本实用新型涉及化学品输送系统领域,特别是涉及一种酸碱化学输送系统用机台。
背景技术:
随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化,其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端化学品输送系统,将槽车内的原液输送至厂区内的储存槽,涉及到多种危险化学品输送和应用,此类酸碱类化学品都具有高危害性,强腐蚀性。
但是现有的化学品输送系统,是通过管道露天输送至桶槽,不能有效保障输送过程中的安全,不能自动控制原液的输送,且没有设置防漏措施,容易造成泄露却没有侦测报警,造成污染和伤害。
技术实现要素:
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种酸碱化学输送系统用机台,布局错落有致,美观大方,拆卸方便,便于安装和维修。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种酸碱化学输送系统用机台,包括机台,所述机台包括骨架和设在骨架上的板材;所述机台前部开有用于槽车填充的填充口,填充口下方的机台上设有取样区,所述机台后方设有管路区,所述机台右侧设有电控区,管路区与电控区之间通过板材分隔开。
进一步,所述机台正面靠近填充口的位置设有人机界面和控制按钮。
进一步,所述机台的底部设置有泄露侦测器。
进一步,所述机台侧面对应管路区的位置设置有管路区开关门,机台侧面对应电控区的位置设置有电控区开关门。
进一步,所述骨架由方钢焊接而成,所述板材采用PP磁白板。
本实用新型的有益效果是:本实用新型布局错落有致,美观大方,拆卸方便,便于安装和维修。
附图说明
图1是本实用新型一种酸碱化学输送系统用机台一较佳实施例的主视结构示意图;
图2是所示一种酸碱化学输送系统用机台的右视结构示意图;
图3是所示一种酸碱化学输送系统用机台的剖视结构示意图。
附图中各部件的标记如下:1、机台;2、填充口;3、取样区;4、管路区开关门;5、电控区开关门。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1至图3,本实用新型实施例包括:
一种酸碱化学输送系统用机台,包括机台1,所述机台包括骨架和设在骨架上的板材;所述机台前部开有用于槽车填充的填充口2,填充口下方的机台上设有取样区3,所述机台后方设有管路区,所述机台右侧设有电控区,管路区与电控区之间通过板材分隔开。所述机台正面靠近填充口的位置设有人机界面和控制按钮。所述机台的底部设置有泄露侦测器。所述机台侧面对应管路区的位置设置有管路区开关门4,机台侧面对应电控区的位置设置有电控区开关门5。所述骨架由方钢焊接而成,所述板材采用PP磁白板。本实用新型布局错落有致,美观大方,拆卸方便,便于安装和维修。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。