气体传感器以及气体传感系统的制作方法

文档序号:15103940发布日期:2018-08-04 16:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体传感器,具备:

单元阵列,具有被设置为矩阵状的多个单元;

读出电路,读出来自所述多个单元的信号;以及

信号处理部,对被读出的所述信号进行处理,

所述多个单元的每一个单元具有:

气体分子检测部,在邻接的单元之间,所述气体分子检测部电分离;以及

放大器电路,与所述气体分子检测部电连接。

2.如权利要求1所述的气体传感器,

所述多个单元的每一个单元,具备:

电荷蓄积区域,与所述气体分子检测部电连接;以及

复位晶体管,对所述电荷蓄积区域进行复位,

所述放大器电路是放大晶体管,对所述电荷蓄积区域中蓄积的电荷进行放大。

3.如权利要求2所述的气体传感器,

所述气体分子检测部,被设置在所述电荷蓄积区域的上方,并且由导电性的接触插塞与所述电荷蓄积区域连接。

4.如权利要求2所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备开关,使所述气体分子检测部与所述电荷蓄积区域电连接、或者电分离。

5.如权利要求4所述的气体传感器,

所述开关是传输晶体管,

所述气体分子检测部,被设置在所述电荷蓄积区域的上方,并且由导电性的接触插塞与所述传输晶体管的扩散区域连接。

6.如权利要求2至5的任一项所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备第一控制电路,按照所述单元阵列的每个列,控制所述复位晶体管的电源电位。

7.如权利要求6所述的气体传感器,

所述第一控制电路,针对所述传感阵列中邻接的每个列的所述气体分子检测部,赋予不同的极性的电位。

8.如权利要求2至5的任一项所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备第一控制电路,按照所述单元阵列的每个单元,控制所述复位晶体管的电源电位。

9.如权利要求8所述的气体传感器,

所述第一控制电路,针对所述传感阵列中邻接的每个单元的所述气体分子检测部,赋予不同的极性的电位。

10.如权利要求6或者8所述的气体传感器,

所述传感阵列具有至少包含一个单元的第一区域、以及包含其他单元的第二区域,

所述第一控制电路,针对所述第一区域中的单元的所述气体分子检测部与所述第二区域中的单元的所述气体分子检测部,赋予不同的极性的电位。

11.如权利要求2至10的任一项所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备反馈放大器电路,向所述复位晶体管的漏极端子,提供与所述放大晶体管的输出信号对应的反馈信号。

12.如权利要求1至11的任一项所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备:

第一电极,被设置在所述气体分子检测部的上方;以及

第二控制电路,控制所述第一电极的电位,

所述气体分子检测部与所述第一电极之间是空的。

13.如权利要求12所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备第二电极,

所述第二电极被设置在所述气体分子检测部的上方,并且在平面视时围着所述第一电极,并且与所述第一电极电分离。

14.如权利要求13所述的气体传感器,

所述第一电极的电位的极性,与所述第二电极的电位的极性不同。

15.如权利要求1至14的任一项所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备吸附部件,所述吸附部件被设置在邻接的所述气体分子检测部之间,

在所述吸附部件的表面的带电的电荷的极性,与所述气体分子检测部的极性不同。

16.如权利要求1至15的任一项所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备触媒,所述触媒被设置在邻接的所述气体分子检测部之间,

所述触媒,分解规定的气体分子。

17.一种气体传感器,具备:

气体分子检测部;

电荷蓄积区域,与所述气体分子检测部电连接;

复位晶体管,对所述电荷蓄积区域进行复位;以及

放大晶体管,具有与所述电荷蓄积区域电连接的栅极。

18.如权利要求17所述的气体传感器,

所述气体分子检测部,被设置在所述电荷蓄积区域的上方,并且由导电性的接触插塞与所述电荷蓄积区域连接。

19.如权利要求18所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备开关,使所述气体分子检测部与所述电荷蓄积区域电连接、或者电分离。

20.如权利要求19所述的气体传感器,

所述开关是传输晶体管,

所述气体分子检测部,被设置在所述电荷蓄积区域的上方,并且由导电性的接触插塞与所述传输晶体管的扩散区域连接。

21.如权利要求17或者20所述的气体传感器,

所述气体传感器还具备反馈放大器电路,向所述复位晶体管的漏极端子,提供与所述放大晶体管的输出信号对应的反馈信号。

22.一种气体传感系统,具备:

权利要求1至21的任一项所述的气体传感器;以及

整流装置,生成层流,

通过所述整流装置,将气体分子导入到所述气体传感器。

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