一种新型的多稳态超声检测传感器的制作方法

文档序号:11946101阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种新型的用于超声检测领域的多稳态传感器,包括声阻匹配层、金属电极、压电薄膜、耐高压绝缘层、空腔密封层、背衬层和机电控制电路板,其特征在于所述的超声检测传感器通过机电控制电路在同一个超声换能器单元上实现压电式超声传感和电容式超声传感相互组合的多稳态工作方式,且每个稳态工作方式可按照任意超声频率设计,如按照电容式低频超声传感和压电式高频超声传感进行设计,兼顾超声检测的深度和分辨率。这种多稳态超声检测传感器可灵活应用于气态、液态、固态媒体介质的超声探测,阻抗匹配简单,体积小易于集成,可批量化生产,成本低,在水中声波探测、生物医学成像及工业超声无损检测等领域具有应用前景。

技术研发人员:刘玉菲;姜森林;孙长河;代付康
受保护的技术使用者:重庆大学
文档号码:201610503035
技术研发日:2016.06.30
技术公布日:2016.12.07

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