宽波段、大量程激光功率计检定装置的制作方法

文档序号:12655439阅读:来源:国知局

技术特征:

1.宽波段、大量程激光功率计检定装置,包括宽波段、大量程、高精度、高稳定的激光功率计检定校准,包括激光辐射源、可翻转反射镜、光阑、激光功率分束片、监测探测器、激光衰减器组、激光功稳仪、宽波段标准激光功率计、待检定激光功率计和激光光路,

其特征在于:

激光辐射源(0)包括633nm激光器(1)、532nm激光器(2.)和1064nm激光器(3),在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜(1.1),在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜(2.1),在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜(3.1),翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上,在水平光路初始位置上装有第一可变光阑(4)和激光分束片(5),激光分束片反射的激光照向监测探测器(6)上,没有被激光分束片反射的激光通过激光衰减器组(7),在激光衰减器组前侧装有可调占空比式激光衰减器(7.1),后侧装有中性激光衰减片(7.2),经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪(8)后又经过第二可变光阑(9),直至照射在宽波段标准激光功率计(10)上,宽波段标准激光功率计光路直接照射到待检定激光功率计(11)上。

2.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计检定装置,其特征在于:所述激光辐射源至少包括532nm、633nm和1064nm三个波长点,光谱上包含了从可见绿光、可见红光到不可见近红外激光辐射三个波长,通过更多的激光器和可翻转反射镜组合可实现更多波长的激光功率计检定。

3.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计检定装置,其特征在于:所述激光功率分束监测与修正装置至少包括激光辐射分束片、激光功率计探头和激光功率计显示仪表;所述激光辐射分束片具有平行或楔形平面结构,前表面没有镀膜,后表面镀有高损伤阈值的激光增透膜,用于将激光分束,一束进入监视激光功率计,一束进入标准激光功率计和待检定激光功率计;所述激光功率计探头,为热电型,传感器为热电堆,或光电型,传感器为半导体材料,用于接收激光光束;激光功率计显示仪表,用于将激光功率计探头输出光信号转换为电信号,并显示功率值。

4.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计检定装置,其特征在于:所述激光衰减器至少包括机械斩波式可调衰减器和中性激光衰减片;所述机械斩波式衰减器只有两片金属扇叶,且扇叶较厚,抗激光损伤能力较强,用于瓦级功率激光检定校准;所述的中性激光衰减片由一组中性灰玻璃组成,实现毫瓦级宽波段激光功率的衰减;所述的机械斩波式可调衰减器和中性激光衰减片可单独使用,也可组合使用,扩展激光功率计检定量程,实现大量程激光功率计检定。

5.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计检定装置,其特征在于:所述激光可变光阑由多个叶片组成,每个叶片具有类似于圆的渐开线的形状结构,调节旋钮改变叶片的角度,用于光束定位,保证不同波长的激光沿同一位置入射到宽波段标准激光功率计和检定待检定激光功率计。

6.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计检定装置,其特征在于:所述激光功率计测量对准装置至少包括光学移动平台和固定支架,用于固定所述标准激光功率计和所述被测激光功率计,并通过计算机控制标准激光功率计和所述被测激光功率计进行位移切换,使两功率计分别移入光路。

7.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计检定装置,其特征在于:所述激光功率计至少包括宽波段标准激光功率计和待检定激光功率计;所述宽波段标准激光功率计采用宽波段、具有高吸收率的吸收涂层作为吸收体,采用孪生补偿的探测器结构降低了环境背景的影响,用于作为计量标准实现量值溯源;所述待检定激光功率计与所述宽波段标准激光功率计进行交替测量,通过比较法实现待检定激光功率计的检定校准。

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