专利名称：一种白光干涉传感器信号解调实现结构的制作方法
技术领域：
本实用新型属于白光干涉解调领域，涉及一种白光干涉传感器信号解调实现结构。
背景技术：
基于白光干涉测量原理的斐索干涉位移测量技术能实现全光的位移传感器。该传感器的解调光路的结构直接影响白光信号信噪比强弱和相关器件的选型，关系到解调结构的复杂程度和可靠性。目前斐索干涉仪中信号解调采用透射式解调，该方式解调出的白光干涉信号强度较弱，后端需要加汇聚透镜和响应度较高的CCD元器件，无疑增加了结构复杂性和器件成本。
发明内容本实用新型的目的是:发明提出一种反射式解调结构，该结构不仅大大提高了解调信号的信噪比，降低了后端器件的选型要求，而且无需汇聚棱镜，简化了光路结构，提高了系统的可靠性。本实用新型采取的技术方案为:一种白光干涉传感器信号解调实现结构。其特征在于:包括传感器1、宽带光源2、耦合器3、扩束透镜4、楔形膜5、(XD6和计算机7，所述传感器I与耦合器3主枝连接，宽带光源2与耦合器3的一个侧枝连接，传感器I信号光经过耦合器3另一个侧枝出射，沿扩束透镜4中轴线垂直入射到扩束透镜4，扩束后的信号光经楔形膜5反射垂直入射到(XD6，(XD6与计算机7连接。进一步地，上述信号光经楔形膜5反射垂直射入(XD6。在光路中，楔形膜与CCD位置相对固定，当传感器位置变化时，传感器干涉信号通过楔形膜解调入射到CCD。解调后的光谱信号会在CCD器件上出现极值尖峰，且该峰值与传感器位置一一对应。通过计算机标定后读出光信号在CCD响应最大值位置就可以推算出传感器位置，达到位置解调的目的。本实用新型的有益效果为:该结构大大提高了解调信号的信噪比，理论分析是透射解调的信号强度的8倍，降低了后端器件的选型要求，而且无需汇聚透镜，即简化了光路结构，又提高了系统的可靠性。
图1为本实用新型结构图；其中1:宽带光源，2:传感器，3:耦合器，4:扩束透镜，5:楔形膜，6:(XD，7:计算机。
具体实施方式
[0011]下面结合说明书附图对本实用新型做进一步详细说明。请参阅说明书附图1。图1为一种白光干涉传感器信号解调实现结构示意图。该装置包括包括传感器1、宽带光源2、耦合器3、扩束透镜4、楔形膜5、(XD6和计算机7，所述传感器I与耦合器3主枝连接，宽带光源2与耦合器3的一个侧枝连接，传感器I信号光经过耦合器3另一个侧枝出射，沿扩束透镜4中轴线垂直入射到扩束透镜4，扩束后的信号光经楔形膜5反射垂直入射到(XD6，(XD6与计算机7连接。在光路中，楔形膜与CCD6位置相对固定，当传感器位置变化时，传感器干涉信号通过楔形膜解调入射到CCD6。解调后的光谱信号会在CCD6上出现极值尖峰，且该峰值与传感器位置一一对应。通过计算机标定后读出光信号在CCD6响应最大值位置就可以推算出传感器位置，达到位置解调的目的。该结构大大提高了解调信号的信噪比，是透射解调的信号强度的8倍，降低了后端器件的选型要求，而且无需汇聚透镜，即简化了光路结构，又提高了系统的可靠性，克服了利用透射式解调光路带来的解调信号较弱，光路复杂的不足，具有有益的技术效果。
权利要求1.一种白光干涉传感器信号解调实现结构，其特征在于:包括传感器(I)、宽带光源(2)、耦合器(3)、扩束透镜(4)、楔形膜(5)、CXD (6)和计算机(7)，所述传感器(I)与耦合器(3)主枝连接，宽带光源(2)与耦合器(3)的一个侧枝连接，传感器(I)信号光经过耦合器(3)另一个侧枝出射，沿扩束透镜(4)中轴线垂直入射到扩束透镜(4)，扩束后的信号光经楔形膜(5)反射垂直入射到CXD (6)，CXD (6)与计算机(7)连接。
专利摘要本实用新型属于白光干涉解调领域，涉及一种白光干涉传感器信号解调实现结构。该结构包括传感器、宽带光源、耦合器、扩束透镜、楔形膜、CCD和计算机。宽带光源经耦合器一端入射到传感器，传感器信号光由耦合器另一端出射，经扩束透镜扩束后入射到楔形膜上，经楔形膜反射信号光进入CCD，通过计算机读出光信号在CCD上的极值位置完成解调。该结构不仅大大提高了解调信号的信噪比，降低了后端器件的选型要求，而且无需汇聚透镜，简化了光路结构，提高了系统的可靠性。
文档编号G01B11/02GK202994084SQ201220668639
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月4日 优先权日2012年12月4日
发明者王东辉, 郑普超, 包艳, 李秉实, 张兵, 张超 申请人:中国航空工业第六一八研究所