技术总结
本发明提供的一种干涉仪光学系统，包括光源、聚光镜、滤光片、视场光阑、分光镜、准直镜、移相器、显微物镜、电荷耦合元件，所述光源发出的光线依次经过所述聚光镜、所述滤光片、所述视场光阑、所述分光镜、所述准直镜、所述移相器、进入所述显微物镜，经所述显微物镜的分光面分光后，一部分光线反射到所述显微物镜的参考反射面，经所述参考反射面反射返回，另一部分光线透过所述显微物镜的分光面到达被测面，经被测面反射返回，再次穿过所述分光面后与经所述参考反射面反射的光线重合，发生干涉并经所述分光镜反射后进入所述电荷耦合元件，产生干涉图样，本发明元件少，结构简单，易于保证镜筒机械加工精度，降低装调难度。
技术研发人员：王飞;史振广;田伟;隋永新
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
文档号码：201611133620
技术研发日：2016.12.10
技术公布日：2017.05.31