技术总结
本发明涉及一种测量太赫兹光束参数的方法。测量太赫兹光束参数的方法包括：获得待测太赫兹光束；控制掩膜片在太赫兹光束的焦平面内移动，并测得太赫兹光束在焦平面内的腰斑半径；控制掩膜片从太赫兹光束的焦平面沿太赫兹光束传播的方向移动，掩膜片每移动一次记录对应的光轴移动量，在光轴移动量的位置处测量掩膜片所在平面内的太赫兹光束的半径；当在光轴移动量的位置处测量的太赫兹光束的半径等于腰斑半径的倍时，计算聚焦深度。通过上述简单的测量太赫兹光束参数的方法，可以快捷方便的测量出影响太赫兹光谱成像空间分辨率的焦点腰斑半径以及聚焦深度，其测得腰斑半径及聚焦深度的精度高、误差小。
技术研发人员：彭世昌;潘奕;李辰;丁庆
受保护的技术使用者：深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹系统设备有限公司
文档号码：201610857188
技术研发日：2016.09.27
技术公布日：2017.02.15