费，提高了化学品供应系统的安全。
图1为现有的化学品供应系统管路的结构示意图；图2为本实用新型第一个实施例提供的化学品供应系统管路的结构示意图；图3为本实用新型第二个实施例提供的化学品供应系统管路的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的化学品供应系统管路作进一步 详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是， 附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用 新型实施例的目的。本实用新型的核心思想在于，提供一种化学品供应系统管路，所述化学品供应系 统管路包括主管路、供液管路以及回流管路，所述主管路分别与所述供液管路及回流管路 相连，所述供液管路通过第二气动阀门与第一原液桶及第二原液桶相连，所述回流管路通 过第三气动阀门与所述第一原液桶及第二原液桶相连，所述第二气动阀门与所述第三气动 阀门由同一电气信号控制，保证所述第二气动阀门与所述第三气动阀门同时接通所述第一 原液桶或者所述第二原液桶，从而防止所述第一原液桶和所述第二原液桶因相互汲取而造 成化学品外溢，避免了化学品浪费，提高了化学品供应系统的安全。实施例1请参考图2，图2为本实用新型第一个实施例提供的化学品供应系统管路的结构 示意图，如图2所示，本实用新型第一个实施例提供的化学品供应系统管路200包括主管路，所述主管路包括依次相连的水泵221、第一气动阀门222以及使用桶 220 ；供液管路，所述供液管路包括第二气动阀门212、第一原液桶210以及第二原液桶 211，所述第二气动阀门212包括第一端口、第二端口及第三端口，所述第二气动阀门212的 第一端口、第二端口及第三端口分别与所述水泵221、所述第一原液桶210以及所述第二原 液桶211相连；以及回流管路，所述回流管路包括第三气动阀门230，所述第三气动阀门230包括第一 端口、第二端口及第三端口，所述第三气动阀门230的第一端口接在所述水泵221与所述使 用桶220之间，所述第三气动阀门230的第二端口及第三端口分别与所述第一原液桶210 以及所述第二原液桶211相连，且所述第一气动阀门222位于所述第三气动阀门230与所 述使用桶220之间，所述第二气动阀门212与所述第三气动阀门230由同一电气信号控制。其中，所述第一气动阀门222为二通气动阀，所述第三气动阀门230的第一端口接 在所述水泵221与所述第一气动阀门222之间。进一步地，所述第二气动阀门212为三通气动阀门。进一步地，所述第三气动阀门230为三通气动阀门。
5[0036]其中，所述三通气动阀门可由电气信号控制其三个端口中的任两个端口之间的接 通或关闭。本实施例提供的化学品供应系统管路200的使用方法如下所述电气信号控制所述第二气动阀门212与所述第三气动阀门230，使第二气动 阀门212和第三气动阀门230的第一端口与第二端口接通，从而接通所述第一原液桶210， 同时开启所述水泵221，关闭所述第一气动阀门222，使得所述第一原液桶210内的化学品 被抽取后通过所述回流管路回流至所述第一原液桶210，实现搅拌功能；搅拌一段时间后，打开所述第一气动阀门222，使得所述第一原液桶210内的化学 品被抽取后流入所述使用桶220内，以供使用；当所述第一原液桶210内的化学品使用完，需更换时，关闭所述第一气动阀门 222，同时，所述电气信号控制所述第二气动阀门212与所述第三气动阀门230，使其第二 气动阀门212和第三气动阀门230的第一端口与第三端口接通，从而接通所述第二原液桶 211，对所述第二原液桶211内的化学品进行搅拌；之后，打开所述第一气动阀门222，将所 述第二原液桶211内的化学品抽取至所述使用桶220内，以供使用。实施例2请继续参考图3，图3为本实用新型第二个实施例提供的化学品供应系统管路的 结构示意图，如图3所示，本实用新型第二个实施例提供的化学品供应系统管路300包括主管路，所述主管路包括依次相连的水泵321、第一气动阀门322以及使用桶 320 ；供液管路，所述供液管路包括第二气动阀门312、第一原液桶310以及第二原液桶 311，所述第二气动阀门312包括第一端口、第二端口及第三端口，所述第二气动阀门312的 第一端口、第二端口及第三端口分别与所述水泵321、所述第一原液桶310以及所述第二原 液桶311相连；以及回流管路，所述回流管路包括第三气动阀门330，所述第三气动阀门330包括第一 端口、第二端口及第三端口，所述第三气动阀门330的第一端口接在所述水泵321与所述使 用桶320之间，所述第三气动阀门330的第二端口及第三端口分别与所述第一原液桶310 以及所述第二原液桶311相连，且所述第一气动阀门322位于所述第三气动阀门330与所 述使用桶320之间，所述第二气动阀门312与所述第三气动阀门330由同一电气信号控制。其中，所述第一气动阀门322为三通气动阀，所述三通气动阀的一端与所述第三 气动阀门330的第一端口相连，另两端分别与所述水泵321及所述使用桶320相连。进一步地，所述第二气动阀门312为三通气动阀门。进一步地，所述第三气动阀门330为三通气动阀门。其中，所述三通气动阀门可由电气信号控制其三个端口中的任两个端口之间的接 通或关闭。本实施例提供的化学品供应系统管路300的使用方法如下控制所述第一气动阀门322，使所述水泵321至所述第三气动阀门330的管路接 通，而所述水泵321至所述使用桶320的管路关闭；所述电气信号控制所述第二气动阀门 312与所述第三气动阀门330，使其接通所述第一原液桶310，同时开启所述水泵321，使得 所述第一原液桶310内的化学品被抽取后通过所述回流管路回流至所述第一原液桶310，实现搅拌功能；搅拌一段时间后，控制所述第一气动阀门322，使所述水泵321至所述第三气动阀 门330的管路关闭，而所述水泵321至所述使用桶320的管路接通，使得所述第一原液桶 310内的化学品被抽取后流入所述使用桶320内，以供使用，并且由于所述水泵321至所述 第三气动阀门330的管路关闭，因而流入所述使用桶320内的化学品的流速加快；当所述第一原液桶310内的化学品使用完，需更换时，控制所述第一气动阀门 322，使所述水泵321至所述第三气动阀门330的管路接通，而所述水泵321至所述使用桶 320的管路关闭；同时，所述电气信号控制所述第二气动阀门312与所述第三气动阀门330， 使其接通所述第二原液桶311，对所述第二原液桶311内的化学品进行搅拌；之后，控制所 述第一气动阀门322，使所述水泵321至所述第三气动阀门330的管路关闭，而所述水泵 321至所述使用桶320的管路接通，将所述第二原液桶311内的化学品抽取至所述使用桶 320内，以供使用。综上所述，本实用新型提供了一种化学品供应系统管路，所述化学品供应系统管 路包括主管路、供液管路以及回流管路，所述主管路分别与所述供液管路及回流管路相连， 所述供液管路通过第二气动阀门与第一原液桶及第二原液桶相连，所述回流管路通过第三 气动阀门与所述第一原液桶及第二原液桶相连，所述第二气动阀门与所述第三气动阀门由 同一电气信号控制，保证所述第二气动阀门与所述第三气动阀门同时接通所述第一原液桶 或者所述第二原液桶，从而防止所述第一原液桶和所述第二原液桶因相互汲取而造成化学 品外溢，避免了化学品浪费，提高了化学品供应系统的安全。显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新 型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其 等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种化学品供应系统管路，其特征在于，包括主管路，所述主管路包括依次相连的水泵、第一气动阀门以及使用桶； 供液管路，所述供液管路包括第二气动阀门、第一原液桶以及第二原液桶，所述第二气 动阀门包括第一端口、第二端口及第三端口，所述第二气动阀门的第一端口、第二端口及第 三端口分别与所述水泵、所述第一原液桶以及所述第二原液桶相连；以及回流管路，所述回流管路包括第三气动阀门，所述第三气动阀门包括第一端口、第二端 口及第三端口，所述第三气动阀门的第一端口接在所述水泵与所述使用桶之间，所述第三 气动阀门的第二端口及第三端口分别与所述第一原液桶以及所述第二原液桶相连，且所述 第一气动阀门位于所述第三气动阀门与所述使用桶之间，所述第二气动阀门与所述第三气 动阀门由同一电气信号控制。
2.如权利要求1所述的化学品供应系统管路，其特征在于，所述第一气动阀门为二通 气动阀，所述第三气动阀门的第一端口接在所述水泵与所述二通气动阀之间。
3.如权利要求1所述的化学品供应系统管路，其特征在于，所述第一气动阀门为三通 气动阀，所述三通气动阀的一端与所述第三气动阀门的第一端口相连，另两端分别与所述 水泵及所述使用桶相连。
4.如权利要求1所述的化学品供应系统管路，其特征在于，所述第二气动阀门为三通 气动阀门。
5.如权利要求1所述的化学品供应系统管路，其特征在于，所述第三气动阀门为三通气动阀门。
专利摘要本实用新型公开了一种化学品供应系统管路，所述化学品供应系统管路包括主管路、供液管路以及回流管路，所述主管路分别与所述供液管路及回流管路相连，所述供液管路通过第二气动阀门与第一原液桶及第二原液桶相连，所述回流管路通过第三气动阀门与所述第一原液桶及第二原液桶相连，所述第二气动阀门与所述第三气动阀门由同一电气信号控制，保证所述第二气动阀门与所述第三气动阀门同时接通所述第一原液桶或者所述第二原液桶，从而防止所述第一原液桶和所述第二原液桶因相互汲取而造成化学品外溢，避免了化学品浪费，提高了化学品供应系统的安全。
文档编号F17D1/14GK201844199SQ20102026600
公开日2011年5月25日 申请日期2010年7月21日 优先权日2010年7月21日
发明者王怀锋 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司