一种标准流量计的制作方法

文档序号:5983790阅读:333来源:国知局
专利名称:一种标准流量计的制作方法
技术领域
本实用新型属于测量技术领域,涉及一种标准流量计。
背景技术
文献“恒压式气体微流量计的设计,《中国空间科学技术》、1999年第3期、第65页 71页”,介绍了一种恒压式气体微流量计。该流量计由压力补偿系统、测量与控制系统、恒温系统和抽气系统组成,该流量计不只是采用恒压法的原理设计,其核心更是采用了活塞驱动波纹管结构,采用活塞驱动液压油保持变容室内气体压力不变来产生标准流量。但是这种流量计还存在着以下不足之处一、该流量计的核心采用了活塞驱动波纹管结构,采用活塞驱动液压油保持变容 室内气体压力不变来产生标准流量,温度变化将引起液压油体积的膨胀或收缩,且油室中存在着死空间,这些都会影响流量计的性能;二、该流量计结构复杂、体积重量较大,适用于在实验室内提供标准流量,不能用于现场提供流量;三、该流量计所采用的仪器设备较多,产生成本较高,运行的费用较高,不利于推广应用。
发明内容为了解决现有流量计性能差、体积大、成本高、不利于推广应用的技术问题,本实用新型提供一种标准流量计,克服已有技术的不足。本实用新型的技术解决方案一种标准流量计,其特殊之处在于包括进气阀门I、进气管道、压力计2、压力管道、定容室3、抽气阀门4、抽气管道、排气板及流量阀门6,所述排气板的几何中心设置有小孔5,所述进气阀门通过进气管道与定容室的入口连通,所述定容器的出口与排气板连接,所述排气板另一端与流量阀门6连接,所述压力计通过压力管道与定容室内连通,所述抽气阀门通过抽气管道与定容室连通。上述定容室容积为1L。上述定容室3本底压力小于10_3Pa。上述小孔5的内径为10 μ m,小孔流导为10_8m3/s。本实用新型所具有的优点I、本实用新型提出的标准流量计,采用了定容室与小孔测量流量的结构,采用这种结构能够实现提供特定气体流量,且该流量计便于携带,可用于工业现场。2、本实用新型流量计避免了温度变化引起液压油体积的膨胀或收缩,避免了存在死空间。3、本实用新型流量计所采用的仪器设备少,产生成本低,运行的费用低,便于携带,可用于工业现场,易于推广应用。
图I为本实用新型标准流量计的结构示意图;其中,I-进气阀门、2-压力计、3-定容室、4-抽气阀门、5-小孔、6_流量阀门。
具体实施方式
一种标准流量计,包括进气阀门I、进气管道、压力计2、压力管道、定容室3、抽气阀门4、抽气管道、排气 板及流量阀门6,排气板的几何中心设置有小孔5,进气阀门通过进气管道与定容室的入口连通,定容器的出口与排气板连接,排气板另一端与流量阀门6连接,压力计通过压力管道与定容室内连通,抽气阀门通过抽气管道与定容室连通。压力计用于测量定容室中真空本底压力及充入的气体压力,测量下限小于10_3Pa ;定容室用于储存给定压力的气体,容积为IL左右,本底压力小于10_3Pa ;抽气阀门打开,用于对定容室进行抽真空本底,使得本底压力小于10_3Pa,用于抽出定容室中的多余的气体,控制定容室内的气体压力,内漏气率小于KTuiPa. m3/s ;小孔用于提供稳定的流量,连接在定容室及流量阀门之间,小孔的性能稳定、流导稳定,小孔的内径为 ο μ m左右,小孔流导为10_8m3/s左右。流量阀门用于通过开关提供或截止标准流量,并可与现场其余装置连接,内漏气率小于 l(T1QPa. m3/so本实用新型的工作过程为首先,通过抽气阀门利用抽气系统对定容室进行抽真空,本底抽至小于l(T3Pa。然后,关闭抽气阀门,通过进气阀门利用充气系统对定容室进行充气,当定容室内的压力达到预定值时,关掉进气阀门。如果定容室中气体压力过高,则慢慢打开抽气阀门,将多余气体抽除。之后,断开充气系统及抽气系统。最后,将标准流量计带至现场,打开流量阀门,将标准流量引入需要标准流量的设备。通过在定容室中充入预先计算的气体压力,从而提供所需的标准压力。实施例本实用新型的一种标准流量计,包括由进气阀门I、压力计2、定容室3、抽气阀门4、小孔5、流量阀门6,进气阀门I通过管道与定容室3连接,同时在充气时与充气系统连接压力计2通过管道与定容室3连接;抽气阀门4通过管道与定容室3连接,在抽气时与抽气系统连接;小孔5 —端与定容室3连接、另一端与流量阀门6连接。其中,定容室的容积要求为1L,考虑到误差,一般做成为I. 05L,小孔5的流导值为2. 9Xl(T8m3/s。本实用新型的一种标准流量计工作过程为首先,通过抽气阀门4利用抽气系统对定容室3进行抽真空,本底为8. OX 10_4Pa。然后,关闭抽气阀门4,通过进气阀门I利用充气系统对定容室3进行充气,当定容室3内的压力达到预定值2. OXKT1Pa时,关掉进气阀门I。之后,断开充气系统及抽气系统。最后,将标准流量计带至现场,打开流量阀门6,将标准流量5.8X10_9Pa.m3/s引入需要标准流量的设备 。
权利要求1.一种标准流量计,其特征在于包括进气阀门(I)、进气管道、压力计(2)、压力管道、定容室(3)、抽气阀门(4)、抽气管道、排气板及流量阀门(6), 所述排气板的几何中心设置有小孔(5),所述进气阀门通过进气管道与定容室的入口连通,所述定容器的出口与排气板连接,所述排气板另一端与流量阀门(6)连接,所述压力计通过压力管道与定容室内连通,所述抽气阀门通过抽气管道与定容室连通。
2.根据权利要求I所述的一种标准流量计,其特征在于所述定容室容积为1L。
3.根据权利要求I或2所述的一种标准流量计,其特征在于所述定容室(3)本底压力小于 I (T3Pa。
4.根据权利要求3所述的一种标准流量计,其特征在于所述小孔(5)的内径为.10 μ m,小孔流导为10 8m3/s。
专利摘要本实用新型涉及一种标准流量计,包括进气阀门、进气管道、压力计、压力管道、定容室、抽气阀门、抽气管道、排气板及流量阀门,排气板的几何中心设置有小孔,进气阀门通过进气管道与定容室的入口连通,定容器的出口与排气板连接,排气板另一端与流量阀门连接,压力计通过压力管道与定容室内连通,抽气阀门通过抽气管道与定容室连通。本实用新型解决了现有流量计性能差、体积大、成本高、不利于推广应用的技术问题,采用定容室与小孔测量流量的结构,提供特定气体流量,且便于携带,可用于工业现场。
文档编号G01F25/00GK202676250SQ20122028070
公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月14日 优先权日2012年6月14日
发明者刘波, 卢耀文, 任和汉, 丁立莉, 刘卿 申请人:西安航天计量测试研究所
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