光学独立点测量的制作方法
【专利摘要】本发明涉及光学独立点测量。用于对物体上的待测点(10)的距离测量方法包括执行测量过程，包括发射测量射线，其中，当测量射线的光学测量轴与待测点(10)对准时，在物体上由射线的光束截面限定光学测量点区域(11)，特别是通过与测量射线的高斯射线分别标准差σ最大10倍对应，特别是最大8倍对应的截面限定，并接收物体反射的测量射线，并根据接收的测量过程的测量射线确定到物体上点(10)的距离。就测量过程而言，这包括对于测量射线的发送和接收至少执行一次测量方向的变换作为测量射线的发射方向，每次执行测量方向的变换，使得物体上光束截面限定的各个面心都位于测量点区域(11)内。
【专利说明】光学独立点测量
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种点距离测量方法，用于确定距离的测量设备，以及一种计算机程序广品。
【背景技术】
[0002]确定到测量点的距离形成测量任务多样性以及相应的测量设备的基础。光学距离测量特别用于例如勘测(大地测量学)中或者工业工件检查或测量中的测量设备。例如这包括确定地体或者监测工件上的点坐标。这些方法学的优点特别包括由于较大测量范围带来的较宽应用领域，以及相对较高的测量精度，这可以通过例如干涉仪距离测量提供。
[0003]对于测量目标点，自古代起就有很多大地勘测设备。这种情况下，所测量的从测量设备到目标点的方向或者角度以及通常还有的距离会被记录下来，并且特别是测量设备连同可能出现的参考点的绝对位置作为空间标准数据。
[0004]通常已知的这种大地勘测设备包括经纬仪，视距仪，全测站以及激光扫描仪，都体现在陆地和空间变体中。例如现有技术中的一种大地测量设备在公开文献EP1686350中进行了说明。该设备具备基于电传感器的角度和距离测量功能，允许相对选定目标来确定方向和距离。这种情况下，在设备的内部参考系统内确定角度和距离变量，并且如果适当的话，还会与外部参考系统组合以确定绝对位置。
[0005]目前全测站具有用于数字深加工和检测测量数据存储的微处理器。通常该设备具有紧凑集成设计，其中同轴距离测量元件以及计算器，控制和存储单元通常会位于该设备中。根据应用的不同，全测站额外还配备机械化对准或瞄准设备，并且在使用后向反射器(例如全面棱镜)作为目标物的情况下，具有用于自动目标搜索和追踪的装置。作为人机界面，全测站具有电子显示控制单元，通常是具有电子数据存储装置的微处理器计算单元，具有显示和输入装置，例如键盘。以基于电子传感器模式检测到的测量数据馈送到显示控制单元，这样可以确定目标点的位置，并且由显示控制单元进行光学显示和存储。使用光学距离测量，使得这种情况下可以在至相对较远处的测量点的较大的距离上以精确的方式确定距离。
[0006]另外，在很多工业技术和应用领域，还存在一种采用较高精度测量物体表面以及物体自身的需求。这特别是应用于制造业，其中工件的表面测量和检查尤为重要，特别是还用于质量控制目的。
[0007]坐标测量机通常用于这些用途，所述坐标测量机通常能够以微米级精度精确测量物体表面的几何形貌。待测量的物体可以例如是气缸体，传动装置以及工具。已知的坐标测量机通过产生机械接触并且扫描表面来测量表面。其实例为架台测量机，例如在DE4325337或者DE4325347中所描述的。一种不同的系统基于关节杆的使用，其中测量传感器布置在多节杆的端部处并且可以沿着表面移动。一般的关节杆例如为在US5402582或者EP1474650中所述的。
[0008]另外，同时习惯上在坐标测量机中使用光学测量传感器。用于该目的的光学传感器基于例如入射到物体表面进行干涉测量的激光(EP2037214)。基于白光干涉仪的方法(DE102005061464)以及多彩共焦法(FR2738343)也是已知的。
[0009]用于坐标测量机的光学传感器和测量方法与一系列优点相关:无接触地执行测量，并且与触觉传感器相比光学传感器可以更快通过物体表面，“测量端”的物理尺寸更小，因此可以使测量结果具有更高的横向分辨率。
[0010]然而，当不利的环境影响出现的时候，例如，当测量设备上有振动，或者表面很难测量时，所提到的光学测量方法在距离确定方面具有的缺点是精度有限，不利的环境影响例如会引起测量幅射的大量散射或者具有关于所选择的辐射特性的不利的粗糙度。这种情况下，所谓的“散斑效应”会发生，这在很大程度上导致测量值的不确定度，并且因此对于限定的点而言各个记录的测量值会出现巨大的波动。
[0011]更具体地，在对表面上的独立点测量过程中，借助光学传感器手段(例如，采用坐标测量机)进行的表面几何形状检测会承受由于所发出或者检测到的射线的相干而引起的测量值的不确定，所述表面具有在测量射线的光学波长范围内的粗糙度。在使用窄带光源，例如激光的情况下，线宽预先确定了射线的相干，并且在以所谓的“散斑”测量过程中干涉测量值是很明显的，这导致检测到的幅值和相位的调制。
[0012]尽管某些方法，例如在相确定阶段考虑幅值权重，使得散斑影响得以降低，但是不会全部消除(参见B.Wiesner等的“通过统计无关散斑模式对粗燥表面进行白光干涉测量的改进方法，，(Improved white-light interferometry on rough surfacesby statistically inde pendent speckle patterns),应用光学，第 51 期，751-757 页，2012年以及EP2037214A1)。在这些方法中，残余不确定度在测量目标的粗糙度范围内(参见Pavli￡ek以及Jan Soubusta的“粗糙表面上白光干涉测量不确定度的理论测量，，(Theoretical Measurement Uncertainty of White-Light Interferometry on RoughSurfaces)，应用光学，第 42 期，1809-1813 页，2003 年)。
[0013]非相位评估方法例如多彩共焦方法学也存在散斑引起的不确定度，这种情况下不确定度的出现不是由于光源的相干而是由于测量方法的光谱滤波。结果，仅所使用的测量射线的窄带范围被有效利用，其与光源线宽的降低相对应，并且因此等于相干性的增加(D.Fleischle, ff.Lyda, F.Mauch 以及 W.0sten 的 “Untersuchung zunZusammenhang von spektraler Abtastung und erreichbarer Messunsicherheit bei derchromatisch-konfokalen Mikroskopie an rauen 0bjekten”[“粗燥物体上进行多彩共焦显微过程中光谱扫描与所获的测量不确定度之间关系的探究”]，发表在2010年DGAO期刊上)。
[0014]考虑到散斑所引起的测量不确定度，在光谱分解的白光干涉法测量过程中也被称为傅立叶域光学相干断层扫描法(FD-OCT)，在光谱仪中对测量射线光以相应的散斑敏感度进行光谱分解(D.C.Adler, T.H.Ko以及J.G.Fujimoto的“使用空间自适应小波滤波器降低光学相干断层扫描法中的散斑”(Speckle reduction in optical coherence tomographyimages by use of a spatially adaptive wavelet filter),发表在 2004 年光学快报第29 期，2878-2880 页)。
[0015]采用可变可调制的参考臂长，也被称为时域OCT的扫描白光干涉仪的精度同样也是与散斑有关的。这种情况下，发射宽度可以认为是一束独立的窄带波包，在等距臂长情况下其被引入到干涉。从而测量物体的粗糙度会导致干涉图的幅值和相位调制(A.Harasaki,J.C.Wyant的“白光纵向扫描干涉法中的条纹调制偏离效应”(Fringe modulation skewingeffect in white-light vertical scanning interferometry),发表在 2000 年应用光学第39期，2101页)。
[0016]这些方法中为人熟知的是粗糙表面上测量点记录过程中距离值的统计波动。因此，单个测量过程中会发生几个微米的形状以及尺寸误差，例如，在标定球体的微粗表面上。
【发明内容】
[0017]因此，本发明的目的在于提供一种改进的测距方法以及改进的测量装置，其中至一个点的测量距离可以更精确更可靠地确定，特别是以较低的测量不确定度来确定。
[0018]该目的是通过实现独立权利要求的技术特征来获得的。以可替换或者更优模式来实现本发明的特征可以在从属权利要求中获得。
[0019]本发明涉及一种对于物体上待测点的距离测量法，包括执行测量过程，包括发射测量射线，其中，当测量射线的光学测量轴与待测点对准时，由所述物体上的射线的光束截面以及物体反射的测量射线的接收就可以确定光学测量点区域，截面面积特别是通过测量射线的射线截面的高斯标准差σ的最多10倍，特别是最多8倍，特别是最多6或者4倍。另外，该方法包括由所接收到的测量过程中的测量射线来确定到物体上点的距离。
[0020]根据本发明，就测量过程而言，包括对于测量射线的发射和接收，执行至少一次变换测量方向作为测量射线的发射方向，其中每次执行测量方向的变换，使得在物体上由光束截面限定的各个面心处于测量点区域内。
[0021]通常基于测量射线的光束轮廓或者由此给出的光束截面来确定测量点区域。然而根据所使用的测量射线的各个光束轮廓，目前仅在光束相对不那么模糊的情况下已经有可能确定测量射线的光束直径。
[0022]在具有高斯光束轮廓的测量射线的典型应用情况下，与本发明的相关联的光束直径应当理解为例如对应于高斯标准偏差σ的四倍的直径。这等于相对于光束中心最大强度值降低了接近13.5% (I / e2)时的光束直径。然而，测量射线照射在物体上的区域(由于高斯轮廓)大得多(例如对应于标准差σ的四倍或者八倍)，随着与光束中心距离的增力口，强度大大降低。在距离测量过程中，反射光同样还会由这些不那么高亮的边缘区域检测到。
[0023]根据本发明，在这一点上，该光学测量点区域(其中布置有用于各个测量的各个面心)特别是由物体上的高斯光束轮廓标的准偏差σ的倍数η确定，其中η最大等于10，特别是最大等于8。
[0024]在按照测量射线的高斯光束轮廓的标准偏差σ的10倍的方式确定测量点区域的情况下，就独立测量而言，也就是说各个测量点具有可变换的测量方向，那么关于光束截面的至少一个外缘区域(中心光束截面外侧的区域，也就是高斯标准差σ的四倍以外)，可以获得(距离)信息。
[0025]在按照测量射线的高斯光束轮廓的标准偏差σ的最大8倍的方式确定测量点区域的情况下，就独立测量而言，(距离)信息至少由中心光束直径的边缘区域获得，该直径确定为标准偏差(当测量轴与待测点对准时的光束直径)的4倍。这种情况下，在每一次测量过程中，测量射线的光束截面会与至少中心光束截面边缘重叠至少一次，中心光束截面是当测量轴与待测点对准时确定的。因此，每次测量检测至少与测量区域一部分相应的信息，测量区域与点的每个独立测量值对应，其中通过这种信息的积累和评估，与点之间距离的每个独立测量值的统计不确定度可被降低。
[0026]根据本发明，特别是通过与测量射线的射线截面的高斯标准偏差σ的最大6倍或者4倍相对应的截面确定测量点区域。在测量点区域的该界定方式情况下，对于各个独立的测量，每种情况下都有相对较大的重叠区域(围绕待测点的中心光束直径和各个独立测量的光束截面的重叠区域)。
[0027]根据本发明的一个特定实施方式，由其区域边界根据距光束中心的距离而延伸的区域来限定光学测量点区域，该光束中心处测量射线的强度为最大强度的(I / e2)倍。
[0028]当聚焦或者发散射线出现的情况下，特别是与上述考虑一起，物体上的光束截面根据与物体的距离的变化应考虑在内。
[0029]因此根据本发明，相对于待测点采用如下方式执行至少两次独立的测量，这样对每一次测量产生的、由测量射线分别产生的测量点的面心，位于测量点区域内。特别是在这种情况下，由光学测量轴限定的测量方向设置为用于将测量射线与待测点或者测量点区域对准。通常使用发散的，校准的或者聚焦的激光射线作为测量射线。
[0030]特别是这种情况下，首先可以直接瞄准待测点，S卩，光学测量轴与点对准，并且可以生成和检测表示相对于点的距离信息的测量信号。在这一点上，可以确定该瞄准过程中的测量点区域，例如，通过点图像的检测以及围绕被射线照亮点的区域的检测。另外，在这种情况下，有可能考虑特定的物体形状，例如弯曲的物体表面以及由此引起的测量点区域的扭曲。
[0031]然而，可替换地或者额外补充地，也可以从与点之间的距离，以及测量射线的已知发散度或者聚焦度得出测量点区域，其中在直接瞄准待测点的过程中确定上述距离。
[0032]在已知测量点区域的情况下(例如，在距物体的已知粗略距离和/或测量射线的较小分散度或者聚焦度的情况下)，在本发明情况下就无需直接测量待测点。反而，通过测量点区域内的至少两个测量值就可以得出至点的距离(或位置)。
[0033]至于通过测量过程中接收到的测量射线来确定距离，该距离可以通过将为了测量对准而确定的多个距离进行平均或者通过对为了每次对准而产生的测量信号的累积进行平均而得出。结果，使用对用于测量射线的每次对准的测量进行平均的适当方法，特别是通过转换测量方向的方式测量至待测点的距离(其中执行至少两次独立测量)。
[0034]根据本发明的一个特定实施方式，就测量过程而言，由光束截面限定的物体上的面心，可以按照待扫描的测量路径的形式进行布置，特别是以环形形式或者两条交叉线的形式或者随机的形式。通过面心的各个适当的布置方式或者通过各个测量方向的对应适当的设定，例如因此可以得到测量点的最优分布，这些测量点分配给待测点的测量点区域，并且/或者可以获得高效，快速和准确的用于点的距离或位置的确定。
[0035]根据本发明的另一实施方式与每个待测点的位置确定相关。这种情况下，对于每个根据测量方向的对准并且通过物体上的光束截面而限定的测量点，另外确定各个测量方向，还可以产生距离信息。另外，对于每个测量点，基于各个测量方向和距离信息确定位置，特别是确定坐标，并且对于每个待测点，通过基于测量点位置的平均来得出点位置，特别是基于点的坐标。
[0036]根据本发明的另一特定实施方式，在物体反射的测量射线接收的情况下，确定了物体上反射的测量射线的信号强度，其中这一步骤特别是连续执行的。
[0037]特别地根据本发明，对于所述测量射线的每次对准，特别是对于所述测量方向的每次变换，确定信号强度，并且将基于每次分别接收到的测量射线而产生的测量信号相对于基于所确定的所述信号强度的相应的距离进行加权，并且根据所述测量信号和加权来确定至所述待测点的距离。
[0038]借助以这种方式提供的信号强度监测，可以大大增加待测点距离确定的准确性，并且可以就该测量过程而言，对于独立测量点的合理性检查每个测量点的距离值，并且以此为基础，可以将它们考虑在内或者不将它们考虑在内。
[0039]特别是，根据本发明可以采用与信号强度对应的方式执行加权，其中将较大的权重系数分配给具有较高信号强度的测量信号，较小的权重系数分配给具有较低信号强度的测量信号。
[0040]另外，根据本发明的另一个实施方式，基于所述测量射线的每次对准所确定的所述信号强度来推导与位置相关的物体状态，特别是其中所述物体的形貌构成由所述与位置相关的物体状态来推导。
[0041]特别地，根据本发明，基于所述物体状态进行加权，并且根据与物体状态相关的加权来确定至所述待测点的距离。 [0042]因此，例如可以获得物体表面的粗略形貌组成，特别是关于测量射线的反射，并且以此为基础，对于测量方向的独立对准评估各个测量值。
[0043]根据本发明的另一实施方式涉及测量值的加权，就测量过程来说，是以每个测量点相对于待测点的定位为基础的。在这一点上，根据所述测量点区域的所述面心与各个独立测量的面心之间的相应距离，来对分配给所述测量方向的相应对准的独立测量值进行加权，并且根据用于所述独立测量值的与距离相关的加权来确定至所述待测点的距离。为此，存储特定距离函数并且因此可以获得例如靠近测量点区域的面心的测量点的高权重(οverweighting)，或者对多个处于测量点区域的边缘区域中的点的低权重(underweighting)。
[0044]当得出到待测点的距离时，为了相应地考虑测量点(根据测量方向的各次对准)，根据本发明可以引入与信号相关的权重，所述测量点由于较差的散斑情况而导致探测器检测的较弱的信号强度。在这种情况下，测量点Pi的各个位置乘以它们的信号强度Si。各个点探测器的位置坐标从而等于由信号强度Si的总和而归一化的、加权平均值:及:
【权利要求】
1.一种用于对物体(25)上的待测点(10)进行距离测量的方法，该方法包括: ?执行测量过程，该测量过程包括: 发射测量射线(30)，其中，当所述测量射线(30)的光学测量轴线与所述待测点(10)对准时，由所述射线的光束截面在所述物体(25)上限定出光学测量点区域(11)，特别是由与所述测量射线(30)的高斯射线分布的标准差σ的最大10倍，特别是最大8倍相对应的截面限定，以及 接收在所述物体(25)处反射的测量射线(30)，以及 ?根据所述测量过程的所接收的测量射线(30)来确定到所述物体(25)上的所述点(10)的距离， 其特征在于， 就所述测量过程而言，包括对于所述测量射线(30)的发送和接收，执行至少一次变换所述测量方向作为所述测量射线(30)的发射方向，其中每次执行所述测量方向的变换，使得在所述物体(25)上由所述光束截面限定的各个面心(20，20’)位于所述测量点区域(11)内。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，就所述测量过程而言，在所述物体(25)上由所述光束截面限定的所述面心(20，20’ )布置成待扫描的测量路径(21)的形式，特别地以环形形式布置或者以两条相交直线(22a，22b)的形式或者以随机模式布置。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述光学测量点区域(11)由如下区域限定:该区域的边界根据距光束中心的距离而延伸，在所述区域的边界处所述测量射线的强度是最大强度值的(I / e2)倍。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其特征在于， ?对于根据所述测量方向的对准并由所述物体(25)上的所述光束截面来限定的每个测量点(15，16，17)，确定相应的测量方向并且产生距离信息， ?对于每个测量点(15，16，17)，基于相应的测量方向和距离信息，特别是坐标值，来确定位置，并且 ?对于所述待测点(10)，通过基于所述测量点(15，16，17)的位置，特别是基于点坐标进行平均，来推导点位置。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其特征在于，就接收在所述物体(25)处反射的测量射线(30)而言，确定在所述物体(25)处反射的所述测量射线(30)的信号强度(S)，特别是连续地确定。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，对于所述测量射线的每次对准，特别是对于所述测量方向的每次变换，确定信号强度(S)，并且将基于每次分别接收到的测量射线(30)而产生的测量信号相对于基于所确定的所述信号强度(S)的相应的距离进行加权，特别是以与所述信号强度(S)对应的方式，并且根据所述测量信号和加权来确定至所述待测点的距离。
7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，基于所述测量射线(30)的每次对准所确定的所述信号强度(S)来推导与位置相关的物体状态，特别是其中所述物体(25)的形貌构成由所述与位置相关的物体状态来推导。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，基于所述物体状态进行加权，并且根据与物体状态相关的加权来确定至所述待测点(10)的距离。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的方法，其特征在于，根据所述测量点区域(11)的所述面心(20，20’)与各个独立测量的面心(20，20’)之间的相应距离，来对分配给所述测量方向的相应对准的独立测量值进行加权，并且根据用于所述独立测量值的与距离相关的加权来确定至所述待测点(10)的距离。
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的方法，其特征在于， ?每当至所述待测点(10)的距离被确定时，或者当所限定的测量条件出现时，自动地执行至少一次所述测量方向的变换，并且/或者?采用干涉仪的方式执行距离确定，并且/或者 ?基于所述测量过程来确定所述测量点区域(11)的表面法线，特别是，其中根据所述表面法线来设定所述测量方向。
11.一种用于确定至物体(25)上的待测点(10)的距离的测量装置(40，50)，该测量装置包括: ?距离测量单元，该距离测量单元具有用于产生测量射线(30)的辐射源和用于接收在所述物体(25)处反射的所述测量射线(30)的探测器， ?对准装置，该对准装置用于设定由所述测量射线(30)限定的测量方向，其中，当由所述测量射线(30)限定的光学测量轴线与所述待测点(10)对准时，由所述测量射线(30)在所述物体(25)上的射线截面来限定光学测量点区域(11)，特别是由与所述测量射线(30)的高斯射线分布的标准差σ的最大10倍，特别是最大8倍对应的截面来限定光学测量点区域(11)， ?对准确定装置，该对准确定装置用于确定由所述测量射线(30)限定的所述测量方向，以及 ?控制和处理单元，该控制和处理单元具有距离确定功能，在执行所述距离确定功能时根据所接收的测量射线(30)来确定至所述点(10)的距离， 其特征在于，在以由所述控制和处理单元控制的方式执行所述距离确定功能时，执行如下步骤: ?设定所述测量方向，以将所述测量射线(30)与所述待测点(10)对准， ?发射所述测量射线(30)，并接收在所述物体(25)处反射的所述测量射线(30)，?对于所述测量射线(30)的发送和接收，至少变换一次所述测量方向，其中每次执行所述测量方向的变换，使得在所述物体(25)上由所述光束截面限定的各个面心(20，20’ )位于所述测量点区域(11)内。
12.根据权利要求11所述的测量装置(40，50)，其特征在于， ?所述测量装置(40，50)被设计为大地测量仪(50)，特别是经纬仪，全测站或者激光扫描仪，包括: □基座(57)，该基座限定纵轴(53)， □组件(56)，该组件以可移动的方式连接到所述基座(57)，并且能够相对于所述基座(57)绕所述纵轴(53)旋转，其中所述组件(56)限定倾斜轴(54)， □瞄准单元(55)，特别是望远镜，以可移动的方式连接至所述组件(56)，所述瞄准单元能够相对于所述组件(56)绕所述倾斜轴(54)枢转，特别是能够相对于所述组件(56)绕所述倾斜轴(54)旋转，并且被设置用于发射所述测量射线，其中所述倾斜轴(54)基本上与所述纵轴(53)正交，并且所述瞄准单元(55)具有距离测量单元，以及 角度测量功能，该角度测量功能代表所述对准确定装置并且用于检测由所述组件(56)相对于所述基座(57)的相对旋转位置限定的旋转角，以及由所述瞄准单元(55)相对于所述组件(56)的相对枢转位置限定的枢转角， 或者 ?所述测量装置(40，50)被设计为坐标测量机(40)，包括: 机座(41)， 测量头(48)，该测量头具有特别是可拆卸的光学测量传感器(49)，其中所述测量传感器(49)具有所述距离测量单元，特别是其中所述测量头(48)被设计为可枢转的测量头(48)并且至少部分地代表所述对准装置， 框架结构(42)，该框架结构具有结构件(43-47)，用于将所述测量头(48)连接至所述机座(41)， 至少一个驱动单元，用于提供第一结构件(43-47)相对于第二结构件(43-47)，或者相对于所述机座在至 少一个方向上的移动性，其中所述驱动单元至少部分地代表所述对准装置，以及 至少一个测量单元，该至少一个测量单元用于确定所述第一结构件(43-47)相对于所述第二结构件(43-47)或者相对于所述机座(41)的相对位置，其中所述测量单元至少部分代表所述对准确定装置。
13.根据权利要求11或12的测量装置(40，50)，其特征在于，当执行所述距离确定功能时，通过所述对准装置和/或所述物体(25)的位置和/或对准的变化来变换相对于所述待测点(10)的所述测量方向，特别是通过以下方式来变换所述测量方向: ?使所述测量头(48)和/或所述物体(25)枢转、旋转和/或移位，和/或 籲测量传感器(49)所包括的微调器的可控调整，特别是压电致动元件或扫描镜的可控调整， 特别地，其中相对于所述待测点(10)变换所述测量方向，使得所述测量方向被定向成与所述测量点区域(11)的表面法线平行，特别是同轴。
14.根据权利要求11至13中的任一项所述的测量装置(40，50)，其特征在于，所述控制和处理单元被设计成，使得以由所述控制和处理单元控制的方式来执行权利要求1至10中任一项所述的方法。
15.一种计算机程序产品，该计算机程序产品存储在机器可读载体上，并且特别是当该计算机程序产品在根据权利要求11至14中的任一项所述测量装置(40，50)的控制和处理单元上执行时，用于执行根据权利要求1至10中的任一项所述的方法的以下步骤: ?用于控制所述测量方向的变换，并且 ?用于根据所接收的测量射线(30)来执行所述点(10)的距离的推导。
【文档编号】G01B11/02GK103968763SQ201410085277
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年1月29日 优先权日:2013年1月30日
【发明者】托马斯·延森, 克努特·西尔克斯, P·钱普, M·盖尔 申请人:赫克斯冈技术中心, 海克斯康计量公司