一种化学品供液管路装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及化学领域，特别涉及一种化学品供液管路装置。


背景技术：

[0002]
随着湿化学设备在led、太阳能、mems、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，原有的人工手动配液、补液逐渐由自动供液取代。
[0003]
在化学品自动供液系统的重要组成部分cdm柜中，传统的内部供液管路装置有以下不足；1、一主一备的两个化学品过滤器，只在过滤前及过滤后的汇合段管路上设置阀门，未在每个化学品过滤器的前后支路上设置阀门，在其中一个过滤器发生损坏需要维修更换时，须整个系统停止供液，从而影响生产；2、化学品过滤后通往vmb阀箱的供液管路未设置旁路，在该段管路的阀门发生损坏需要维修更换时，须停止该段管路供液，从而影响生产。
[0004]
亟需一种可以消除cmd柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合的化学品供液管路装置来解决上述技术问题。


技术实现要素：

[0005]
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种化学品供液管路装置，本实用新型的化学品供液管路装置能够消除cmd柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。
[0006]
本实用新型是通过如下技术方案解决上述技术问题的：
[0007]
本实用新型提供了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一vmb管路和第二vmb管路；所述第一支路的前端、第二支路的前端分别与所述过滤前汇合管路相连通，所述第一支路的后端、第二支路的后端分别与所述过滤后汇合管路相连通，所述第一进液阀、第一过滤器、第三进液阀依次固定于所述第一支路上，所述第二进液阀、第二过滤器、第四进液阀依次固定于所述第二支路上；所述第三支路通过所述第一排废阀与所述第一过滤器的底部相连，所述第四支路通过所述第二排废阀与所述第一过滤器的顶部相连，所述第五支路通过所述第三排废阀与所述第二过滤器的底部相连，所述第六支路通过所述第四排废阀与所述第二过滤器的顶部相连，所述第三支路、第四支路、第五支路和第六支路交汇；所述过滤后汇合管路通过所述第七管路与所述第一vmb管路相连通，所述过滤后汇合管路通过所述第八管路与所述第二vmb管路相连通；所述第五进液阀、第六进液阀依次固定于所述第七管路上，所述第七进液阀通过所述第一旁路固定于所述第七支路上，所述第八进液阀、第九进液阀依次固定于所述第八管路上，所述第十进液阀通过所述第二旁路固定于所述第八支路上。
[0008]
本实用新型中，所述过滤前汇合管路用于输入待过滤的液体，所述过滤前汇合管
路是本领域常规。
[0009]
本实用新型中，所述过滤后汇合管路用于输出已经过滤的液体，所述过滤后汇合管路是本领域常规。
[0010]
本实用新型中，所述第三支路、第四支路、第五支路、第六支路用于输出过滤后的废液废气，所述第三支路、第四支路、第五支路、第六支路可根据实际情况切换使用。
[0011]
本实用新型中，所述第一支路和第二支路为进行过滤的分路，一般情况下，第一支路和第二支路是一备一用状态，当某个支路出现状况时，可切换备用支路。
[0012]
本实用新型中，所述第一过滤器和第二过滤器为本领域常规的过滤器，用于进行化学品的过滤。
[0013]
本实用新型中，所述第一vmb管路和第二vmb管路用于为过滤的后续管路，所述第一vmb管路和第二vmb管路可自由切换。
[0014]
本实用新型中，所述第七支路、第八支路分别用于连接后续的vmb管路。
[0015]
本实用新型中，所述第一旁路为所述第七支路的另一分路，用于实现当第七支路的部件出现状况时的备用。
[0016]
本实用新型中，所述第二旁路为所述第八支路的另一分路，用于实现当第八支路的部件出现状况时的备用。
[0017]
本实用新型中，所述第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀分别用于实现进液或者排废；
[0018]
较佳地，所述第一进液阀、第二进液阀为手动进液阀；
[0019]
较佳地，所述第三进液阀、第四进液阀为手动进液阀；
[0020]
较佳地，所述第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀为手动排废阀；
[0021]
较佳地，所述第五进液阀、第八进液阀为气动进液阀；
[0022]
较佳地，所述第六进液阀、第七进液阀、第九进液阀、第十进液阀为手动进液阀；
[0023]
较佳地，所述第一旁路和第二旁路上还设置有气动进液阀，用于实现进液管路的自动切换。
[0024]
本实用新型中，为了实现各管路和部件的固定，可针对各管路和部件设置相应的支架或者支座。
[0025]
本实用进行的积极进步效果：本实用新型的化学品供液管路装置能够消除cmd柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。
附图说明
[0026]
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]
图1为本实用新型实施例的化学品供液管路装置的结构示意图。
[0028]
附图标记说明：
[0029]
11、第一进液阀；
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12、第二进液阀；
[0030]
13、第三进液阀；
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14、第四进液阀；
[0031]
15、第五进液阀；
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16、第六进液阀；
[0032]
17、第七进液阀；
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18、第八进液阀；
[0033]
19、第九进液阀；
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10、第十进液阀；
[0034]
21、第一排废阀；
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22、第二排废阀；
[0035]
23、第三排废阀；
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24、第四排废阀；
[0036]
31、第一过滤器；
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32、第二过滤器；
[0037]
41、第一vmb管路；
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42、第二vmb管路；
[0038]
51、第一旁路；
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52、第二旁路；
[0039]
61、过滤前汇合管路；62、过滤后汇合管路；
[0040]
71、第一支路；
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72、第二支路；
[0041]
73、第三支路；
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74、第四支路；
[0042]
75、第五支路；
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76、第六支路；
[0043]
77、第七支路；
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78、第八支路。
具体实施方式
[0044]
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0045]
如图1所示，本实施例提供了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路61、第一支路71、第二支路72、过滤后汇合管路62、第三支路73、第四支路74、第五支路75、第六支路76、第七支路77、第八支路78、第一旁路51、第二旁路52、第一过滤器31、第二过滤器32、第一进液阀11、第二进液阀12、第三进液阀13、第四进液阀14、第一排废阀21、第二排废阀22、第三排废阀23、第四排废阀24、第五进液阀15、第六进液阀16、第七进液阀17、第八进液阀18、第九进液阀19、第十进液阀10、第一vmb管路41和第二vmb管路42；第一支路71的前端、第二支路72的前端分别与过滤前汇合管路61相连通，第一支路71的后端、第二支路72的后端分别与过滤后汇合管路62相连通，第一进液阀11、第一过滤器31、第三进液阀13依次固定于第一支路71上，第二进液阀12、第二过滤器32、第四进液阀14依次固定于第二支路72上；第三支路73通过第一排废阀21与第一过滤器31的底部相连，第四支路74通过第二排废阀22与第一过滤器31的顶部相连，第五支路75通过第三排废阀23与第二过滤器32的底部相连，第六支路76通过第四排废阀24与第二过滤器32的顶部相连，第三支路73、第四支路74、第五支路75和第六支路76交汇；过滤后汇合管路62通过第七管路与第一vmb管路41相连通，过滤后汇合管路62通过第八管路与第二vmb管路42相连通；第五进液阀15、第六进液阀16依次固定于第七管路上，第七进液阀17通过第一旁路51固定于第七支路77上，第八进液阀18、第九进液阀19依次固定于第八管路上，第十进液阀10通过第二旁路52固定于第八支路78上。
[0046]
本实施例中，过滤前汇合管路61用于输入待过滤的液体。
[0047]
本实施例中，过滤后汇合管路62用于输出已经过滤的液体。
[0048]
本实施例中，第三支路73、第四支路74、第五支路75、第六支路76用于输出过滤后
的废液废气，第三支路73、第四支路74、第五支路75、第六支路76可根据实际情况切换使用。
[0049]
本实施例中，第一支路71和第二支路72为进行过滤的分路，一般情况下，第一支路71和第二支路72是一备一用状态，当某个支路出现状况时，可切换备用支路。
[0050]
本实施例中，第一过滤器31和第二过滤器32用于进行化学品的过滤。
[0051]
本实施例中，第一vmb管路41和第二vmb管路42用于为过滤的后续管路，第一vmb管路41和第二vmb管路42可自由切换。
[0052]
本实施例中，第七支路77、第八支路78分别用于连接后续的vmb管路。
[0053]
本实施例中，第一旁路51为第七支路77的另一分路，用于实现当第七支路77的部件出现状况时的备用。
[0054]
本实施例中，第二旁路52为第八支路78的另一分路，用于实现当第八支路78的部件出现状况时的备用。
[0055]
本实施例中，第一进液阀11、第二进液阀12、第三进液阀13、第四进液阀14、第一排废阀21、第二排废阀22、第三排废阀23、第四排废阀24、第五进液阀15、第六进液阀16、第七进液阀17、第八进液阀18、第九进液阀19、第十进液阀10分别用于实现进液或者排废；
[0056]
其中：
[0057]
第一进液阀11、第二进液阀12为手动进液阀；
[0058]
第三进液阀13、第四进液阀14为手动进液阀；
[0059]
第一排废阀21、第二排废阀22、第三排废阀23、第四排废阀24为手动排废阀；
[0060]
第五进液阀15、第八进液阀18为气动进液阀；
[0061]
第六进液阀16、第七进液阀17、第九进液阀19、第十进液阀10为手动进液阀。
[0062]
本实施例中，为了实现各管路和部件的固定，可针对各管路和部件设置相应的支架或者支座。
[0063]
本实施例的化学品供液管路装置能够消除cmd柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。
[0064]
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。