具有脱气位滤尘功能的静态法物理吸附仪的制作方法

文档序号:11986521阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有脱气位滤尘功能的静态法物理吸附仪,其特征在于,该物理吸附仪包括:脱气位滤尘袋、缓冲瓶、样品管、进气管、出气管和真空获得系统;其中,

所述样品管经进气管与所述缓冲瓶内设置的所述脱气位滤尘袋密封连接;

所述缓冲瓶内经设有阀门的出气管与所述真空获得系统密封连接。

2.根据权利要求1所述的具有脱气位滤尘功能的静态法物理吸附仪,其特征在于,所述脱气位滤尘袋包括:支架、O型圈、卡环和滤尘袋;其中,

所述滤尘袋上端开口外设置所述支架,所述支架外设置所述卡环,所述卡环内与所述支架外之间设置所述O型圈,在所述滤尘袋上端开口处形成连接进气管出口的密封连接结构。

3.根据权利要求2所述的具有脱气位滤尘功能的静态法物理吸附仪,其特征在于,所述滤尘袋为过滤结构袋体。

4.根据权利要求1、2或3所述的具有脱气位滤尘功能的静态法物理吸附仪,其特征在于,所述脱气位滤尘袋密封安装在缓冲瓶内。

5.根据权利要求1、2或3所述的具有脱气位滤尘功能的静态法物理吸附仪,其特征在于,所述缓冲瓶的直径大于所述进气管和出气管的直径。

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