一种探测器面板的制作方法

文档序号:15415616发布日期:2018-09-11 22:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种探测器面板,其特征在于,所述探测器面板至少包括:玻璃基板、形成于所述玻璃基板表面的反射膜层、以及形成于所述反射膜层表面的TFT非晶硅感光像素阵列;从所述TFT非晶硅感光像素阵列透过的可见光,通过所述反射膜层的反射作用,由所述TFT非晶硅感光像素阵列重新吸收。

2.根据权利要求1所述的探测器面板,其特征在于:所述反射膜层包括形成于所述玻璃基板表面的金属反射层和形成于所述金属反射层表面的绝缘层。

3.根据权利要求2所述的探测器面板,其特征在于:所述金属反射层的厚度介于几纳米至1μm之间。

4.根据权利要求3所述的探测器面板,其特征在于:所述金属反射层的厚度介于10~500nm之间。

5.根据权利要求2所述的探测器面板,其特征在于:所述金属反射层的材质包括Al、Ag、Cu中的一种或多种的组合。

6.根据权利要求2所述的探测器面板,其特征在于:所述绝缘层的厚度介于10~1000nm之间。

7.根据权利要求2所述的探测器面板,其特征在于:所述绝缘层包括氮化硅或者氧化硅。

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