一种切割机钢线直径检测系统的制作方法

文档序号:5924565阅读:197来源:国知局
专利名称:一种切割机钢线直径检测系统的制作方法
技术领域
本实用新型涉及晶体硅切片技术领域,更具体地说,涉及一种切割机钢线直径检测系统。
背景技术
在半导体或光伏行业,最基本的生产原料是硅料,硅料在多晶炉内通过熔化、冷却进而生长成多晶硅,所述多晶硅再经直拉法可形成单晶硅。后续需要通过切割机(目前采用的多为多线切割机)对所述多晶硅或单晶硅进行切片,以形成薄的、可用来制备半导体器件或太阳能电池的硅片。所述切割机包括放线端和收线端,所述放线端可放出钢线,所述放出的钢线经晶体硅(包括多晶硅和单晶硅)后将所述晶体硅切割成所需厚度的硅片,切割后的钢线经收线端被收回。在采用切割机对晶体硅进行切片的过程中,常需要检测切割机放线端所放出钢线的直径和切割机收线端所收回钢线的直径,进而来判断该切割机所放出钢线的质量以及收回钢线的磨损情况。现有技术中一般通过从切割机的放线端和收线端分别剪一段钢线,将所剪钢线在实验室采用激光测径仪进行钢线直径的测量,并以所测量的一小段钢线的直径来粗略判断与此段钢线相邻的放线端所放出钢线的直径或收线端所收回钢线的直径。但是,这种方法不能实时地对切割机放线端和收线端的钢线进行直径的检测。

实用新型内容有鉴于此,本实用新型提供一种切割机钢线直径检测系统,该系统能够实时地检测切割机放线端和收线端钢线的直径。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案一种切割机钢线直径检测系统,该系统包括位于切割机放线端、用于检测切割机放线端所放出钢线直径的第一激光测径仪;位于切割机收线端、用于检测切割机收线端所收回钢线直径的第二激光测径仪。优选的,上述系统中,所述第一激光测径仪包括利用两道相互垂直的激光束对焦钢线表面,从而测得钢线直径数据的第一数据检测装置;收集所述第一数据检测装置所测得的数据并进行图表化处理的第一数据处理装置。优选的,上述系统中,所述第二激光测径仪包括利用两道相互垂直的激光束对焦钢线表面,从而测得钢线直径数据的第二数据检测装置;收集所述第二数据检测装置所测得的数据并进行图表化处理的第二数据处理装置。优选的,上述系统中,所述第一激光测径仪还包括将由所述第一数据处理装置处理后的数据进行显示的第一数据显示装置。优选的,上述系统中,所述第二激光测径仪还包括将由所述第二数据处理装置处理后的数据进行显示的第二数据显示装置。优选的,上述系统还包括第三数据显示装置,所述第三数据显示装置用于将所述第一激光测径仪和第二激光测径仪所测钢线直径显示出来。优选的,上述系统还包括与所述第一激光测径仪相连的第一报警装置,所述第一报警装置用于当所述第一激光测径仪所测钢线直径超出第一预设范围时发出报警。优选的,上述系统还包括与所述第二激光测径仪相连的第二报警装置,所述第二报警装置用于当所述第二激光测径仪所测钢线直径超出第二预设范围时发出报警。优选的,上述系统中,所述第一数据检测装置利用两道相互垂直的激光束通过 360°旋转对焦钢线表面,进而测得钢线直径数据。优选的,上述系统中,所述第二数据检测装置利用两道相互垂直的激光束通过 360°旋转对焦钢线表面,进而测得钢线直径数据。从上述技术方案可以看出,本实用新型所提供的切割机钢线直径检测系统包括 位于切割机放线端、用于检测切割机放线端所放出钢线直径的第一激光测径仪;位于切割机收线端、用于检测切割机收线端所收回钢线直径的第二激光测径仪。本实用新型所提供的切割机钢线直径检测系统,通过在切割机放线端和收线端分别设置第一激光测径仪和第二激光测径仪,从而可对切割机放线端所放出钢线的直径和切割机收线端所收回钢线的直径进行在线、实时地检测,通过实时检测切割机放线端所放出钢线的直径,可利于及时发现钢线断丝的可能性;通过实时检测切割机收线端所收回钢线的直径,可及时发现钢线磨损量变化的情况。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型实施例所提供的一种切割机钢线直径检测系统的结构示意图;图2为本实用新型实施例所提供的另一种切割机钢线直径检测系统的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。实施例一参考图1,图1为本实用新型所提供的一种切割机钢线直径检测系统的结构示意图,该系统包括位于切割机放线端、用于检测切割机放线端所放出钢线直径的第一激光测径仪1 ;位于切割机收线端、用于检测切割机收线端所收回钢线直径的第二激光测径仪2。本实用新型所提供的切割机钢线直径检测系统的具体工作过程为由放线端放出的钢线3经导轮后,首先通过第一激光测径仪1进行第一次直径检测,由于所述第一激光测径仪1设置在切割机放线端,因此,可以在线、实时地对放线端所放出的钢线3进行直径的检测,进而可以及时地发现所述钢线3发生断丝的可能性,以便及时采取相应措施避免后续切片工作的延误。对所述钢线3进行第一次直径检测后,该钢线3进入切片部分4,在所述切片部分4完成对晶体硅的切片工作。完成切片工作后的钢线3再经设置在收线端的第二激光测径仪2进行第二次直径检测,通过在线、实时地检测切片后钢线3的直径,可以及时发现钢线3磨损量的变化,从而可确定钢线3上切片辅料是否满足要求,同时也利于晶体硅品质问题的追述、原因的查找。对切片后的钢线3进行第二次直径检测后,所述钢线3经相应导轮由收线端收回。采用第一激光测径仪1对所述钢线3进行第一次直径检测,或采用第二激光测径仪2对所述钢线3进行第二次直径检测,两者的检测原理是相同的,以前者为例来说明所述第一激光测径仪1发出两束相互垂直的激光,通过对焦使所述两束相互垂直的激光照到钢线3表面某一点,进而测量相应数据并处理,最终可得出钢线3表面对应所述某一点的直径。由于所述钢线3由放线端被放出,之后要经过切片部分4完成对晶体硅的切片工作,后续要由收线端被收回,因此,整个过程中所述钢线3是处于连续的被输送状态,通过所述钢线3的运动,所述第一激光测径仪1可连续测出钢线3上每一点的直径,因此,可实现对钢线直径在线、实时地检测。由上可知,本实用新型所提供的切割机钢线直径检测系统,通过在切割机放线端和收线端分别设置第一激光测径仪和第二激光测径仪,从而可在线、实时地对切片前和切片后钢线的直径进行检测,通过在线、实时地对切片前钢线的直径进行检测,可及时发现钢线发生断丝的可能性,以便及时采取相应措施;通过在线、实时地对切片后钢线的直径进行检测,可及时发现钢线磨损量变化的情况,进而确定钢线或钢线上切片辅料是否满足要求, 同时也利于晶体硅品质问题的追述、原因的查找。实施例二参考图2,图2为本实用新型实施例所提供的另一种切割机钢线直径检测系统的结构示意图,该系统包括位于切割机放线端、用于检测切割机放线端所放出钢线直径的第一激光测径仪1 ;位于切割机收线端、用于检测切割机收线端所收回钢线直径的第二激光测径仪2。其中,所述第一激光测径仪1包括利用两道相互垂直的激光束对焦钢线表面,从而测得钢线直径数据的第一数据检测装置11 ;收集所述第一数据检测装置11所测得的数据并进行图表化处理的第一数据处理装置12。所述第二激光测径仪2包括利用两道相互垂直的激光束对焦钢线表面,从而测得钢线直径数据的第二数据检测装置21 ;收集所述第二数据检测装置21所测得的数据并进行图表化处理的第二数据处理装置22。本实施例中为了防止钢线3的横截面不是标准的圆形,进而影响最终所测钢线3 直径的数据,因此,使所述第一数据检测装置11和第二数据检测装置21分别进行360°旋转来测试钢线3表面直径,从而可减小所测数据的误差。本实施例中所述切割机钢线直径检测系统还包括第三数据显示装置5,所述第三数据显示装置5分别连接第一激光测径仪1中的第一数据处理装置12和第二激光测径仪2中的第二数据处理装置22,用于将所述第一数据处理装置12和第二数据处理装置22 处理后的数据或图表显示出来,以便人们能够及时观察到钢线3直径的实时变化情况。其他实施例中,也可以分别设置两个数据显示装置,使其分别显示第一激光测径仪1所测得的切片前钢线3的直径和第二激光测径仪2所测得的切片后钢线3的直径。这两个数据显示装置可以分别包含在第一激光测径仪1和第二激光测径仪2内,也可以设置在其外。实施例三本实施例中所述切割机钢线直径检测系统在前述两个实施例的基础上还包括与所述第一激光测径仪相连的第一报警装置,所述第一报警装置用于当所述第一激光测径仪所测钢线直径超出第一预设范围时发出报警;与所述第二激光测径仪相连的第二报警装置,所述第二报警装置用于当所述第二激光测径仪所测钢线直径超出第二预设范围时发出报警。所述第一预设范围和第二预设范围是人们预先设定的,对于所测钢线直径超出所述第一预设范围的情况,无论是钢线直径太小或太大,其均不适合进行后续的切片工作,此时,所述第一报警装置发出报警,进而人们可采取相应措施进行补救;对于所测钢线直径超出所述第二预设范围的情况,例如当所述钢线直径太大时,人们可判断是否是因为切割液不满足要求而使钢线表面粘有了切割液而导致,从而便于人们找出原因并改进。本实施例中通过添加第一报警装置和第二报警装置,当所测钢线直径的数据波动范围超出预设的范围时,通过报警装置的报警可便于人们及时发现问题并采取相应的措施。本实用新型中各实施例采用递进的方式进行描述,各实施例中的描述各有侧重点,相关、相似之处可相互参考。需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备
所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个......”限定的要素,并不排
除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种切割机钢线直径检测系统,其特征在于,包括位于切割机放线端、用于检测切割机放线端所放出钢线直径的第一激光测径仪; 位于切割机收线端、用于检测切割机收线端所收回钢线直径的第二激光测径仪。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述第一激光测径仪包括利用两道相互垂直的激光束对焦钢线表面,从而测得钢线直径数据的第一数据检测装置;收集所述第一数据检测装置所测得的数据并进行图表化处理的第一数据处理装置。
3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述第二激光测径仪包括利用两道相互垂直的激光束对焦钢线表面,从而测得钢线直径数据的第二数据检测装置;收集所述第二数据检测装置所测得的数据并进行图表化处理的第二数据处理装置。
4.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述第一激光测径仪还包括 将由所述第一数据处理装置处理后的数据进行显示的第一数据显示装置。
5.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,所述第二激光测径仪还包括 将由所述第二数据处理装置处理后的数据进行显示的第二数据显示装置。
6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括第三数据显示装置,所述第三数据显示装置用于将所述第一激光测径仪和第二激光测径仪所测钢线直径显示出来。
7.根据权利要求1 6任一项所述的系统,其特征在于,还包括与所述第一激光测径仪相连的第一报警装置,所述第一报警装置用于当所述第一激光测径仪所测钢线直径超出第一预设范围时发出报警。
8.根据权利要求1 6任一项所述的系统,其特征在于,还包括与所述第二激光测径仪相连的第二报警装置,所述第二报警装置用于当所述第二激光测径仪所测钢线直径超出第二预设范围时发出报警。
9.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述第一数据检测装置利用两道相互垂直的激光束通过360°旋转对焦钢线表面,进而测得钢线直径数据。
10.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,所述第二数据检测装置利用两道相互垂直的激光束通过360°旋转对焦钢线表面,进而测得钢线直径数据。
专利摘要本实用新型实施例公开了一种切割机钢线直径检测系统。所述切割机钢线直径检测系统包括位于切割机放线端、用于检测切割机放线端所放出钢线直径的第一激光测径仪;位于切割机收线端、用于检测切割机收线端所收回钢线直径的第二激光测径仪。本实用新型通过在切割机放线端和收线端分别设置第一激光测径仪和第二激光测径仪,从而可实现实时检测切片前和切片后钢线的直径,通过所述钢线直径的变化可及时发现问题并采取相应措施。
文档编号G01B11/10GK202229736SQ201120353739
公开日2012年5月23日 申请日期2011年9月20日 优先权日2011年9月20日
发明者余振祥 申请人:浙江思博恩新材料科技有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1