一种应变式三维力传感器的制作方法

文档序号:11051073阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种应变式三维力传感器,包括弹性体和设置在所述弹性体上部的上部支撑板,所述弹性体下部与上部支撑板之间设置有将弹性体的主体部分容纳其中的外壳,所述弹性体上设置有分别用于测量X轴、Y轴、Z轴受力的平行梁结构、单孔梁结构及圆环结构,所述外壳设置有三个分别电性连通所述平行梁结构、单孔梁结构、圆环结构的接插件母头。该种应变式三维力传感器具有结构简单、加工容易、测量精度高、维间不会产生串扰等现有产品所具备的优点。

技术研发人员:沈力;袁武
受保护的技术使用者:泰科思(深圳)传感器有限公司
文档号码:201620919038
技术研发日:2016.08.22
技术公布日:2017.04.26

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