专利名称：一种电容极板型真空度测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电容极板型真空度测量装置。
背景技术：
在工业生产中，经常遇到进行真空度测量的场合，但是目前真空度测量装置体积 较大，且价值昂贵，使用步骤繁琐，限制了普通工业场合的应用。
发明内容
针对上述不足，本发明提供了一种电容极板型真空度测量装置，这种装置内部有 固定气压，随空间真空度变化电容发生变化从而可以测出空间真空度。本发明通过以下技术实现一种电容极板型真空度测量装置，电容极板型真空度测量装置，它包括柔性橡胶 板I和柔性橡胶板II，柔性橡胶板I内壁设有柔性金属极板I，柔性橡胶板II内壁设有柔 性金属极板II，两柔性橡胶板I和柔性橡胶板II端部设有刚性密封圈连接，柔性金属极板 I和柔性金属极板II通过导线与相应控制电路连接。所述柔性橡胶板I和柔性橡胶板II为两块圆形柔性橡胶板。所述控制电路包括电阻I，它与柔性金属极板I和柔性金属极板II串联组成第一 支路；同时还包括电阻II及串联的可调电容组成的第二支路；两支路并联，同时在电阻I 和电阻II间连接交流电压表。本发明的电容极板型真空度测量装置，主要由刚性密封圈，柔性橡胶板，柔性金属 极板及相关电路组成，其特征为该装置由相对两块圆形柔性橡胶板固定在刚性密封圈上 构成一个密闭空间，两块柔性金属极板平贴在柔性橡胶板的内侧，且向外引有导线，当测量 某一密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的柔性橡胶板变 形带动金属极板变形，从而改变了由两块极板构成的电容器的电容，用图2所示电路测量 该电容值，通过计算即可被测密闭空间的真空度。本发明的优点是，装置体积小，价格便宜，使用方便，操作安全，特别适合在普通工 业场合使用。
图1是该装置的纵剖面构造图；图2是电容测量电路图；图3是该装置的纵剖面平面图。图中，1、柔性橡胶板1，2、柔性金属极板1，3、柔性金属极板11，4、柔性橡胶板II， 5、刚性密封圈，6电阻1，7、电阻II。具体实施例 图1、图2、图3中，该装置由两个相对的柔性橡胶板Il及柔性橡胶板114固定在 刚性密封圈5上构成一个密闭空间，柔性金属极板12和柔性金属极板113分别平贴在柔性 橡胶板Il和柔性橡胶板114的内侧，柔性金属极板12和柔性金属极板113向外引有导线， 当测量某一密闭空间的真空度时，该将装置放置其中，在气压的差作用下，该装置的柔性橡 胶板Il和柔性橡胶板114变形带动柔性金属极板12及柔性金属极板113变形，从而改变 了由这两块极板构成电容器的电容，经图2电路测量该电容值，通过计算即可被测密闭空 间的真空度。控制电路包括电阻16，它与柔性金属极板Il和柔性金属极板113串联组成第 一支路；同时还包括电阻117及串联的可调电容组成的第二支路；两支路并联，同时在电阻 16和电阻117间连接交流电压表。
权利要求
1.一种电容极板型真空度测量装置，它包括柔性橡胶板I和柔性橡胶板II，柔性橡胶 板I内壁设有柔性金属极板I，柔性橡胶板II内壁设有柔性金属极板II，两柔性橡胶板I 和柔性橡胶板II端部设有刚性密封圈连接，柔性金属极板I和柔性金属极板II通过导线 与相应控制电路连接。
2.如权利要求1所述的电容极板型真空度测量装置，其特征是，所述柔性橡胶板I和柔 性橡胶板II为两块圆形柔性橡胶板。
3.如权利要求1所述的电容极板型真空度测量装置，其特征是，所述控制电路包括电 阻I，它与柔性金属极板I和柔性金属极板II串联组成第一支路；同时还包括电阻II及串 联的可调电容组成的第二支路；两支路并联，同时在电阻I和电阻II间连接交流电压表。
全文摘要
本发明涉及一种电容极板型真空度测量装置，它包括柔性橡胶板I和柔性橡胶板II，柔性橡胶板I内壁设有柔性金属极板I，柔性橡胶板II内壁设有柔性金属极板II，两柔性橡胶板I和柔性橡胶板II端部设有刚性密封圈连接，柔性金属极板I和柔性金属极板II通过导线与相应控制电路连接。当测量某一密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的柔性橡胶板变形带动金属极板变形，从而改变了由两块极板构成的电容器的电容，测量该电容值，通过计算即可被测密闭空间的真空度。
文档编号G01L21/00GK102062664SQ200910222458
公开日2011年5月18日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者刘保龙, 吴冬雨, 孙杰, 张朝, 张正珣, 李龙韬, 陈同 申请人:刘保龙