一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置的制作方法

文档序号:11351278阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于:该装置包括计算机(1)、NI板卡(2)、锁相模块(3)、电流放大器(4)、飞秒光纤激光器(5)、电压放大器(6)、一分二光纤耦合器(7)、太赫兹发射器(8)、太赫兹探测器(9)、双面抛光硅片(10)、笼式系统固定架(11)、太赫兹聚焦透镜(12)和二维电动平移台(13);

所述太赫兹发射器(8)和太赫兹探测器(9)固定在笼式系统固定架(11)相邻的两个圆孔上,太赫兹探测器(9)连接电流放大器(4);

所述电流放大器(4)连接锁相模块(3);

所述锁相模块(3)连接NI板卡(2);

所述NI板卡(2)同时连接锁相模块(3)、电压放大器(6)和计算机(1);

所述电压放大器(6)连接太赫兹发射器(8);

所述飞秒光纤激光器(5)连接一分二光纤耦合器(7);

所述一分二光纤耦合器(7)分别连接太赫兹发射器(8)和太赫兹探测器(9);

所述双面抛光硅片(10)以45°角对角放置在笼式系统固定架(11)内;

所述太赫兹聚焦透镜(12)固定在笼式系统固定架(11)上;

所述笼式系统固定架(11)固定在二维电动平移台(13)上。

2.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于,所述太赫兹发射器(8)和太赫兹探测器(9)为夫琅禾费光纤型光电导天线。

3.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于,所述飞秒光纤激光器(5)为CALMAR小型飞秒光纤激光器。

4.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于,所述一分二光纤耦合器(7)分束前为色散补偿光纤和保偏光纤,分束后为两个长度不同的保偏光纤。

5.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于,所述双面抛光硅片(10)的厚度h=400μm,边长d=30mm,电阻率ρ=10000Ω·cm。

6.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于,所述笼式系统固定架(11)为C4W30mm笼式立方体、B4CRP/M精密旋转调节平台和FFM1笼式兼容安装座的组合。

7.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于,所述NI板卡(2)为NI-USB6211多功能DAQ。

8.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于,所述太赫兹聚焦透镜(12)为Teflon透镜,直径d=25.4mm,焦距f=50mm。

9.根据权利要求1所述的一种脉冲太赫兹波金属成像检测装置,其特征在于,所述锁相模块(3)为HB-292(I-2)型高性能双相锁相放大器。

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