专利名称：超声波扫描仪的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种测试装置，特别是一种超声波扫描仪。
背景技术：
目前随着半导体产业的蓬勃发展，半导体芯片(IC)在整个电子产业应用相当广泛。由 于制造工艺水平等问题，无法保证所有IC在制造和封装过程中内部不存在缺陷，由于内部缺 陷从外观无法检验，业界的IC制造企业、模块及IC测试机构通常使用超声波扫描仪进行无损检测。
超声波扫描仪用于验证ic在生产、存放、测试等过程中其封装有无受到温湿度及周围环
境的影响，使其内部受到损坏从而不能正常的工作。其特点在于能够精确的反映出声波和微 小样品的弹性介质之间的相互作用，从样品内部反馈回来的信号进行分析，通过探头发射和
接收声波信号，利用数字波形展示出接收到的回馈信息，从而判定ic内部是否有分层或断裂
情况。超声波扫描主要有透射和反射两种工作方式，透射扫描为采用顶部发射扫描信号底部
对应位置接收透过物体的信号生成扫描结果；反射扫描主要采用顶部发射扫描信号，信号经 物体反射后再次由顶端探头接收反射信号生成扫描结果。
目前超声波扫描仪主要的固定工作方式为在一敞开槽体内盛放适量去离子水(因为检 测用的超声波不适合在空气中传播)，在槽体中间位置对应设置一承载待测试基板的固定结 构，将测试基板固定在槽体中。采用可以平移的顶部扫描探头搭配与其垂直对应的底部接收 探头进行扫描工作，将待测试物体放在承载待测试基板上。由于顶部扫描探头、底部接收探
头在工作时的移动。去离子水的内部流动以及超声波扫描仪的抖动会引起待测试ic的晃动而
影响测试结果和精准度。因此，带侧物体通常需要固定，。前业界采用的固定方式为使用平 面的双面胶带贴附于承载待测试基板上将待测试物体进行固定。这样的固定方式使得在测试 多个不同尺寸IC时需要裁剪不同尺寸的双面胶带。在使用过程中胶带层中的物质易溶解在整 个去离子水中，造成对测试环境的污染，从而影响测试精度。而且使用后双面胶带无法轻易 清洁。
发明内容
鉴于此，有必要提供一种可防止检测过程中待测物体晃动的超声波扫描仪。 一种超声波扫描仪，其包括槽体、超声波发射器、超声波接收器、两个传动机构和承载板，所述两个传动机构上下平行设置在槽体内，用于分别带动所述超声波发射器和超声波接 收器移动，所述超声波发射器和超声波接收器分别用于发射和接收超声波信号，所述承载板 水平设置于所述槽体在两个传动机构之间的内侧壁上，以承放待测物体。所述承载板上开设 有滑动槽，所述超声波扫描仪还包括连接元件和夹持元件，所述连接元件穿过所述滑动槽及 所述夹持元件，以将待侧物体夹持于所述夹持元件与承载板之间。
一种超声波扫描仪，其包括槽体、超声波收发器、传动机构和承载板，所述传动机构设 置在槽体内，用于带动所述超声波收发器水平移动，所述超声波收发器用于发射和接收超声 波信号，所述承载板水平设置于所述槽体内侧壁上，以承放待测物体。所述承载板上开设有 滑动槽，所述超声波扫描仪还包括连接元件和夹持元件，所述连接元件穿过所述滑动槽及所 述夹持元件，以将待侧物体夹持于所述夹持元件与承载板之间。
上述超声波扫描仪通过夹持元件将待侧物体的夹持在承载板上，保证了待测物体在检测 过程中的稳定性，从而提高了检测精度。
图l为一较佳实施方式的透射式超声波扫描仪截面视图。
图2为图1所示的超声波扫描仪的俯视图。
图3为图1所示的超声波扫描仪的俯视分解图。
图4为另一较佳实施方式的反射式超声波扫描仪截面视图。
具体实施例方式
请同时参阅图l、图2和图3，其为一较佳实施方式的透射式超声波扫描仪10的截面视图 、俯视图。超声波扫描仪10包括槽体102、超声波发生器104、超声波接收器106，两个传动 机构108、 110、承载板112、多个连接元件115和多个夹持元件116。为了方便理解，该图2和 图3中省略了超声波发生器104、超声波接收器106，两个传动机构108、 110。
槽体102为一面开口的方形收容槽。超声波发生器104、超声波接收器106分别设置在两 个传动机构108、 IIO上，分别用于发射和接收超声波信号。两个传动机构108、 IIO上下平行 的设置在槽体102的内部，且与槽体102的内侧壁122相连，用于分别带动所述超声波发生器 104、超声波接收器106同步移动。该传动机构108、 IIO可为螺旋导杆、齿条或者伸縮臂等。
承载板112呈矩形，连接于槽体102两相对的内侧壁上，且位于两个传动机构108、 IIO之 间，用于承载待测物体200。承载板112上开设有两个相互平行的滑动槽132。
连接元件115穿过承载板112上的滑动槽132且能在滑动槽132内移动，两个滑动槽132内 的连接元件115—一对应。夹持元件116的两端分别连接于所述两个滑动槽132中的两个连接元件115上，以利用其与承载板112之间的间隙夹持待测物体200。图中所示的待测物体200为 芯片，在检测过程中可以只夹持芯片的引脚即可。
连接元件115包括螺丝114和螺帽118。夹持元件116为长条形弹性片(见图3)，其两端 分别开设有与所述螺丝114对应的通孔l62 。螺丝115自下向上依次穿过承载板l 12上的滑动槽 132、夹持元件116上的通孔162以及螺帽118。通过旋转螺帽118即可调节夹持元件116与承载 板112之间的间隙大小，以适合不同高度的待测物体200。同时，旋转螺帽118也可以控制螺 丝114是否可以在滑动槽132内移动，以调节夹持元件116的位置以及两个夹持元件116之间的 距离，使其可以适合各种长宽规格的待测物体200。上述夹持元件116最好由树脂或塑胶材料 制成，其弹性特征可以保护待测物体200不受到物理损害。其它实施方式中也可以只有一个 滑动槽132，夹持元件116的中间部分通过一个连接元件115固定在承载板112上即可。
另外，超声波的检测也可以是反射式检测，请参阅图4，反射式超声波扫描仪20与图1所 示的透射式超声波扫描仪10的区别在于超声波扫描仪20具有一个超声波收发器150，其集 成了所述超声波发生器104和超声波接收器106发射和接收功能，且超声波扫描仪20中的承载 板116最好由金属材料制成。
上述超声波扫描仪IO， 20通过夹持元件116将待侧物体200的夹持在承载板112上，保证 了待测物体200在检测过程中的稳定性，从而提高了检测精度。通过螺丝114和螺帽118的调 节，可以改变夹持元件116的位置以及与承载板112之间的间隙，以满足各种规格待测物体 200的固定需求。而且，上述超声波扫描仪10不仅制造成本低廉，而且用户操作也很方便。
本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明，而并非 用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施例所作的适当改变 和变化都落在本发明要求保护的范围之内。
权利要求
权利要求1一种超声波扫描仪，其包括槽体、超声波发射器、超声波接收器、两个传动机构和承载板，所述两个传动机构上下平行设置在槽体内，用于分别带动所述超声波发射器和超声波接收器移动，所述超声波发射器和超声波接收器分别用于发射和接收超声波信号，所述承载板水平设置于所述槽体在两个传动机构之间的内侧壁上，以承放待测物体，其特征在于所述承载板上开设有滑动槽，所述超声波扫描仪还包括连接元件和夹持元件，所述连接元件穿过所述滑动槽及所述夹持元件，以将待侧物体夹持于所述夹持元件与承载板之间。
2.如权利要求l所述的超声波扫描仪，其特征在于所述连接元件能 在滑动槽内移动，且带动所述夹持元件一起移动。
3.如权利要求l所述的超声波扫描仪，其特征在于所述滑动槽有两 个且相互平行，所述夹持元件的两端分别与所述两个滑动槽内的连接元件相连。
4.如权利要求l所述的超声波扫描仪，其特征在于所述连接元件包 括螺丝和螺帽，所述夹持元件的开设有与所述螺丝对应的通孔，所述螺丝穿过所述滑动槽、 所述夹持元件上的通孔以及所述螺帽，以将所述夹持元件固定在所述承载板上。
5.如权利要求l所述的超声波扫描仪，其特征在于所述夹持元件由 树脂与塑胶材料中的一种制成。
6. 一种超声波扫描仪，其包括槽体、超声波收发器、传动机构和承 载板，所述传动机构设置在槽体内，用于带动所述超声波收发器水平移动，所述超声波收发 器用于发射和接收超声波信号，所述承载板水平设置于所述槽体内侧壁上，以承放待测物体 ，其特征在于所述承载板上开设有滑动槽，所述超声波扫描仪还包括连接元件和夹持元件 ，所述连接元件穿过所述滑动槽及所述夹持元件，以将待侧物体夹持于所述夹持元件与承载 板之间。
7.如权利要求6所述的超声波扫描仪，其特征在于所述连接元件能 在滑动槽内移动，且带动所述夹持元件一起移动。
8.如权利要求6所述的超声波扫描仪，其特征在于所述滑动槽有两个且相互平行，所述夹持元件的两端分别与所述两个滑动槽内的连接元件相连。
9.如权利要求6所述的超声波扫描仪，其特征在于所述连接元件包括螺丝和螺帽，所述夹持元件的开设有与所述螺丝对应的通孔，所述螺丝穿过所述滑动槽、 所述夹持元件上的通孔以及所述螺帽，以将所述夹持元件固定在所述承载板上。
10.如权利要求6所述的超声波扫描仪，其特征在于所述夹持元件 由树脂与塑胶材料中的一种制成。
全文摘要
一种超声波扫描仪，其包括槽体、超声波发射器、超声波接收器、两个传动机构和承载板，两个传动机构上下平行设置在槽体内，用于分别带动超声波发射器和超声波接收器移动，超声波发射器和超声波接收器分别用于发射和接收超声波信号，承载板水平设置于槽体在两个传动机构之间的内侧壁上，以承放待测物体。所述承载板上开设有滑动槽，所述超声波扫描仪还包括连接元件和夹持元件，所述连接元件穿过所述滑动槽及所述夹持元件，以将待侧物体夹持于所述夹持元件与承载板之间。上述超声波扫描仪通过夹持元件将待侧物体夹持在承载板上，保证了待测物体在检测过程中的稳定性，从而提高了检测精度。
文档编号G01N29/26GK101430305SQ20071020240
公开日2009年5月13日 申请日期2007年11月6日 优先权日2007年11月6日
发明者包善勤, 薇 陈 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司