一种飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置的制作方法

技术特征：

1.一种飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，包括聚焦透镜、光电探测器和处理机构，所述聚焦透镜用于将飞秒激光跟踪仪发出的激光光束聚焦到所述光电探测器上，所述处理机构用于计算激光光轴与机械轴的倾斜量和平移量。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，还包括位于飞秒激光跟踪仪的出光口与聚焦透镜之间的第一直角棱镜和第二直角棱镜，所述第一直角棱镜用于将飞秒激光跟踪仪发出的激光光束反射至第二直角棱镜，所述第二直角棱镜用于将激光光束反射至聚焦透镜。

3.根据权利要求1所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，还包括位于光电探测器与聚焦透镜之间平面反射镜，所述平面反射镜用于将聚焦后的激光光束反射至光电探测器。

4.根据权利要求3所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，还包括位于光电探测器与平面反射镜之间衰减片。

5.根据权利要求1所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，所述处理机构包括倾斜量计算单元，

用于当所述光电探测器位于聚焦透镜的像方焦平面上、且所述标定装置随着机械轴一起旋转时，计算会聚在所述光电探测器上的激光光斑的移动轨迹的半径；其轨迹半径r₁＝f'·tanθ，其中，θ为激光光束的中心轴与机械轴之间的夹角，f’为聚焦透镜的焦距。

6.根据权利要求5所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，所述处理机构还包括平移量计算单元，

用于当激光光轴与机械轴平行、且所述标定装置随着机械轴一起旋转时，计算会聚在所述光电探测器上的激光光斑的移动轨迹的半径，其轨迹半径其中，Δl为光电探测器与聚焦透镜像方焦平面的偏离距离，d为激光光束的中心轴与机械轴之间的平移量。

7.根据权利要求4所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，还包括支撑底板，所述支撑底板用于支撑起第一直角棱镜、第二直角棱镜、聚焦透镜、平面反射镜、衰减片和光电探测器。

8.根据权利要求7所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，所述支撑底板上开设有凹槽，所述第一直角棱镜安装在该凹槽内，所述凹槽上开设有通孔，所述通孔用于导出激光跟踪仪发出的激光光束，从而使激光光束射入第一直角棱镜；

所述支撑底板上的凹槽的两侧分别设置有第二直角棱镜安装架和光电探测器底座支撑柱，所述第二直角棱镜安装架用于支撑第二直角棱镜、聚焦透镜、平面反射镜，所述光电探测器底座支撑柱用于支撑衰减片、光电探测器。

9.根据权利要求8所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，所述第二直角棱镜安装架上安装有聚焦透镜安装架，所述聚焦透镜安装架开设有凹槽，所述凹槽用于安装聚焦透镜；

所述聚焦透镜安装架上安装有平面反射镜支架底柱，所述平面反射镜支架底柱上安装有平面反射镜支架，所述平面反射镜支架用于安装平面反射镜。

10.根据权利要求9所述的飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置，其特征在于，所述标定装置还包括光电探测器底座、移动底板和光电探测器支撑底板，所述光电探测器底座作为光电探测器和光电探测器底座支撑柱的转接件，所述光电探测器支撑底板上连接移动底板，所述移动底板用于连接光电探测器底座支撑柱，从而固定光电探测器；

所述光电探测器支撑底板上开设有两条滑道，所述移动底板能够在所述滑道上滑动，并与所述光电探测器支撑底板进行固定，从而使移动底板带动所述光电探测器进行移动。