专利名称：混合型集成光学加速度地震检波器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种混合型集成光学加速度地震检波器，属于加速度及地震波检测装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是在金属外壳内，封装有迈克尔逊干涉仪、光纤-质量块简谐振子、光电探测器、激光光源、单模光纤全反射镜及处理电路。其特征在于将光波导电光相位调制器、光波导偏振器、双Y型分支波导单片集成在铌酸锂基底上，构成干涉仪。干涉仪的输入端与激光器相连，输出端与光电探测器相连。其信号臂由条波导、光波导电光相位调制器、光波导偏振器、光纤-质量块简谐振子、单模光纤和单模光纤全反射镜组成；其参考臂由条波导、光波导偏振器、单模光纤与单模光纤全反射镜组成。
本实用新型的有益效果是由于采用了光波导迈克尔逊干涉检测系统与光集成技术，从而提高了加速度地震检波器的检测灵敏度、展宽了测量频带、减小了体积、提高了使用稳定性、适合批量生产、并能在强电磁干扰的环境下稳定工作。
图中1.单模光纤，2.硅V型槽，3.光波导偏振器，4.双Y型分支波导，5.光波导电光相位调制器，6.7.光波导偏振器，8.硅V型槽，9.单模光纤，10.光纤-质量块简谐振子，11.12.单模光纤全反射镜，13.14.单模光纤，15.处理电路
权利要求1.一种混合型集成光学加速度地震检波器，在金属外壳内，封装有迈克尔逊干涉仪、光纤-质量块简谐振子、光电探测器、激光光源、单模光纤全反射镜及处理电路，其特征在于将光波导电光相位调制器、光波导偏振器、双Y型分支波导单片集成在铌酸锂基底上构成干涉仪，干涉仪的输入端与激光器相连，输出端与光电探测器相连，其信号臂由条波导、光波导电光相位调制器、光波导偏振器、光纤-质量块简谐振子、单模光纤和单模光纤全反射镜组成；其参考臂由条波导、光波导偏振器、单模光纤与单模光纤全反射镜组成。
专利摘要本实用新型公开了一种混合型集成光学加速度地震检波器，属于加速度及地震波检测装置。在金属外壳内，封装有迈克尔逊干涉仪、光纤－质量块简谐振子、光电探测器、激光器、单模光纤全反射镜及处理电路。其特征在于将波导电光相位调制器，波导偏振器，双Y型分支波导，单片集成在铌酸锂基底上，构成干涉仪。干涉仪的输入端与激光器相连，输出端与光电探测器相连。信号臂由条波导、波导电光相位调制器、波导偏振器、光纤－质量块简谐振子、单模光纤和单模光纤全反射镜组成；参考臂由条波导、波导偏振器、单模光纤与单模光纤全反射镜组成。本实用新型的特点检测灵敏度高、频带宽，体积小，稳定性高，适合批量生产，在强电磁干扰下稳定工作。
文档编号G01V1/16GK2594808SQ0320039
公开日2003年12月24日 申请日期2003年1月14日 优先权日2003年1月14日
发明者陈才和 申请人:天津大学