专利名称：包括多波长干涉计的测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及包括多波长干涉计的测量装置。
背景技术：
作为用于以高的精度测量对象或货物的待检查表面的形状的装置，一般地，外差干涉测量方法是已知的。在单波长干涉计(参见专利文献1(日本专利公开N0.10-185529 中，当待检查表面粗糙时，由表面的粗糙导致的斑点图案具有标准偏差大于2 π的随机相位，使得测量的不确定性增加并且难以执行精确的测量。
作为解决以上问题的方法，描述了在将激光投影到物体的表面上并捕获反射光的图像的装置中通过改变成像透镜的孔径位置执行斑点图案的随机相位的不相干平均化(参见专利文献2 (日本专利公开N0.5-71918)。
作为另一解决手段，从多个不同波长的干涉测量结果合成波长的相位的多波长干涉计是已知的(参见非专利文献I (A.F.Fercher等人，“Rough-surface interferometrywith a two-wavelength heterodyne speckle interferometer”Applied Optics, 1985, vol.24，iSSuel4，pp2181-2188))。根据非专利文献1，如果在两个波长的斑点之间存在相关性，那么能够基于两个波长之间的相位差获得与宏观表面轮廓和微观表面粗糙度有关的信肩、O
已知两个波长之间的斑点图案的相关性依赖于两个波长的合成波长(参见非专利文献 2 (U.Vry, F.Fercher, “High-order statistical properties of speckle fieldsand their application to rough-surface interferometryJ.0pt.Soc.Am.A, 1986, vol.3，issue7，pp988-1000))。两个斑点图案的一致程度越高，则相关程度越高。根据非专利文献2，合成波长Λ越小，则两个波长之间的斑点图案的相关性越小，相反，合成波长Λ越大，则两个波长之间的斑点图案的相关性越大。这里，当两个波长为XjP A2U1M2)时，合成波长Λ是由Λ = A1XA2/ ( A1-λ 2)表示的值。以这种方式，多波长干涉计可精确地测量单波长干涉计难以测量的粗糙的待检查表面。
根据非专利文献2，两个波长之间的斑点图案的相关性依赖于合成的波长的尺寸以及待检查表面的粗糙度和待检查表面的倾斜(参见式I)。
权利要求
1.一种用于测量待检查表面的位置或形状的测量装置，该测量装置包括: 多波长干涉计，被配置为使用其波长相互不同的多个光束；和 控制单元，被配置为通过使用由多波长干涉计检测的干涉光的信号获得待检查表面的位置或形状， 其中，多波长干涉计包含: 光学系统，被配置为导致参照光和进入待检查表面并被待检查表面反射的待检查光相互干涉， 分光单元，被配置为将待检查光和参照光之间的干涉光分割成各波长； 检测器，被配置为检测干涉光，并且被提供用于各分割的干涉光；和 光学部件，被配置为能够调整将来自分光单元的光引向检测器的光导部分的位置， 其中，控制单元通过使用与待检查表面的倾斜有关的信息来控制光学部件以调整光导部分的位置。
2.根据权利要求1的测量装置，其中， 光学部件是孔径，并且光导部分是孔径的开口，并且 控制单元通过使用与待检查表面的倾斜有关的信息来控制孔径的开口的位置。
3.根据权利要求1的测量装置，其中， 光学部件是其中二维布置多个微镜表面的元件，并且光导部分是反射来自分光元件的光以将光引向检测器的微镜表面的一部分。
4.根据权利要求1的测量装置，其中， 与待检查表面的倾斜有关的信息是待检查表面的倾角，并且 控制单元通过使用倾角计算多个光束的波长之间的斑点图案的偏移量，并且基于斑点图案的偏移量来控制光学部件。
5.根据权利要求1的测量装置，其中， 控制单元从通过关于各分割的干涉光将光导部分的位置设定于相同的位置由测量装置测量的待检查表面的形状，来获取与待检查表面的倾斜有关的信息。
6.根据权利要求1的测量装置，其中，多波长干涉计是外差干涉计。
7.一种物体的制造方法，包括: 通过使用根据权利要求1 6中的任一项的测量装置测量物体的待检查表面的步骤；和 通过使用测量的结果处理待检查表面的步骤。
全文摘要
本公开涉及包括多波长干涉计的测量装置。一种用于测量待检查表面的位置或形状的测量装置包括多波长干涉计和控制单元。多波长干涉计包含导致进入待检查表面并被待检查表面反射的待检查光和参照光相互干涉的光学系统、将待检查光和参照光之间的干涉光分割成各波长的分光单元、为检测干涉光并且被设置用于各分割的干涉光的检测器、和可调整将来自分光单元的光引向检测器的光导部分的位置的光学部件。控制单元通过使用与待检查表面的倾斜有关的信息来控制光学部件以调整光导部分的位置。
文档编号G01B11/24GK103162621SQ201210543710
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月14日 优先权日2011年12月15日
发明者畑田晃宏, 藏本福之 申请人:佳能株式会社