太赫兹二维成像系统及成像方法与流程

文档序号:12118518阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种太赫兹二维成像系统及成像方法,所述成像系统包括太赫兹量子级联激光器模块、载物台模块、光路传输模块、数据采集模块、数据处理与图像还原模块。本发明所述成像系统采用对称型立体光路实现反射信号的接收,成像光斑小,成像信号收集效率高,减少了能量损耗,提高了成像信噪比,解决了现有的成像系统中进入探测器的入射信号强度低、干扰大、且收集效率低的问题。

技术研发人员:邱付成;谭智勇;李孟奇;王长;曹俊诚
受保护的技术使用者:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
文档号码:201611237934
技术研发日:2016.12.28
技术公布日:2017.03.15

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