一种高纯硅烷灌装设备的制作方法

本实用新型涉及气体灌装技术领域，具体为一种高纯硅烷灌装设备。

背景技术：

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物，因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体，硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。

现有的高纯硅烷灌装设备，为保证硅烷气体的纯净度，在灌装前通过真空泵将罐体内的气体抽出形成真空，再向罐体内充入硅烷气体，但是以目前的真空技术不能完全达到真空，罐体内还是残留有部分气体杂质，并且在自动化灌装时，罐体高度较长在灌装时容易倾倒，造成灌装失败。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种高纯硅烷灌装设备，以解决上述背景技术中提出真空处理除杂效果不佳，罐体高度较高易倾倒的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯硅烷灌装设备，包括底座、机架、传送带和回收管，所述底座的顶部分别设置有机架和传送带，且所述传送带的位于底座的顶部中间，所述传送带的顶部分别设置有第一夹板和第二夹板，且所述第一夹板贯穿传送带的顶部并延伸至传送带的底部，所述传送带的内部设置有弹簧，所述传送带与第一夹板的一侧通过弹簧相连接，所述底座的内壁固定有第二气缸，所述第二气缸的输出端通过第二活塞与第一夹板的另一侧下方相连接，所述底座的内部下方设置有电机，所述电机的输出端通过皮带与传送带相连接，所述机架的顶部分别贯穿有进气管和排气管，所述进气管的外表面设置有第一阀门与气流计量器，所述机架的内部固定有第一气缸，所述第一气缸的输出端通过第一活塞连接有灌装头，所述灌装头的底部分别设置有出气管和第三阀门，且所述出气管贯穿灌装头的底部并延伸至灌装头的一侧，所述回收管贯穿灌装头的底部并延伸至灌装头的另一侧，所述回收管与出气管的顶端均通过软管分别与排气管和进气管相连接，所述回收管的外表面设置有第三阀门。

优选地，所述第一夹板与第二夹板均呈“半圆弧状”，且所述一夹板与第二夹板以传送带的宽度中心线为中心对称排布于传送带的顶部。

优选地，所述出气管的长度大于回收管的长度，且所述出气管与回收管均采用不锈钢制作而成。

优选地，所述第一夹板与第二夹板均设置有多片，且所述第一夹板与第二夹板平行排布于传送带的顶部。

优选地，所述第一夹板的两侧通过凸块卡接于传送带的内部。

优选地，所述第一活塞贯穿机架的底部，且其底部的灌装头位于机架的下方，同时所述灌装头的底部设置有密封圈。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种高纯硅烷灌装设备设置有出气管和回收管，第一阀门打开原料气体沿进气管、软管和出气管充入罐内，罐内气体由下至上将罐内的气体充满，并将内部残留的杂气推至上层并沿回收管、软管和排气管排出至气体除杂室，当气流计量器显示灌装体积达到钢瓶的容积时继续灌装，多余的气体从回收管、软管和排气管排出至气体除杂室，可进一步将瓶内的杂气除去，提升瓶内气体纯净度，同时还设置有第一夹板和第二夹板，第二气泵通过第二活塞推动第一夹板，向第二夹板方向运动，第二夹板与第一夹板将钢瓶夹紧，保证在灌装时钢瓶不倾倒。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型第一夹板俯视结构示意图；

图3为本实用新型第一夹板正视剖面结构示意图；

图4为本实用新型A的局部放大结构示意图。

图中：1、底座，2、机架，3、传送带，4、电机，5、皮带，6、第一夹板，7、出气管，8、第一气缸，9、排气管，10、第一活塞， 11、进气管，12、气流计量器，13、第一阀门，14、弹簧，15、第二活塞，16、第二气缸，17、第二夹板，18、第三阀门，19、回收管， 20、灌装头，21、软管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型中：气流计量器的型号为MD-S210。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种高纯硅烷灌装设备，包括底座1、机架2、传送带3、电机4、皮带5、第一夹板 6、出气管7、第一气缸8、排气管9、第一活塞10、进气管11、气流计量器12、第一阀门13、弹簧14、第二活塞15、第二气缸16、第二夹板17、第三阀门18、回收管19、灌装头20和软管21，所述底座1的顶部分别设置有机架2和传送带3，且所述传送带3的位于底座1的顶部中间，所述传送带3的顶部分别设置有第一夹板6和第二夹板17，第一夹板6与第二夹板17均呈“半圆弧状”，且所述第一夹板6与第二夹板17以传送带3的宽度中心线为中心对称排布于传送带3的顶部，半圆弧状的第一夹板6与第二夹板17在固定罐体时，可紧贴罐体表面加强稳定性，同时所述第一夹板6与第二夹板 17均设置有多片，且所述第一夹板6与第二夹板17平行排布于传送带3的顶部，设置多个第一夹板6与第二夹板17，可持续灌装，提高灌装效率，并且所述第一夹板6的两侧通过凸块卡接于传送带3的内部，第一夹板6在第二气泵16的推动下可向第二夹板17方向运动，在灌装时夹紧罐体，且所述第一夹板6贯穿传送带3的顶部并延伸至传送带3的底部，所述传送带3的内部设置有弹簧14，所述传送带3 与第一夹板6的一侧通过弹簧14相连接，所述底座1的内壁固定有第二气缸16，所述第二气缸16的输出端通过第二活塞15与第一夹板6的另一侧下方相连接，所述底座1的内部下方设置有电机4，所述电机4的输出端通过皮带5与传送带3相连接，所述机架2的顶部分别贯穿有进气管11和排气管9，所述进气管11的外表面设置有第一阀门13与气流计量器12，所述机架2的内部固定有第一气缸8，所述第一气缸8的输出端通过第一活塞10连接有灌装头20，所述第一活塞10贯穿机架2的底部，且其底部的灌装头20位于机架2的下方，同时所述灌装头20的底部设置有密封圈，当罐体移动至灌装头 20的下方时，第一气缸8通过第一活塞10推动灌装头20套在灌口，再进行灌装防止灌装时泄漏，所述灌装头20的底部分别设置有出气管7和第三阀门18，所述出气管7的长度大于回收管19的长度，且所述出气管7与回收管19均采用不锈钢制作而成，较长的出气管7 在灌装时可伸入瓶底，气体在瓶内从底部将罐体装满，同时还可将瓶内残留的杂气从较短的回收管19排出，且所述出气管7贯穿灌装头 20的底部并延伸至灌装头20的一侧，所述回收管19贯穿灌装头20 的底部并延伸至灌装头20的另一侧，所述回收管19与出气管7的顶端均通过软管21分别与排气管9和进气管11相连接，所述回收管 19的外表面设置有第三阀门18。

工作原理：首先，工作人员将该装置放置在水平地面上，接通电源开始工作，将原料气体从进气管11通入，并通过排气管9连通气体除杂室，放置气体钢瓶在传送带3顶部的第一夹板6与第二夹板 17间，电机4通过皮带5驱动传送带3运作，传送带3将钢瓶输送至灌装头20的下方，第一气泵8通过第一活塞10推动灌装头20向下运动套在钢瓶的瓶口，同时第二气泵16通过第二活塞15推动第一夹板6夹紧钢瓶，第一阀门13打开原料气体沿进气管11、软管21 和出气管7充入罐内，罐内气体由下至上将罐内的气体充满，并将内部残留的杂气推至上层并沿回收管19、软管21和排气管9排出至气体除杂室，当气流计量器12显示灌装体积达到钢瓶的容积时继续灌装，多余的气体从回收管19、软管21和排气管9排出至气体除杂室，将瓶内残留的杂气完全排出完成灌装。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。