无线无源声表面波延迟线型温度和压力传感器的制造方法
【专利摘要】本发明提出一种无线无源声表面波延迟线型温度和压力传感器，在叉指换能器的左侧布局3-5个包含温度信息反射器，右侧布局2-4个包含压力和温度信息的反射器，故当左侧包含温度信息的三个反射器中有任意一个反射器工作不正常或者产生的脉冲受到环境噪声和电磁干扰时，都不会影响温度点的正常温度输出。同理，当右侧响应温度和压力变化的两个反射器中有任意一个反射器工作不正常或者产生的脉冲受到环境噪声和电磁干扰时，经过温度相位补偿后，都不会影响压力点的正常压力输出。
【专利说明】无线无源声表面波延迟线型温度和压力传感器
【技术领域】
[0001]本发明属于声表面波传感【技术领域】，具体涉及一种具有可以同时检测外界两个待测物理量变化的无线无源声表面波混合参数测量传感器。
【背景技术】
[0002]由于声表面波无源无线传感器具有非接触、快速、无电源、抗干扰、易编码、保密性好、成本低等优点，目前已广泛应用于许多领域。由它构成的传感器阵列，传感元之间可无信号线连接，阵列输出也无需引线连接，分布更容易，应用不受限制，特别适合一些应用环境复杂，不宜接触的工程结构和环境的遥测、传感和目标识别等领域。
[0003]以往声表面波传感器只能检测单个物理量或者即使能够测量2个物理量但结构相对复杂。针对上述缺陷，
【发明者】袁仲雪, 韦江波, 滕学志, 陈海军, 董兰飞, 任丽艳, 李玉峰 申请人:软控股份有限公司