专利名称：嗅探检漏设备的制作方法
嗅微漏设备
本发明涉及一种嗅银险漏设备，其具有主设备，该主设备包含产生 高真空的真空泵装置和气#*测器；以及手持嗅探探针，该嗅探探针通过 柔软的嗅探管和可脱开的管耦连装置与主设备的气体输入管路相连。
以嗅探运行方式工作的检漏设备将借助嗅探探针吸收的气体通过嗅 探管路运送至主设备。在主设备中借助气体检测器(例如质#^)来测量 所^l^的空气流中的测试气体的浓度。为了分析，仅仅少部分被允许1 高真空，在高真空中借助质镨仪进行气体分析。气流的主要部分被前级真 空泵(Vorvakuurmpumpe)直接向回泵入气氛中。通常，前级真空泵同 样产生用于涡轮分子泵的预压力，该涡轮分子泵产生用于质镨仪的高真 空。对于实现足够低的预压力以及对于高真空系统中的限定的气体$"都 需要气流的节流。通常，这种节流通过嗅探管路的流体阻力来实现，通过 该流体阻力产生压力降。在嗅##:漏设备中借助在20sccm到300sccm之 间的气体吞吐量(与i殳备类型相关)地工作。如果在运行期间嗅探管路被 从主设备中取出，例如以便用新的管#代被阻塞的管路，则气体输入管 路中的压力升高到接近1000毫巴(mbar)。这导致高真空区域中的剧烈 的压力升高，由此气#*测器或者真空泵装置会被损坏.这样，由于压力 升高^^损坏质脊仗的发射灯丝，结果是完全的功能故障。涡轮分子泵由于 前级真空系统中的压力升高而同样负4a^l大的负荷，因为其在取出嗅探管 路时必须超出所允许的M^工作。
本发明的任务是提出 一种嗅^^r漏设备,其对从主设备中取出嗅探管 是不敏感的，其方式是保护受威胁的部件免受过大的气流危害。
根据本发明的嗅银&漏设备通过权利要求1来限定。该嗅探设备的特 征在于，气体输入管路包含限流器，该限流器在管耦连装置脱开时限制流 过气体输入管路的气体流动。
在管耦连装置脱开的情况下通过限制气体流量防止气体检测器和真 空泵装置受到危害。以这样的方式阻塞的流量被限制为使得高真空系统中 的压力升高并不危害质诿仪的发射灯丝或者并不危害对过高的压力起反
应的部件。例如包含涡轮分子泵的真空泵装置也并不会负荷过重。在嗅探检漏设备的正常运行期间，限流器并不起不利的作用。限流器的流体阻力 优选小于嗅探管的流体阻力，使得总阻力基本上通过嗅探管的流体阻力来 确定。在限流器上的压力降因此在正常运行期间可以忽略。在取出嗅探管 路时限流器的流体阻力应该是包括嗅探探针在内的嗅探管的流体阻力的 至少大约三分之一。优选地，其至少大小相等。
限流器可以由节流阀构成或者也可以由孔眼隔板构成。隔^L^到的作 用是，流量在最大值时被阻塞并且基本上不可以超过最大值。
在气体输入管路中的限流器具有的功能是,在取出嗅探管路时阻塞流 量并且由此限制流量。在孔眼隔板上以压力比例pl/p2^来阻塞流量。在
取出嗅探管路时情况如此.
如果连接了嗅探管路，则管路上的压力降减小了隔板的输入侧上的压 力，使得取消阻塞并且可以忽略通过隔板的传导率。
使用节流阀时的作用方式是类似的，该节流阀具有带有较大的纵向伸 展的毛细管。节流阀的不利的作用在于随着节流阀毛细管长度增加而降低 了阻塞效应。
不仅可以使用节流阀，而且可以使用由薄的金属片构成的板状的孔眼 隔板，其中使用孔眼隔板是理想情况。
本发明的优点在于，即使在i殳备运行期间也可以在无需特别的措施的 情况下更换嗅探管路。嗅探检漏设备也可以在没有连接嗅探管路的情况下 起动。在气体入口处并不需要阀，涡轮分子泵在关断设备的情况下受到保 护。质m的部件(例如发射灯丝)得到保护。
合乎目的地，过滤器与限流器串联地设置。由此，防止了污物^/v真 空系统中。以下参照附图
的唯一的图示更为详细地阐述了本发明的实施 例。
在附图中示意性示出了嗅樣险漏设备的结构。
p臭^漏设备具有主设备10，该主设备实施为立式设备并且包含重 量重的部件。柔软的嗅探管12通过管耦连装置11连接到主设备10上， 该嗅探管具有手持的嗅探探针13.嗅探探针13通过入口 14从气氛中吸 收气体，该气体要被针对测试气体(例如氦)的踪迹进行检测。
主设备IO包含气,测器20，该气^^r测器在此^t镨仪。为了质 谙仪的运行需要高真空，该高真空由真空泵装置21产生。高真空通过如下方式来限定压力p〈:L3xlO-s毫巴。高真空区域由质脊"20的内部空 间构成。
真空泵装置21包含前级真空泵22和涡轮分子泵23，涡轮分子泵的 高真空侧直接与质镨仪20的壳体相连。
涡轮分子泵23的出口通过预压力管路24与前级真空泵22的入口相 连。前级真空泵在此两级地实施。该前级真空泵具有第一泵级25和预抽 泵级26,它们相继地连接。预抽泵26泵入通向气氛中的出口 27。
管耦连装置11具有设置在主设备10的壳体上的插塞型耦连装置30， 嗅探管路12的插塞件31可以插入该插塞型耦连装置中。插塞插座30连 接到气体输入管路32上，该气体输入管路包含限流器33和过滤器34。 该过滤器34位于管耦连装置11和限流器33之间。限流器33在此实施为 隔板。
气体输入管路32在限流器33之后与气体检测器20的高真空入口 36 相连。此外，气体输入管路32与涡轮分子泵23的中间气体入口 37相连。 最后，气体输入管路32与前级真空泵22的两个泵级的连接点28相连。
在一种应用情况中，限流器集成在INFICON有限责任公司的设备 Ecotec E3000中。在带有嗅探管12的正常运行期间，标准流量为160 sccm。在取出嗅探管时，在没有保护措施的情况下流量上升到几千sccm。 大的气流使系统中的压力急剧升高。因此，使用了限流器33。该限流器 由具有孔直径为0.26mm的隔板构成。由此，在取出嗅探管时流量被节流 为大约600sccm。对于涡轮分子泵不仅在卩<1.3乂10—3毫巴的高真空系统 中而且在前级真空系统(p < 10毫巴)中在取出嗅探管时压力保持在允许 的范围中。在正常运行期间，隔板相对于没有隔板的状态将流量减小仅仅 小于10%。
权利要求
1.一种嗅探检漏设备，具有主设备(10)，该主设备包含产生高真空的真空泵装置(21)和气体检测器(20)；以及手持嗅探探针(13)，该嗅探探针通过柔软的嗅探管(12)和可脱开的管耦连装置(11)与主设备(10)的气体输入管路(32)相连，其特征在于，气体输入管路(32)包含限流器(33)，该限流器在管耦连装置(11)脱开时限制流经气体输入管路(32)的气流。
2. 根据权利要求1所述的嗅银险漏设备，其特征在于，过滤器(34) 与限流器(33)串联地设置。
3. 根据权利要求1或者2所述的嗅银险漏设备，其特征在于，管耦 连装置(11)是由插塞插座(30 )与插塞件(31)构成的插塞型耦连装置。
4. 根据权利要求l至3中任一项所述的嗅探检漏设备，其特征在于， 限流器(33 )被设计为使得在嗅探管(12 )脱开时在限流器上形成压力降， 该压力降将高真空区域中的压力限制到对气，测器(20 )和真空泵装置(21) 无损害的值。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的嗅探检漏设备，其特征在于， 真空泵装置(21)包含前级真空泵(22)和涡轮分子泵(23)。
6. 根据权利要求5所述的嗅银险漏设备，其特征在于，涡轮分子泵 具有中间气体入口 (37)，该中间气体入口与气体输入管路(32)相连。
7. 根据权利要求5所述的嗅樣险漏设备，其特征在于，前级真空泵(22) 具有两个泵级(25， 26)，所述泵级的连接点(28)与气体输入管 路(32)相连。
8. 根据权利要求1至7中任一项所述的嗅探检漏设备，其特征在于， 限流器(33)是孔眼隔板，其流体阻力小于嗅探管(12)的流体阻力的 10%。
9. 根据权利要求1至7中任一项所述的嗅探检漏设备，其特征在于， 限流器是节流阀。
全文摘要
一种嗅探检漏设备，具有质谱仪(20)、涡轮分子泵(23)和前级真空泵(22)。当嗅探管(12)和手持的嗅探探针(13)从主设备脱开时，气氛压力会到达气体输入管路(32)中并且干扰质谱仪(20)中的高真空。为了保护质谱仪和真空泵装置，在气体输入管路(32)中设置有带有前置过滤器的限流器(33)。
文档编号G01M3/20GK101553720SQ200780043868
公开日2009年10月7日 申请日期2007年10月26日 优先权日2006年11月29日
发明者丹尼尔·韦齐希 申请人:因菲康有限公司