专利名称：用于校准坐标测量装置的方法
技术领域：
本发明涉及一种用于校准坐标测量机的方法，该方法包括以下步骤-在所述坐标测量机的测量体积中提供具有已知特性的参考测量对象；-对所述参考测量对象采集多个参考测量值；以及-使用所述参考测量值且使用所述已知特性确定校准数据，-其中所述校准数据包括第一数目的多项式系数，所述第一数目的多项式系数被 选择为借助于至少一个多项式变换来校正所述坐标测量机的非线性测量误差。本发明还涉及一种坐标测量机，其包括用于测量对象的接纳器(rec印tion)，包括 用于产生所述测量对象的位置依赖测量值的传感器，并且包括用于控制所述传感器且用于 处理所述测量值的评估和控制单元，其中所述评估和控制单元被设计为使用具有已知特性 的参考测量对象确定校准数据，并且其中所述校准数据包括多个多项式系数，所述多项式 系数被选择为借助于至少一个多项式变换来校正所述坐标测量机的非线性测量误差。
背景技术：
从EP 1 051 596B1大体上可知这种类型的方法和坐标测量机，但该出版物没有 详细公开坐标测量机的结构。根据本发明的坐标测量机具有可以相对于测量对象移动的传感器。测量对象通常 被放置在测量台或另一合适的接纳器上。该传感器相对于测量对象而被放置在限定的位置 中。随后，通过评估该传感器在测量体积中的位置以及如果合适，由该传感器提供的进一步 测量的数据，在测量对象上确定限定的测量点的空间坐标。这样的坐标测量机可被用于通 过在多个测量点处采集空间坐标而确定测量对象的包括形状和外形轮廓的几何尺度。因 此，坐标机被通常应用于对工件的质量控制。在许多情况下，坐标机具有所谓的触觉式测量传感器。这是一种具有传感器基部 的传感器，所述传感器基部可以相对于测量对象移动。该传感器还具有探测元件，其通常为 探针的形式，通过该探针，实现与测量对象上的测量点的接触。探测元件可以相对于传感器 基部移动，从而该探测元件在测量点的接触期间偏斜。传感器中的测量元件用于确定相对 于传感器基部的这些偏斜，以实现高测量精确度。通常，使用所谓的变换矩阵将探测元件相 对于传感器基部的偏斜变换成坐标系统，该坐标系统规定传感器在测量体积中的位置。在 校准操作中计算变换矩阵的系数，其中对具有已知特性的参考测量对象采集参考测量值。在开头处提到的EP 1 051 596B1公开了这样一种校准方法，其中，首先确定在探 针的端部上设置的探球的位置和半径，并且其中随后计算变换矩阵的系数。此外，根据EP 1 051 596B1的方法提供了使用多个另外的参考测量值来确定误差表，该误差表代表根据探 测元件的偏斜量值变化和根据各自的测量位置变化的测量偏差。该误差表可以被提供为所 谓的查找表的形式或者具有多项式系数的多项式函数的形式。在后一情况下，多项式函数 用于通过借助于多项式函数来计算对于传感器系统的非线性行为的线性化而校正非线性 测量偏差。
因此，校准不仅包括对变换矩阵的系数的确定，还包括对代表剩余的非线性测量 偏差的合适的多项式系数的确定。根据EP 1 051 596B1的方法需要大量的参考测量值，因此相当费时。这是不利 的，因为在坐标测量机的操作期间经常需要重复校准以实现高精确度的测量。为了加快具有测量传感器的坐标测量机的校准，希望使必须通过校准确定的参数 或系数的数目最小化。需要确定的参数/系数越少，所需的参考测量值也越少。另一方面， 最小化不应导致忽略显著的测量偏差。通过对改进的校准方法的查找发现，用于校正非线性的多项式变换可部分地导致 在未受到参考测量值支持的点处的强测量偏差。换言之，即使当多项式变换在受到参考测 量值支持的那些内插点处获得非常好的校正结果，所述多项式变换也会引起“新的”非线性
测量偏差。
发明内容
在该背景下，本发明的目的是提供一种校准坐标测量机的方法，通过该方法，可以 更容易地且以更高的精确度校正从非线性系统产生的测量误差。特别地，本发明的目的是 提供一种稳健的校准方法，即使远离受到参考测量值支持的测量位置，该校准方法也能够 实现精确的测量。本发明的另一个目的是提供一种合适的坐标测量机。根据本发明的一方面，通过在开头提到的类型的方法实现这些目的，其中在迭代 方法中将多项式系数的第一数目减少到较少的第二数目，其中形成多项式系数的多个对， 并且其中在所述对的多项式系数之间的统计学相关性大于限定的阈值的每一种情况下，可 以消除所述对的多项式系数。根据本发明的另一方面，通过在开头提到的类型的坐标测量机实现该目的，其中 所述评估和控制单元被设计为在迭代方法中将多项式系数的第一数目减少到较少的第二 数目，其中形成多项式系数的多个对，并且其中在所述对的多项式系数之间的统计相关性 大于限定的阈值的每一种情况下，可以消除所述对的多项式系数。有利地以具有程序代码的计算机程序的形式实现该新颖的方法，该计算机程序被 存储在合适的数据介质上且被设计为当程序代码在坐标测量机的评估和控制单元中运行 时执行该新颖的校准方法。该新颖的校准方法仍然是基于使用多项式变换来校正坐标测量机的非线性测量 误差的构思。然而，发现校正质量强烈依赖于在校准过程中确定哪些和多少多项式系数。发 现多项式的过大的数目导致这样的变换方程，虽然这些变换方程在受到参考测量值支持的 那些点处获得了良好的校正结果，但它们会在其他点处引起强烈的非线性偏差。可通过使 用用于特定校准任务的多项式系数的“最优”集合而避免该问题。困难在于找到多项式系数 的该“最优”集合。该新颖的校准方法可以通过使用迭代方法而克服该困难，该迭代方法用 于优化所使用的多项式系数的数目。在该过程中，从最初提供的多项式系数集合中消除“不 必要的”多项式系数。特别地，消除对至少一个其他多项式系数具有强烈的统计相关性的多 项式系数。换言之，消除这样的多项式系数，这些多项式系数不能获得用于校正非线性测量 偏差的合适的独立分量。发现以该方式确定的校准数据能够在未受到参考测量值支持的点 处实现更精确的测量结果而不显著地破坏在受到参考测量值支持的测量位置处的精确度。
该新颖方法允许确定用于校正非线性测量误差的多项式系数的减小的集合而不 破坏利用校准数据测量的精确度。另外，多项式系数的选择和确定是自学习的。因此，该新 颖方法自动地调整用于不同的测量环境。用于校准的开销因此而减少。此外，在将来的校 准任务期间能够在可比的测量条件下使用通过迭代过程获得的值，以从一开始就明确地减 少要确定的校正系数的数目。因此，每个校准操作为将来的校准操作提供先验值，并且这可 用于进一步加快校准操作。总之，该新颖方法为具有多维、非线性传感器单元的坐标测量机提供了一种简单、 快速且稳健的校准。因此，完全实现了上述目的。在本发明的细化中，相关值被确定作为用于每对多项式系数的统计相关性的量 度，其中所述相关值代表所述对的多项式系数之间的交叉相关性。在该细化的优选示例性实施例中，确定每对的两个多项式系数之间的所谓的相关 系数。所述相关系数是对所述多项式系数的各自的标准偏差归一化的特征数。其可位于-ι 与1之间。其是在一对的两个多项式系数之间的线性统计相关性的量度。然而，替代使用 相关系数，还可以使用在数学上与其有关的另一变量，例如，(非归一化的)协方差。一般 而言，该细化被限制为对在每对的多项式系数之间的线性统计相关性的分析。该细化简化 且加快了校准操作，并且获得在校准数据的精确性和稳健性方面的良好结果。然而，在其他 细化中，原则上还可以利用更高次数的统计相关性。在另一细化中，绝对地(即，作为绝对值)比较所述相关值与阈值，所述阈值代表 大于0. 4、优选大于0. 6、更优选大于约0. 8的交叉相关性。在该细化中，当两个多项式系数的相关系数的绝对值大于规定的阈值时，消除所 述对的多项式系数中的一个。实际调查表明，当线性统计相关性超过所述规定的阈值时，所 述对的多项式系数中的一个的消除带来期望的优点。在另一细化中，每一个多项式系数代表多项式次数，在每种情况下，所述对中的代 表较高的多项式次数的那个多项式系数被消除。。所述多项式次数规定在多项式变换中出现的各自的多项式项的幂。根据该细化， 从两个相关的多项式系数中消除在每种情况下都被分配给更高的多项式次数的那个多项 式系数。如果两个相关的多项式系数中的每一个都代表相等的多项式次数，则可以消除两 个之一而没有优选的优先性。相对地，在不同多项式次数的情况下，消除较高多项式次数的 多项式系数是有利的，这是因为由此可以使校准更稳健，即，即使对于未受到参考测量值支 持的测量位置，也可以以较高的精确性和可靠性使用校准数据。在另一细化中，校准数据还包括变换矩阵的变换系数，其代表在参考测量值与已 知的特性之间的线性关系。该细化对于其中测量传感器提供多维测量值的坐标测量机特别有利。可选地，该 新颖校准方法还可以被用于其中仅仅使用触发式探头的更简单的坐标测量机。于是，例如， 该新颖校准可被限制为沿着探头的移动轴校正引导误差。然而，在优选细化中，校准还将用 于传感器测量数据的变换的校准数据供应到坐标测量机的坐标系统中。由于这样的具有 “测量传感器”的坐标测量机通常被用于对测量精确度有特别高要求的测量任务，该校准方 法特别适合于这样的坐标测量机。在另一细化中，形成各具有多项式系数和变换系数的多个对，其中当在对的多项式系数与变换系数之间的统计相关性大于限定的阈值时，该对的多项式系数被消除。在该细化中，即使在存在与变换矩阵的系数的显著相关性时，也消除用于使测量 值线性化的多项式系数。该细化消除了校准数据之间的另外的统计相关性，因此其能够实 现特别稳健、快速和精确的误差校正。在另一细化中，作为第一和第二数目之差的函数来确定代表坐标测量机的质量标 准的特征值。该细化有利地利用了通过多项式系数的最小化而产生的信息。例如，小的第二数 目或者大的在第一和第二数目之间的差异表明对应的坐标测量机仅仅具有相对轻微的非 线性，因此其通常适合高精确度测量。这对于其中在消除了统计相关性的多项式系数之后 留下小数目的多项式系数的多维传感器同样有效。此外，可以作为剩余的多项式系数的函 数来为单独的测量点指定与局域测量不确定性有关的信息条目。在另一细化中，与代表坐标测量机的参数数据一起，在数据库(knowledge database)中提供被消除的多项式系数。特别地，所述参数数据包括，例如，与校准后的坐标测量机和/或传感器的特 性有关的信息，例如，所使用的探测元件、坐标测量机的框架结构(例如，水平臂、门架 (portal)、桥)的重量和/或长度等等。当已经根据该新颖方法消除了特定的多项式系数 时，该信息与参数数据可以提供为将来的校准操作有利的先验数据，从而允许在适当情况 下从一开始就省去被消除的多项式系数。因此，该细化能够实现坐标测量机的校准的进一 步简化。在另一细化中，通过这样的触觉式传感器采集参考测量值，该触觉式传感器具有 传感器基部、可相对于传感器基部移动的探测元件、以及被设计用于确定探测元件相对于 传感器基部的相对位置的多个测量元件，其中多项式系数代表测量元件的非线性特性。在使用迄今已知的方法的坐标测量机上的触觉式测量传感器的校准特别复杂，这 是因为在校准中必须考虑的自由度的数目众多。使用该新颖的校准方法，可以极大地减小 用于校准这样的触觉式测量传感器的开销而不破坏基本上可能的高测量精确度。因此该新 颖方法在触觉式测量传感器的情况中的应用是特别优选的情况。在另一细化中，通过非接触式测量传感器采集参考测量值。例如，其可以是基于光 学照相机的传感器和/或电容性接近式传感器。虽然已研发的该新颖方法首要地用于解决在具有触觉式测量传感器的坐标测量 机的校准中的问题，但其也可以有利地与其他多维传感器一起使用。如已经示出的，根据其 统计相关性的多项式系数的迭代消除还使得校准开销减小且在这种传感器的情况下产生 更稳健的校准数据。不用说，以上特征以及下面将解释的特征不仅可以在其分别特定的组合中应用， 而且可以在其他组合中或其自身中应用，而不脱离本发明的范围。
在附图中示例且在以下描述中更详细地解释本发明的示例性实施例。在附图中图1示出根据本发明的示例性实施例的坐标测量机的简化示例；图2示出用于解释该新颖方法的示例性实施例的流程图3示出用于解释根据图2的方法的第一变体的流程图；以及图4示出用于解释根据图2的方法的第二变体的流程图。
具体实施例方式在图1中，参考标号10表示坐标测量机整体。例如，这是一种为了测量工件而特 别制造的门架设计的坐标测量机。本发明不限制于狭义上的坐标测量机，其还可以与其中 使用合适的传感器确定测量对象的多维空间坐标的机器工具或其它机器一起使用。因此， 术语“坐标测量机”还包括在本发明的范围中的这种机器。坐标测量机10具有基部12，在基部12上设置门架14。托架16被设置在门架14 的上部横梁上，其支撑活动套管(quill) 18。在活动套管18的下部自由端上设置传感器头 20。传感器头20是触觉式测量传感器头，其具有用于探针22的夹具，探针22可相对于该 夹具旋转。参考标号23表示测量元件(在此仅仅示意性示出)，通过该测量元件，可以确定 探针22相对于夹具的偏斜。在门架14的底部处设置驱动器24，驱动器24被设计为使门架14沿纵向移动。该 纵向通常被表示为y轴。可以通过测量系统26来确定门架14相对于基部12的位置。测 量系统26通常为玻璃尺，其可以通过合适的传感器(在此未示出)而被扫描。以相同的方式，可以使托架16沿通常被表示为χ轴的方向相对于门架14移动。此 外，可以使活动套管18沿通常被表示为ζ轴的方向相对于托架16移动。可以通过另外的 测量系统28和30确定托架16和活动套管18的各自的空间位置。总的来说，可以使用对 门架14、托架16和活动套管18的驱动而使传感器头20在测量体积内移动，其中所述测量 体积由门架14、托架16和活动套管18的最大行程限定。将测量对象32设置在测量体积内的基部12上。为了进行测量，使传感器头20向 测量对象32移动，直到探针22的自由下端上的探球与测量对象32上的期望测量点接触。 借助于探针相对于传感器头的基部的偏斜来检测该接触。从沿x、y和ζ轴的各自的位置以 及探针22的偏斜得到被扫描的测量点的空间坐标。由于制造容差、温度波动、老化影响等，坐标测量机10沿x、y和ζ轴的引导路径以 及探针22的偏斜会有变化。此外，传感器的沿这些移动轴的测量结果呈现非线性。因此， 在进行测量之前必须通过测量具有已知特性的参考测量对象来校准坐标测量机10。通过比 较参考测量对象的参考测量值与已知特性，可以确定校准数据，所述校准数据被用于随后 对实际测量对象的测量，以校正系统测量误差。由参考标号34表示评估和控制单元，其控制传感器头20的移动，记录测量元件23 和测量系统26、28、30的测量值并对其进行处理。此外，评估和控制单元34还可以用于进 行校准操作。在优选的示例性实施例中，评估和控制单元34包括处理器36和至少两个存 储器38、40。在优选的示例性实施例中，在存储器38中存储所设计的计算机程序，用以执行 例如在下面参考图3和4解释的校准方法。另外，在存储器40中还存储在校准操作过程中 确定的校准数据。根据图2，在此用于校准传感器头的校准方法始于在测量体积内定位具有已知特 性的参考测量对象32。参考测量对象是，或者通常包括，具有已知半径R的球，如在开头提 到的EP 1 051 596B1中所描述的。根据步骤50，接触在参考测量对象上的测量点n，并且
8根据步骤52，记录测量元件23和测量系统26、28、30的测量值S (η)。根据步骤54，判定是 否为另外的测量点η采集测量数据。如果合适，根据循环56，该方法回到步骤50。当最终采集完测量值时，根据步骤58，为多项式变换确定多项式系数PK (1. ..K), 借助于该多项式变换，测量数据S(η)被线性化。多项式系数的数目和各自的值最初都是未 知的。由于该原因，例如，首先使用以下类型的多项式S，= (Sjc11 · S1 · s2+c12 · S1 · s3+c13 · S1 · S1 · S2+. · ·s2+c21 · S2 · Sjc22 · S2 · s3+· · ·，s3+c31 · S3 · S^c32 · S3 · s2+· · ·)S1, S2, S3为传感器头的测量元件在测量点η处的测量数据，并且Cn，C12，C13代表 多项式的多项式系数。S’表示在多项式变换之后测量元件的线性化的三维测量信号。作为可以从数据库 60取得的先验数据的函数，可以通过将合适的多项式系数设定为零而从一开始就消除已知 为不需要的多项式项。通过使目标函数最小化来计算多项式系数。在优选的示例性实施例中，目标函数 是在参考测量对象的参考测量值与已知的特性之间的所有误差平方的最小二乘最小化。本 领域相关技术人员公知计算多项式系数的这种方法。根据步骤62，顺序地存储计算出的多项式系数ΡΚ(1. . . K)，其中在这里多项式次 数提供排序标准。根据步骤64和66，接下来从测量数据确定变换矩阵和所谓的偏移。变换 矩阵包含变换系数，通过变换系数，将测量元件23的(线性化的)测量数据(即，探针22 的偏斜)变换成具有坐标轴x、y和ζ的坐标测量机10的坐标系统。偏移规定在探针22的 自由端处的探球的中心。对变换矩阵和偏移的计算同样是本领域相关技术人员公知的，例 如，在开头提到的EP 1 051 596B1中进行了描述，其全部内容在此引用作为参考。根据步骤68，接下来确定协方差矩阵，所述协方差矩阵包括在所有计算出的多项 式系数之间的协方差。协方差矩阵可以有利地包括与所有另外的计算值(特别地，变换系 数)有关的协方差。根据步骤70，随后形成各具有两个多项式系数PK1和PKm的对。检验多项式系数 PK1和PKm的统计相关性，如在下面参考图3更详细地解释的。如果该对的多项式系数的统 计相关性超过限定的阈值，则消除所述多项式系数中的一个。优选消除该对中的这样的多 项式系数，其代表根据在步骤62中形成的序列的较高的多项式次数。随后，根据步骤72，判 定进一步的迭代步骤是否有用。如果有用，则根据循环74，该方法转到步骤58，并且可以再 次计算(剩余的)多项式系数、变换系数和偏移。然而，在该过程中，所有先前消除了的多 项式系数被设定为零，即，用于线性化的多项式随着每一个迭代步骤而被简化。当迭代步骤不再产生显著变化时，迭代循环74终止。在该方法的优选变体中，确 定被消除的多项式系数的数目以及剩余的多项式系数的数目。根据步骤78，剩余的多项式 系数的数目和/或被消除的多项式系数的数目被显示作为坐标测量机10的质量标准的量 度。不用说，计算出的系数也被存储在评估和控制单元34的存储器40中，因此它们作为校 准数据而可得到，这些校准数据可用于在后续的测量情况下校正系统误差。图3示出另一流程图，其示例出在优选的示例性实施例中用于消除统计相关的多 项式系数的方法步骤。根据步骤80，形成多项式系数PK1和PKm的对PtPK1 ;PKm]。随后，根据步骤82，确定该对的多项式系数之间的交叉相关性k([PKi ；PKm])。根据步骤84，接下来 比较交叉相关性k的绝对值与阈值，该阈值在优选的示例性实施例中为0. 8。然而，阈值还 可以大于或小于该值。阈值越大，所允许的多项式系数之间的统计相关性越大，这是因为根 据循环86，当不超过阈值时，该方法转到方法步骤80。比较而言，如果超过阈值，则将该对 的两个多项式系数之一设定为零，即，被消除。优选消除代表较高的多项式次数的那个多项 式系数。随后，该方法转到步骤80，直到对多项式系数的所有对都进行了交叉相关性与阈值 的比较。在优选的示例性实施例中，在数据库60中存储被消除的多项式系数，以为将来的 类似的校准任务提供先验数据。 图4示出用于消除多项式系数的备选方法，根据图4的方法被用于优选的示例性 实施例中作为对根据图3的方法的补充。根据图4的步骤90，形成各具有多项式系数PK1 和变换矩阵的变换系数Km的对P[PK1 ；Km]。替代地和/或附加地，还可以使用偏移矢量的系 数来形成分别具有一个多项式系数的对。根据步骤92，随后确定该对的交叉相关性，并且根 据步骤94，比较该交叉相关性与阈值。如果该对的交叉相关性超过阈值，则将对应的多项式 系数PK1设定为零。否则，根据循环96，该方法被直接分支到下一个对。不用说，仅仅当实 际提供了变换系数和/或偏移系数时，根据图4的备选方案才是可能的。通常，当为触觉式 测量传感器确定校准数据时，情况是这样。然而，原则上，该新颖方法还可与其他传感器一 起使用且还与特定的传感器无关，以校准坐标测量机。例如，还可以使用该新颖方法来确定 用于校正沿坐标测量机10的W移动轴的非线性引导误差的校准数据。此外，还可以使 用该新颖方法来校准光学或其他多维传感器。概括地说，该新颖方法可被用于其中在多维 测量系统的各坐标轴之间存在相关性的所有情况。
权利要求
一种用于校准坐标测量机(10)的方法，包括以下步骤 在所述坐标测量机(10)的测量体积中提供(48)具有已知特性的参考测量对象(32)； 对所述参考测量对象(32)采集(52)多个参考测量值；以及 使用所述参考测量值且使用所述已知特性确定(58，64，66)校准数据， 其中所述校准数据包括第一数目的多项式系数(PK)，所述第一数目的多项式系数(PK)被选择为借助于至少一个多项式变换来校正所述坐标测量机(10)的非线性测量误差，其特征在于，在迭代方法(70，72，74)中将所述第一数目的多项式系数(PK)减少到较少的第二数目，其中形成(80)多项式系数的多个对，并且其中在对的所述多项式系数之间的统计相关性大于限定的阈值时的每种情况下消除(88)所述对的所述多项式系数。
2.根据权利要求1的方法，其特征在于，对于多项式系数的每个对，将相关值确定(82) 作为所述统计相关性的量度，其中所述相关值代表所述对的所述多项式系数之间的交叉相 关性。
3.根据权利要求2的方法，其特征在于，比较作为绝对值的所述相关值与阈值，所述阈 值代表大于0. 4、优选大于0. 6、更优选大于约0. 8的交叉相关性。
4.根据权利要求1至3中的一项的方法，其特征在于，每一个多项式系数代表(62)多 项式次数，其中在每种情况下，所述对中的代表较高的多项式次数的那个多项式系数被消 除。
5.根据权利要求1至4中的一项的方法，其特征在于，所述校准数据还包括(64)变换 矩阵的变换系数，其代表在所述参考测量值与所述已知特性之间的线性关系。
6.根据权利要求5的方法，其特征在于，还形成(92)各具有多项式系数和变换系数的 多个对，其中当在所述对的所述多项式系数与所述变换系数之间的统计相关性大于限定的 阈值时，该对的所述多项式系数被消除(98)。
7.根据权利要求1至6中的一项的方法，其特征在于，根据所述第一和第二数目之差来 确定(78)代表所述坐标测量机的质量标准的特征值。
8.根据权利要求1至7中的一项的方法，其特征在于，在数据库(60)中提供被消除的 多项式系数以及代表所述坐标测量机的参数数据。
9.根据权利要求1至8中的一项的方法，其特征在于，使用这样的触觉式传感器采集所 述参考测量值，该触觉式传感器具有传感器基部(20)、可相对于所述传感器基部移动的探 测元件(22)、以及被设计用于确定所述探测元件(22)相对于所述传感器基部(20)的相对 位置的多个测量元件(23)，其中所述多项式系数代表所述测量元件(23)的非线性特性。
10.根据权利要求1至8中的一项的方法，其特征在于，借助于非接触式测量传感器采 集所述参考测量值。
11.一种坐标测量机，其包括用于测量对象(32)的接纳器(12)，包括用于产生所述测 量对象的位置依赖测量值的传感器(20)，并且包括用于控制所述传感器(20)且用于处理 所述测量值的评估和控制单元(34)，其中所述评估和控制单元(34)被设计为使用具有已 知特性的参考测量对象确定校准数据，并且其中所述校准数据包括多个多项式系数，所述 多项式系数被选择为使用至少一个多项式变换来校正所述坐标测量机的非线性测量误差，其特征在于，所述评估和控制单元(34)被设计为在迭代方法中将第一数目的多项式系数 减少(70，72)到较少的第二数目，其中形成(80)多项式系数的多个对，并且其中在对的所 述多项式系数之间的统计相关性大于限定的阈值时的每种情况下消除(88)所述对的所述 多项式系数。
12. 一种包括程序代码的计算机程序，其被设计为当在坐标测量机的评估和控制单元 中运行所述程序代码时执行根据权利要求1至10中的一项的方法。
全文摘要
为了校准坐标测量装置，提供具有已知特性的参考测量对象。记录所述参考测量对象上的多个参考测量值。基于所述参考测量值且基于所述参考测量对象的所述已知特性，确定校准数据，其中所述校准数据包括第一数目的多项式系数，所述第一数目的多项式系数被设计为基于至少一个多项式变换校正非线性测量误差。根据本发明的一方面，在迭代方法中将所述第一数目的多项式系数减少到较少的第二数目，其中形成多项式系数的多个对，并且其中如果在对的所述多项式系数之间的统计相关性大于限定的阈值，则消除该对的多项式系数。
文档编号G01B21/04GK101918792SQ200880125134
公开日2010年12月15日 申请日期2008年11月11日 优先权日2007年11月20日
发明者S·昆兹曼, T·恩格尔, T·赫尔德 申请人:卡尔蔡司工业测量技术有限公司