专利名称：使用squid磁性传感器的无损检查设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，用于进行试样的无损检查。
背景技术：
在由例如金属材料或导电复合材料形成的结构的元损检查领域中，通过感应涡电 流来检测裂纹的涡电流测试、使用超声波的超声波测试和使用X射线的X射线测试已经实 际使用。而且，以经提出了使用SQUID(超导量子干涉仪)磁性传感器的无损检查方法(见 下面的专利文献1)。专利文献1 JP07-077516A专利文献2 日本专利No. 315207
发明内容
上述普通的涡电流测试方法需要感应高频涡电流，以便获得高灵敏性，这样，问题 是只能在试样表面附近的几十毫米范围内进行检查。而且，它的灵敏性与SQUID磁性传感 器等相比不充分。此外，尽管普通的超声波测试是用于均勻金属材料的良好检查方法，但是 不能对于具有内部复杂结构的复合材料进行精确测试，因为这些材料在交界面处反射或散 射超声波。尽管普通的X射线测试也是良好的检查方法，但是它通用性较差，因为X射线通 常较麻烦，并需要特殊的设备和条件(考虑到暴露于X射线)。另一方面，因为使用SQUID磁性传感器的无损检查方法所使用的SQUID磁性传感 器即使在低频范围内也有非常高的灵敏性，因此它与涡电流测试相比能够检测深得多的部 分和更微观的缺陷。此外，已经证明，该方法与超声波测试相比更少受到内部复杂结构的影 响，并可用于复合材料。而且，它与X射线测试相比危险性更小，且不需要特殊的设备和条 件。而且，已经提出了一种无损检查设备，其中，磁场产生装置用于恰好在检查之前使得细 长试样(例如线性主体)进行垂直磁化(见上述专利文献2)。不过，该设备均勻磁化细长 试样(例如线性主体)，这并不适用于检测混合在电子装置等中的磁化部件。尽管非常需要特别在绝缘体(例如电子装置)或在可磁化部件中无损和精确地检 测磁性颗粒，但是还没有提出这样的无损检查设备。考虑到上述情况，本发明将提供一种使 用SQUID磁性传感器的无损检查设备，它能够无损和精确地检测在绝缘体(例如电子装置) 或在可磁化部件中的磁性颗粒。为了实现上述目的，本发明提供了以下设备(1) 一种使用SQUID磁性传感器的无损检查设备包括用于水平磁化的磁体，该磁 体沿试样的纵向方向向试样施加磁场；检查单元，试样设置在该检查单元上，该试样由用于 水平磁化的磁体沿纵向方向进行水平磁化；带传送器，用于传送水平磁化的试样；以及梯 度计，用于检测与作为水平磁化试样的可磁化部件一起水平磁化的颗粒。(2)根据⑴的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中带传送器包括第 一带传送器，用作磁化级，磁场在该磁化级施加在试样上；以及第二带传送器，该第二带传
3送器与第一带传送器分开布置，并用作检查级，试样在该检查级上进行检查。(3)根据⑴的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，还包括清洁装置，用于 在施加磁场后除去粘附在带传送器上的外来材料。(4)根据(1)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中可磁化部件布置 在非磁化部件中。(5)根据(4)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中非磁化部件是绝 缘部件。(6)根据(5)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中绝缘部件是陶瓷。(7)根据(1)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中可磁化部件是导 电箔，该导电箔具有施加在它上面的活性材料。(8)根据(7)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中导电箔是铜箔或铝箔。(9)根据(1)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中颗粒布置在可磁 化部件上或布置在可磁化部件中。(10)根据(4)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中颗粒布置在非磁 化部件中。(11)根据(1)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中颗粒是磁性材 料。(12)根据(11)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中磁性材料是铁、 镍、钴或者包含任意铁、镍、钴的合金。(13)根据⑴的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中用于水平磁化的 磁体是永磁体。(14)根据(1)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中一维扫描通过使 得水平磁化的试样沿X方向运动、同时梯度计保持静止来进行。(15)根据(1)的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中通过沿与试样的 运动方向垂直的方向布置多个梯度计，试样也沿横向方向被进行检查。
图1是使用SQUID磁性传感器的无损检查设备的示意图，示出了本发明的实施 例；图2是示出用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行一维扫描评估的试 样的视图，示出了本发明的第一实施例；图3是示出在本发明第一实施例中试样的极化状态的视图；图4是示出在本发明第一实施例中试样的一维扫描的视图；图5是示出用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行一维扫描评估的试 样以及一维扫描评估结果的视图，示出了本发明的第二实施例；图6是示出本发明第二实施例的特定实例的视图；图7是示出用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行一维扫描评估的试 样以及一维扫描评估结果的视图，示出了本发明的第三实施例；
图8是示出用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行二维扫描评估的试 样的极化状态的视图，示出了本发明的第四实施例；图9是使用SQUID磁性传感器(梯度计)的无损检查设备用于进行试样的二维扫 描(沿X轴线和Y轴线方向扫描)的示意图，示出了本发明的第四实施例；图10是示出试样的扫描结果的视图，示出了本发明的第四实施例；图11是示出陶瓷电子装置(试样)的梯度计检查结果的视图，示出了本发明的第 五实施例，其中，用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行二维扫描评估的陶瓷 电子装置没有磁性颗粒；图12是示出陶瓷电子装置(试样)的梯度计检查结果的视图，其中陶瓷电子装置 有磁性颗粒，示出了本发明的第五实施例；图13是示出试样的视图，其中有在陶瓷中的颗粒，示出了本发明的第五实施例；图14是要由本发明的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备来测量的锂电池电 极板的视图；图15是示出要由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备来检查的试样的视图，示 出了本发明的另一实施例；图16是示出利用本发明的两级传送器和一级传送器获得的检查信号的对比的视 图；以及图17是使用多个SQUID磁性传感器(梯度计)的无损检查设备的视图，示出了本 发明的另一实施例。
具体实施例方式使用SQUID磁性传感器的无损检查设备包括用于水平磁化的磁体，该磁体沿试 样的纵向方向向试样施加磁场；检查单元，试样设置在该检查单元上，该试样由用于水平磁 化的磁体沿纵向方向水平磁化；带传送器，用于传送水平磁化的试样；以及梯度计，用于检 测与作为水平磁化试样的可磁化部件一起水平磁化的颗粒。根据本发明，可以获得以下效果(1)可以无损和精确地检测混合在试样中的颗粒以及它们的位置信息。(2)因为设置成在第一传送器上向试样施加磁场和在第二传送器上进行试样的检 查，该第二传送器与第一传送器分开布置，因此消除在检查级上的磁噪音，并可以进行精确 检查。(3)即使当水平磁化的试样包含强烈磁化的铁磁材料(例如铁)，由于试样通过高 温超导SQUID磁性传感器而产生的磁场只在铁磁材料的两端处和磁化外来材料(颗粒)中 产生，从而能够进行无损检查，以非常精确地检测磁化的外来材料(颗粒)。在这种情况下， 当外来材料(颗粒)存在于磁性材料的两端附近时，它的检测变得困难。不过，来自外来材 料的信号可以通过预先储存没有外来材料(颗粒)的试样的信号图形以及从来自包含外来 材料(颗粒)的试样的信号中减去该信号图形来进行检测。实施例下面将详细介绍本发明的实施例。图1是使用SQUID磁性传感器的无损检查设备的示意图，示出了本发明的一个实
5施例。在该图中，参考标号1表示控制单元，2表示第一传送器(极化级)，2A表示在第一 传送器2的驱动侧的马达驱动带轮，2B表示第一传送器2的从动带轮，3'表示未极化试样， 4表示用于水平磁化的磁体(隧洞形永久性磁体)，用于使得未极化试样3'沿纵向方向磁 化，5表示与第一传送器(极化级)2分开布置的第二传送器(检查级)，5A表示在第二传送 器5的驱动侧的马达驱动带轮，而5B表示第二传送器5的从动带轮。极化试样3由与第一 传送器(极化级)2分开布置的第二传送器5来传送，并在该第二传送器5上进行检查。参 考标号6表示磁屏蔽件，7表示SQUID冷却容器，8表示SQUID传感器(梯度计)，9表示检 查单元，磁化的试样3在该检查单元上进行检查。为了避免受到电磁波的影响，磁屏蔽件6 可以包括由导电材料(例如铝)构成的电磁屏蔽件。这样，未极化试样3'由第一传送器2传送通过用于水平磁化的隧洞形磁体4，即 永磁体，它的S极和N极沿纵向方向布置，以便顺序磁化。极化试样3由第二传送器5传送 给SQUID磁性传感器8的检查单元9。这里，用于水平磁化的隧洞形磁体4可以由电磁体构 成。此外，通过使得半环形永磁体或电磁体设置成在一端具有S极和在另一端具有N极，并 使得试样3经过该磁体，试样3可以顺序磁化，而不需要停止传送器2。这样，理想的是使得第一传送器(极化级)2和第二传送器(检查级)5分开设置。 这样设置可以减小由于外来材料粘附在传送器上而对传送器自身的极化影响，从而消除磁 噪音，并可以进行精确检查。这里，尽管上述第一和第二传送器使用由图中未示出的马达驱动的环形带，但是 也可以使用(例如用于传送带寿司吧中的)水平型传送器或静电驱动带传送器。此外，当使用单个带传送器代替分开的第一和第二传送器时，希望特别考虑通过 将用于水平磁化的磁体和梯度计布置在清洁室中以防止外来材料粘附在传送器上和极化， 或者通过将清洁装置(例如粘辊)布置在用于水平磁化的磁体和梯度计之间以便除去粘附 在传送器上的外来材料，从而防止由于外来材料的粘附而在测量时产生磁噪音。图2是示出用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行一维扫描评估的试 样的视图，示出了本发明的第一实施例，其中，图2(a)是示出试样的替代照片，图2(b)是试 样的俯视图，图2(c)是正视图；图3是示出试样的极化状态的视图；而图4是示出试样的一 维扫描的视图，其中，图4(a)是示出试样的一维扫描的结果的视图，图4(b)是示出一维扫 描的状态的俯视图，而图4(c)是一维扫描的正视图。在该第一实施例中，如图2中所示，不锈钢颗粒(SUS304，0. 3mm直径的球)12'布 置在作为可磁化条形部件的黄铜板11' (IOmm宽，54mm长)上。如图3中所示，具有不锈 钢颗粒12'的未极化黄铜板11'利用两个永磁体13、14进行磁化，这两个永磁体13、14具 有0. 15T的表面磁通密度。然后，如图4(b)和(c)中所示，具有极化不锈钢颗粒12的黄铜 板11在第二传送器15上传送，并通过在固定位置的梯度计16进行一维扫描。扫描结果如 图4(a)中所示，其中，图4(a)中的A和C部分对应于极化黄铜板11的端部的扫描结果，而 图4(a)的B部分对应于极化不锈钢颗粒12的扫描结果。也就是，可以检测到不锈钢颗粒 12存在于沿黄铜板11的纵向方向离A部分或黄铜板11的一端26mm的位置处，或者存在于 沿黄铜板11的纵向方向离C部分或黄铜板11的另一端28mm的位置处。换句话说，应当知 道，黄铜板11具有标尺的作用，用于测量不锈钢颗粒12的位置。
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为了进行比较，附图还示出了没有不锈钢颗粒的试样的一维扫描结果。这样，在本 发明第一实施例的、由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行的一维扫描中，显现了 较大梯度的磁场，且不锈钢颗粒12的存在(包括它的位置信息)被精确测量。这里，尽管当外来材料(颗粒)存在于磁性材料的两端附近时它的检测将变得困 难，但是通过预先储存没有外来材料(颗粒)的试样的信号图形以及从来自包含外来材料 (颗粒)的试样的信号中减去信号图形，可以检测来自外来材料的信号。图5是示出用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行一维扫描评估的试 样和一维扫描评估结果的视图，示出了本发明的第二实施例，其中，图5(a)是示出试样的 极化状态的视图，图5(b)是试样和它的检查结果的视图；而图6是示出试样的特定实例的 视图，其中，图6(a)是示出实际测量结果的视图，而图6(b)是示出极化试样的视图，该极化 试样是黄铜板，带有作为颗粒粘附在它上面的碳化钨(90 μ m直径)。如图5(a)中所示，未极化试样22'由第一带传送器21来传送，并使它通过用于水 平磁化的隧洞形磁体23而磁化。如图5(b)中所示，当试样22设置为极化的黄铜板以及作 为颗粒粘附在它上面的碳化钨(90μπι直径)时，在试样22的两端和作为颗粒的碳化钨24 的位置处检测到梯度磁场。具体地说，检查条件为间距3. 6mm、速度2. 7m/min、磁场0. 2T，在如图6(b)所 示粘附有碳化钨24(90 μ m直径)的极化试样22中，在试样22前端的S极处观察到如图 6(a)的A部分中所示的梯度磁场；在试样22的、作为颗粒的碳化钨(90 μ m直径)24的位 置处观察到如图6(a)的B部分中所示的梯度磁场；以及在试样22的后端的N极处测量到 如图6(a)的C部分中所示的梯度磁场。这样，通过使用梯度计测量，显示类似于图5(b)所 示的梯度磁场。图7是示出用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行一维扫描评估的试 样和一维扫描评估结果的视图，示出了本发明的第三实施例，其中，图7(a)是示出测量结 果的视图；而图7(b)是示出极化试样的视图，该极化试样由黄铜板形成，该黄铜板带有作 为颗粒粘附在它上面的镍(50 μ m □)。具体地说，检查条件为磁化方向水平磁化，大约0. 2T、间距3. 3mm、速度6m/ min、磁通转换系数3. 4nT/V，在通过SQUID磁性传感器(梯度计)检查由黄铜板31 (该黄 铜板31具有粘附在它上面的镍(50ymD)32)形成的极化试样时，观察到梯度磁场如图 7(a)中所示。也就是，Α、Β和C部分的梯度磁场分别对应于黄铜板31的前端、镍32和黄铜 板31的后端。图8是示出用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行二维扫描评估的试 样的极化状态的视图，示出了本发明的第四实施例；图9是使用SQUID磁性传感器(梯度 计)的无损检查设备用于进行试样的二维扫描(沿X轴线和Y轴线方向扫描)的示意图；而 图10是示出试样的扫描结果的视图，其中图10(a)是示出当在试样上没有颗粒时的结果， 而图10(b)是示出当在试样上有颗粒时的结果。在该实施例中，如图8中所示，未极化试样41'使用具有0. 15Τ的表面磁通密度的 两个永磁体42、43来极化。如图9中所示，通过也相对沿与极化试样41的运动方向垂直的 方向(Y轴线方向)扫描梯度计44，粘附在极化试样41上的磁性颗粒45可以同时沿纵向方 向(X轴线方向)和横向方向(Y轴向方向)被检查。
这样，尽管没有磁性颗粒的试样41的扫描结果没有示出任意特别的梯度磁场，如 图10(a)中所示，但是当存在颗粒(SUS304)45时，在它的位置观察到很强的梯度磁场，如图 10(b)中所示，从而测量到颗粒45在试样41上的存在。这里，上述实施例设置成沿与极化试样41的运动方向垂直的方向进行扫描，这 样，不管颗粒在试样41上的位置如何，都可以精确检查到颗粒的存在。图11是示出陶瓷电子装置(试样)的梯度计检查结果的视图，示出了本发明的第 五实施例，其中用于由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备进行二维扫描评估的陶瓷电 子装置没有磁性颗粒；图12是示出陶瓷电子装置(试样)的梯度计检查结果的视图，其中 有磁性颗粒；而图13是示出试样的视图，其中陶瓷电子装置中有颗粒，图13(a)示出了试样 的俯视图，图13(b)示出了试样的侧视图。在图13中，参考标号51表示密封在作为绝缘体部件的陶瓷中的电子装置(试 样)，52表示布置在电子装置(试样)51中的可磁化部件，而53表示作为颗粒存在于可磁 化部件52中的Co (0. Imm直径)。尽管在陶瓷电子装置(试样)51的典型实例中，可磁化部 件包括掺杂有可磁化物质的陶瓷部件(即，作为绝缘体的陶瓷部件，它通过包括可磁化物 质而制成为可磁化)，但是它并不局限于此。这样，即使当在作为绝缘体的陶瓷电子装置或在制成为可磁化的陶瓷部件中存在 颗粒53时，通过使用梯度计测量可以在颗粒53的位置处获得明显梯度的磁场54，如图12 中所示，从而测量到颗粒的存在。图14是示出要由本发明的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备来测量的锂电 池电极板的视图。当颗粒存在于涂覆有活性材料(正极)的铜箔61(该铜箔用作锂电池电极板)、A1 箔(正极)62、Cu箔(负极)63、分隔器(树脂片)64等(如图14中所示)上时，颗粒的存 在可以通过上述测量方法来测量。特别是，只要部件(即使它是绝缘体)掺杂有可磁化物 质(例如金属粉)，就可以测量到颗粒的存在。图15是示出要由使用SQUID磁性传感器的无损检查设备来检查的试样的视图，示 出了本发明的另一实施例。在该图中，在磁化试样71中，例如条形磁化部件73布置在陶瓷或绝缘部件形成的 矩形非磁化部件72中，且磁化颗粒(外来材料)74存在于条形磁化部件73上或者在非磁 化部件72中。这样，即使当磁化颗粒74存在于非磁化部件72中时，也可以精确检测到磁化颗粒 (外来材料)74的存在，与图4的情况相同。下面将介绍用于传送试样的带传送器的结构。图16是示出利用本发明的两级传送器和一级传送器获得的检查信号的对比的视 图(在从使用带开始经过200小时后的点处的信号比较)，其中，图16(a)是示出两级传送 器的情况的视图，而图16(b)是示出一级传送器的情况的视图。这里的检查条件为磁化方向水平磁化，大约0. 1T、传感器-带表面距离 5. 5mm、传送器速度2. 7m/min、以及磁通转换系数3. 4nT/V。代替一级传送器(在一级传送器中，单个传送器用于执行试样的极化以及由 SQUID磁性传感器(梯度计)进行的检查)，本发明设置成使用所谓的两级传送器，该两级传送器有第一带传送器2 (见图1)，该第一带传送器2作为用于向试样施加磁场的级；以 及第二带传送器5 (见图1)，该第二带传送器5用作试样的检查级。当为一级传送器时，如图16(b)中所示，在从使用带开始经过200小时后的点处在 检查级观察到磁噪音。也就是，由于外来材料粘附在传送器上而产生的噪音为大约0. 2V， 这是背景噪音。另一方面，当为两级传送器时，如图16(a)中所示，即使在从使用带开始经 过200小时后的相同点处也几乎不能观察到磁噪音。也就是，由于外来材料粘附在传送器 上而产生的噪音为大约0. 02V，因此背景噪音很低，检查可以有利地进行。相比较，两级传送 器的优点是它能够将背景噪音的幅值降低至一级传送器的背景噪音的大约1/10。具体是，存在于环境中或者在旋转单元(例如传送器辊)上的金属粉粘附在带传 送器上，并当带传送器在用于磁化的磁体下经过时进行磁化，这产生磁噪音。在这种情况下，磁化的金属粉是例如几十微米或更小直径的微粒，因此它一旦粘 附在传送器带等上就不容易通过普通的清洁或冲洗来除去。因此，微粒不容易除去，从而分布在第一带传送器2上，该第一带传送器用作向试 样施加磁场的级，且分开的第二带传送器5能够精确检查，因为第二带传送器5并不涉及磁 化，因此可能存在于第二带传送器5上的外来材料不会被磁化。这样，通过设置使用两级传送器的测量装置，磁噪音降低，并能够更精确地检查颗 粒的存在和位置。此外，尽管在本发明中上述两级传送器有效，但是当使用一级传送器时希望将用 于水平磁化的磁体和梯度计布置在清洁室中，或者特别提供清洁装置以便防止污染物粘附 在试样上和极化，从而在试样检查时降低由于污染物产生的磁噪音。图17是使用多个SQUID磁性传感器(梯度计)的无损检查设备的视图，示出了本 发明的另一实施例。在该实施例中，粘附在设备中的极化试样81上的磁化颗粒86-89的检查可以通 过沿与设备中的极化试样81的运动方向垂直的方向布置多个SQUID磁性传感器(梯度 计)82-85而沿横向方向同时进行。如上所述，可磁化部件也包括金属、半导体或者绝缘体(该绝缘体施加有或包含 有磁性材料或可磁化部件)。此外，可磁化部件的形状并不局限于细长主体(矩形体)，它 可以是正方形、圆形或椭圆形形状。本发明并不局限于上述实施例，根据本发明的精神可以有多种变化。这些变化并 不脱离本发明的范围。工业实用性使用SQUID磁性传感器的本发明无损检查设备可以用作检查设备，它能够无损和 精确地检测粘附在试样上或包含在试样中的磁化颗粒以及它们的位置信息。
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权利要求
一种使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，包括(a)用于水平磁化的磁体，该磁体沿试样的纵向方向向试样施加磁场；(b)检查单元，试样设置在该检查单元上，该试样由用于水平磁化的磁体沿纵向方向进行水平磁化；(c)带传送器，用于传送水平磁化的试样；以及(d)梯度计，用于检测与作为水平磁化试样的可磁化部件一起水平磁化的颗粒。
2.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中带传送器包括第 一带传送器，用作磁化级，磁场在该磁化级施加在试样上；以及第二带传送器，该第二带传 送器与第一带传送器分开布置，并用作检查级，试样在该检查级上进行检查。
3.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，还包括清洁装置，用 于在施加磁场后除去粘附在带传送器上的外来材料。
4.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中可磁化部件布置 在非磁化部件中。
5.根据权利要求4的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中非磁化部件是绝 缘部件。
6.根据权利要求5的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中绝缘部件是陶ο
7.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中可磁化部件是导 电箔，该导电箔具有施加在它上面的活性材料。
8.根据权利要求7的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中导电箔是铜箔或铝箔。
9.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中颗粒布置在可磁 化部件上或布置在可磁化部件中。
10.根据权利要求4的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中颗粒布置在非 磁化部件中。
11.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中颗粒是磁性材料。
12.根据权利要求11的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中磁性材料是 铁、镍、钴或者包含任意铁、镍、钴的合金。
13.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中用于水平磁化 的磁体是永磁体。
14.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中一维扫描通过 使得水平磁化的试样沿X方向运动、同时梯度计保持静止来进行。
15.根据权利要求1的、使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，其中通过沿与试样 的运动方向垂直的方向布置多个梯度计，试样也沿横向方向同时被检查。
全文摘要
这里提供一种使用SQUID磁性传感器的无损检查设备，它能够无损和精确地检测在绝缘体例如电子装置中，或在可磁化部件中的磁性颗粒。使用SQUID磁性传感器的无损检查设备包括用于水平磁化的磁体(4)，该磁体沿纵向方向向试样(3′)施加磁场；检查单元(9)，试样(3)设置在该检查单元上，该试样(3)由用于水平磁化的磁体(4)沿纵向方向进行水平磁化；传送器(2、5)，用于传送水平磁化的试样(3)；以及梯度计(8)，用于检测与作为水平磁化试样(3)的可磁化部件一起水平磁化的颗粒。
文档编号G01N27/72GK101960301SQ20098010748
公开日2011年1月26日 申请日期2009年3月5日 优先权日2008年3月5日
发明者廿日出好, 田中三郎 申请人:国立大学法人丰桥技术科学大学