光源装置及光源装置的驱动方法与流程

本发明涉及适用于例如固态摄像元件的检查的光源装置以及光源装置的驱动方法。
背景技术：
：作为使用检测出光而产生电荷的光电转换元件的固态摄像元件(影像传感器)，CCD(ChargeCoupledDevice)和CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor)影像传感器已投入实际应用。在这些CCD和CMOS等固态摄像元件的制造工序中，有必要检查(测试)固态摄像元件的光电转换特性。该检查中具有在固态摄像元件形成于半导体晶圆上的芯片状态下所进行的前工序检查(测试)以及组合并封装固态摄像元件后所进行的后工序检查(测试)。前工序测试中，例如，在用探针卡将测试头与固态摄像元件电连接的状态下，透过持有针孔的规定光学系统(光学装置)向固态摄像元件的受光面照射检查用光。后工序测试中，例如，由机械手(handler)将已封装的固态摄像元件安装至插座板(socketboard)，由此电连接测试头与固态摄像元件，在此状态下透过持有针孔的规定光学系统(光源装置)向固态摄像元件的受光面照射检查用光。图1是表示适用于固态摄像元件的检查的光源装置的构成例的图(例如参照专利文献1)。图1的光源装置1具有光源头部2、镜筒部3以及控制部4。另外，在镜筒部3的光照射区域配置有搭载检查对象的晶圆的晶圆台5。晶圆台5的晶圆搭载面5a垂直于镜筒部3的光学系统的光路。光源头部2构成为包括光源11、以及沿着来自光源11的出射光(白色光)的光路LP(TLP)配置的聚光透镜12、机械式狭缝13、ND滤光片转盘(turret)14、颜色校正滤光片转盘15、半反射镜16、均光器(homogenizer)17和照度计18。光源11适用例如卤素灯、氙灯、金属卤化物灯、LED、激光等。该光源11将所发射的光向规定方向反射并聚集光。半反射镜16反射在光路LP传播的来自光源11的光中规定波长范围的光而形成反射光路RLP，并使剩余波长范围的光透过而形成透过光路TLP。镜筒部3构成为包括以光轴与由光源头部2的半反射镜16形成的反射光路RLP对齐的方式配置的均光器19、凸透镜20以及凹透镜21。均光器17与19由纵横向地将单透镜排列为矩阵状而成的复眼透镜等所构成，是用以使来自光源11的光的照度分布均匀化而设置的。具有如此构成的光源装置1中，为了照射指定照度的光而组合光路LP上的机械式狭缝(机械式光圈)13与ND滤光片转盘14。另外，作为光源11的卤素灯随着时间经过其照度会下降。因此，为维持照度，在光源装置1中设置有照度计18，其作为在光源头部2的内部测定照度的传感器。然后，根据照度计18的测定结果，在控制部4中判断照度是否达到目标，并反馈光源11的灯的驱动电压DV以使得该驱动电压DV始终为相同值，由此可以维持相同的照度。另外，光源装置1中，将用以改变光的色调的透过型滤光片配置于光路LP上，以改变光整体的色调。另外，光源装置1中，为了消除光学部件造成的检查光的颜色偏差，调节驱动电压DV，以调节灯电压而使所有装置为相同色温。在先技术文献专利文献专利文献1：JPWO2004/053451A1技术实现要素：发明要解决的问题尽管如此，上述光源装置1中，为了照射指定照度的光，虽组合光路LP上的机械式狭缝(机械式光圈)13与ND滤光片转盘14，但切换机械式狭缝13时，光源的视觉表现改变，光的颜色也改变。另外，针对形成光源11的卤素灯的照度随时间变化，虽调整了灯的驱动电压DV，但无法防止光的色调随时间变化。通过配置透过型滤光片虽可改变光整体的色调，但仍有滤光片的偏差，难以微调整。为了消除装置的颜色偏差，虽调整了灯的驱动电压以成为相同色温，但即使是相同色温，光的色调仍不同，无法使光源装置的色调相同。在该情况下，以利用电压而成为相同色温的方式来校正部件造成的颜色偏差。但是，即使是相同色温，色调仍不同，无法消除颜色偏差。本发明提供一种针对随时间变化以及光学部件的规格偏差而能够照射相同色调的光的光源装置以及光源装置的驱动方法。解决方案本发明的第1观点是一种光源装置，其对目标物照射光，所述光源装置包括：光源，其射出应照射的光；色度测定部，其测定由所述光源射出的出射光的色度；色度调节部，其能够使色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出，通过该色度调节用滤光片的进出而能够调节所述出射光的色度；以及控制部，其根据所述色度测定部的测定结果监控所述出射光的色度的变化，并控制所述色度调节部的色度调节用滤光片在所述光路上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。本发明的第2观点是一种光源装置的驱动方法，其中，所述光源装置对目标物照射光，并包括：光源，其射出应照射的光；以及色度调节部，其能够使色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出并通过该色度调节用滤光片的进出而能够调节所述出射光的色度，所述驱动方法包括：色度测定步骤，其测定由所述光源射出的出射光的色度；以及控制步骤，其根据所述色度测定步骤的测定结果监控所述出射光的色度的变化，并控制所述色度调节部的色度调节用滤光片在所述光路上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。发明效果根据本发明，针对光源等的随时间变化以及光学部件的规格偏差，能够照射相同色调的光。附图说明图1是表示适用于固态摄像元件的检查的光源装置的构成例的图。图2是表示本发明实施方式的光源装置的构成例的图。图3是包含本发明实施方式的色度调节部的机构部的外观图。图4(A)及图4(B)是用以说明为了消除光源装置的颜色偏差而以调节光源灯电压而使所有装置成为相同色温的方式进行校正的情况下的课题的图。图5(A)及图5(B)是用以说明作为光的色调的管理方法而对基于色温的校正与基于色度的校正进行比较的图。图6(A)及图6(B)是用以说明作为光的色调的管理方法而对基于色温的校正与基于色度的校正中的调整范围进行比较的图。图7(A)至图7(F)是表示本实施方式的第1色度调节用滤光片与第2色度调节用滤光片的移动(插入至光路)所致的色温、色度变化的一例的图。图8是用以说明基于本实施方式的第1色度调节用滤光片与第2色度调节用滤光片所进行的色调的具体校正步骤的色度坐标图。图9是用以说明根据多个第2近似直线的斜率求得相对于色度变化量的第2近似曲线的近似2次曲线的处理的图。图10是用以说明基于本实施方式的第1色度调节用滤光片与第2色度调节用滤光片所进行的色调的具体校正步骤的流程图。图11(A)至图11(C)是用以说明本发明实施方式的光源装置中的色度调节部的另一构成例的图。图12是用以说明本发明实施方式的光源装置中的色度调节部的再一构成例的图。具体实施方式以下，参照附图说明本发明的实施方式。图2是表示本发明实施方式的光源装置的构成例的图。本实施方式的光源装置100具有光源头部200、镜筒部300以及控制部400。另外，在镜筒部300的光照射区域配置有搭载检查对象的晶圆的晶圆台500。晶圆台500的晶圆搭载面500a垂直于镜筒部300的光学系统的光路。另外，本系统包括作为检查用的基准温度计510、基准色温计520、基准分光器530。光源头部200构成为包括光源101、以及沿着来自光源101的出射光(白色光)的光路LP(TLP)配置的聚光透镜102、机械式狭缝103、ND滤光片转盘104、颜色校正滤光片转盘105、半反射镜106、均光器107、作为照度测定部的照度计108、作为色度测定部的分光器109以及色度调节部120。镜筒部300构成为包括以光轴与由光源头部200的半反射镜106形成的反射光路RLP对齐的方式配置的均光器131、凸透镜132以及凹透镜133。镜筒部300将经光源头部200调节了照度、色度并在反射光路RLP传播来的光照射至晶圆台500的晶圆搭载面500a所搭载的目标晶圆。均光器107与131由纵横向地将单透镜排列为矩阵状而成的复眼透镜等所构成，是用以使来自光源101的光的照度分布均匀化而设置的。光源头部200中，光源101适用例如卤素灯、氙灯、金属卤化物灯、LED、激光等。光源101在背面侧配置有球面镜，在前面侧配置有聚光透镜102。光源101由控制部400的驱动电压DV控制以使得其照度成为预先设定的照度。光源101与驱动电压DV相应地，将应照射至晶圆台500的晶圆搭载面500a所搭载的目标晶圆的光(白色光)L朝向配置于前面侧的聚光透镜102射出。聚光透镜102聚集自光源101射出的光束以向机械式狭缝103的方向集中。如图2所示，机械式狭缝103由2枚可动板103A、103B构成，通过可动板103A、103B的移动调整，来调整在可动板103A、103B之间形成的开口103C的面积。机械式狭缝103通过调整开口103C的面积，来调整聚光透镜102所聚集的光的光量。ND滤光片转盘104被支承为以支承轴AX为中心能够转动。该ND滤光片转盘104沿着圆周方向保持多种ND(NeutralDensity)滤光片。ND滤光片在不改变透过机械式狭缝103的来自光源101的光的分光组成下，以规定比例对该光进行减光。通过使ND滤光片转盘104分度转动，来选择期望的减光量的ND滤光片。另外，ND滤光片转盘104也包括一简单开口，在不减光的情况下，直接通过该开口。颜色校正滤光片转盘105被支承为以支承轴AX为中心能够转动。该颜色校正滤光片转盘105沿着圆周方向保持多种颜色校正滤光片。来自光源101的光通过颜色校正滤光片而生成与颜色校正滤光片的颜色相应的波长的光。通过使颜色校正滤光片转盘105分度转动，来选择期望的颜色校正滤光片。另外，颜色校正滤光片转盘105也包括供光通过的简单开口，在不选择波长的情况下，直接通过该开口。半反射镜106反射在光路LP传播的来自光源101的光中规定的光(例如规定波长范围的光)而形成反射光路RLP，并使剩余的光透过而形成透过光路TLP。另外，也可以取代半反射镜而适用旋转镜。在该情况下，可构成为将光选择性地反射至均光器107与131来供给。均光器107由纵横向地将单透镜排列为矩阵状而成的复眼透镜等所构成，使透过半反射镜106的来自光源101的光的照度分布均匀化并供给至照度计108与分光器109。照度计108测定来自均光器107的由光源101射出的光的照度，并将测定结果输出至控制部400。分光器109测定来自均光器107的由光源101射出的光的色度，并将测定结果输出至控制部400。(色度调节部120的构成与功能)色度调节部120构成为，在控制部400的控制下，使色度调节用滤光片可在出射光的光路LP上(本例为颜色校正滤光片转盘105的输出侧与半反射镜106的反射面之间的光路LP上)进出，通过色度调节用滤光片的进出可调节出射光的色度。色度调节部120能够使2个不同种类的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB在出射光的光路LP上进出。色度调节部120利用2个不同种类的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB向光路LP插入的插入量来调节色度。在本实施方式中，作为一例，第1色度调节用滤光片CHA由G滤光片形成，第2色度调节用滤光片CHB由LA滤光片(色温交换滤光片)形成。第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB在控制部400的控制下，被独立地控制其在光路LP上的配置量(在此为插入量或移动量)。图3是包含本实施方式的色度调节部的机构部的外观图。色度调节部120具有驱动第1色度调节用滤光片CHA的第1驱动部121与驱动第2色度调节用滤光片CHB的第2驱动部122。第1驱动部121由来自控制部400的控制信号CLT1驱动控制。第2驱动部122由来自控制部400的控制信号CLT2驱动控制。第1驱动部121构成为包括由控制信号CTL1正反控制旋转量的第1马达1211、保持第1色度调节用滤光片CHA的第1滤光片保持部1212、与第1马达1211的旋转量相应地使第1滤光片保持部1212如图3所示那样沿着在光路LP的一侧(图3中光路LP的左侧)与光路LP垂直的箭头AA方向移动的第1驱动头1213等。第2驱动部122构成为包括由控制信号CTL2正反控制旋转量的第2马达1221、保持第2色度调节用滤光片CHB的第2滤光片保持部1222、与第2马达1221的旋转量相应地使第2滤光片保持部1222如图3所示那样沿着在光路LP的另一侧(图3中光路LP的右侧)与光路LP垂直的箭头AB方向移动的第2驱动头1223等。镜筒部300中，均光器131由纵横向地将单透镜排列为矩阵状而成的复眼透镜等所构成，使半反射镜106所反射的来自光源101的光的照度分布均匀化，并供给至凸透镜132。凸透镜132聚集从均光器131引导的来自光源101的光。凹透镜133以例如使凸透镜132所聚集的光的强度分布均匀的方式使光扩散，在控制光量、照度以及照度分布的同时将光照射至晶圆台500的晶圆搭载面500a所搭载的目标晶圆。(控制部400的构成与功能)控制部400具有根据作为照度测定部的照度计108的测定结果来监控光源101的出射光的照度变化、并控制光源101的驱动电压DV以使该照度成为预先设定的照度的照度控制功能。控制部400除了该照度控制功能，还具有根据作为色度测定部的分光器109的测定结果来监控光源101的出射光的色度变化、并控制色度调节部120的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB在光路LP上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度的色度控制功能。对应至如此构成，控制部400构成为包括照度控制部410与色度控制部420。照度控制部410具有照度监控部411以及光源驱动器412。照度监控部411根据照度计108的测定结果监控光源101的出射光的照度变化，并判断该照度是否达到预先设定的照度。照度监控部411将判断结果供给至光源驱动器412。光源驱动器412接收照度监控部411的判断结果，在光源101的出射光照度未达到预先设定的照度的情况下，控制光源101的驱动电压DV，以使光源101的出射光的照度达到预先设定的照度。(具备色度控制功能的理由)在此，说明本实施方式中具备色度控制功能的理由。本实施方式的光源装置100的光源头部200中，为了照射指定照度的光而组合光路LP上的机械式狭缝(机械式光圈)103与ND滤光片转盘104。然而，作为光源101的卤素灯随着时间经过其照度会下降。因此，为了维持照度，在光源装置100的光源头部200中设置有照度计108，其作为在光源头部200内部测定照度的传感器。然后，根据照度计108的测定结果，在控制部400中判断照度是否达到目标，并反馈灯的驱动电压DV以使得始终为相同值，由此可以维持相同的照度。另外，光源装置100的光源头部200中，将用以改变光的色调的透过型颜色校正滤光片配置于光路LP上，以改变光整体的色调。另外，光源装置100中，为了消除光学系统的颜色偏差，也可以调节驱动电压DV，以调节光源101的灯电压而使所有装置为相同色温。图4(A)及4图(B)是用以说明为了消除光学系统的颜色偏差而以调节光源灯电压而使所有装置成为相同色温的方式进行校正的情况下的课题的图。为了消除光学系统的颜色偏差，即使调节驱动电压DV以调节光源101的灯电压而使所有装置为相同色温，但如图4(B)所示，相同色温下色调仍有不同，难以消除颜色偏差。因此，在本实施方式中，为了调节光的色调，通过将色调的管理方法从色温改成色度，能够更严密地进行校正。图5(A)及图5(B)是用以说明作为光的色调的管理方法而对基于色温的校正与基于色度的校正进行比较的图。图5(A)是用以说明基于色温的校正的图，图5(B)是用以说明基于色度的校正的图。基于色温的校正中，调节光源101的灯电压，将装置校正为相同色温。尽管如此，如图5(A)所示，相同色温下色调仍不同。相对于此，基于色度的校正中，在色度控制部420的控制下，调节色度(x，y)，将装置校正为任意色度。由此，基于色度的校正中，如图5(B)所示，可调节为一致的颜色。(色度控制部420的构成与功能)在此，说明本实施方式的色度控制部420的构成与功能。色度控制部420具有色度监控部421以及滤光片驱动器422。色度监控部421根据分光器112的测定结果监控光源101的出射光的色度变化，并判断该色度是否达到预先设定为目标的色度。色度监控部421将判断结果供给至滤光片驱动器422。滤光片驱动器422接收色度监控部421的判断结果，且在光源101的出射光的色度未达到预先设定为目标的色度的情况下，为了使光源101的出射光的色度达到预先设定的色度，控制色度调节部120的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB在光路LP上的进出，以使该色度成为预先设定为目标的色度。滤光片驱动器422控制色度调节部120的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB向光路LP插入的插入量，以使光源101的出射光的色度达到预先设定的色度。滤光片驱动器422独立地控制第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB向光路LP插入的插入量。具体而言，滤光片驱动器422根据第1控制信号CTL1控制第1色度调节用滤光片CHA向光路LP插入的插入量。滤光片驱动器422将第1控制信号CTL1输出至色度调节部120的第1驱动部121，以控制第1色度调节用滤光片CHA向光路LP插入的插入量。滤光片驱动器422根据第2控制信号CTL2控制第2色度调节用滤光片CHB向光路LP插入的插入量。滤光片驱动器422将第2控制信号CTL2输出至色度调节部120的第2驱动部122，以控制第2色度调节用滤光片CHB向光路LP插入的插入量。图6(A)及图6(B)是用以说明作为光的色调的管理方法而对基于色温的校正与基于色度的校正中的调整范围进行比较的图。图6(A)是用以说明基于色温的校正中的调整范围的图，图6(B)是用以说明基于色度的校正中的调整范围的图。关于基于色温的校正中的调整，在图6(A)中符号＊所表示的两点中，为相同色温(3200K)，但色度(色调)不同。如上所述，在以往的构成中，进行光源101的电压调整以使色温一致(置于相同线上)。相对于此，作为一例，本实施方式的基于色度的校正中的调整范围适用为图6(B)中符号ARG所表示的区域。图中所示的区域ARG是色度调节部120的2枚第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB的组合所能调节色度的范围的例子。在本实施方式中，控制部400中的色度控制部420的滤光片驱动器422例如将区域ARG作为2个不同种类的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB的组合所能调节色度的范围，来控制第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB向光路插入的插入量，其中区域ARG是定义为在xy色度坐标上从第1色度调节用滤光片CHA的近似直线AL上延展规定宽度WB的区域。作为色度调节方法的一例，滤光片驱动器422可采用下列方法。在该色度调节方法中，滤光片驱动器422首先将第2色度调节用滤光片CHB的插入量设为0，利用第1色度调节用滤光片CHA的任意多个插入量求得色度的第1近似直线AL。接着，将第1色度调节用滤光片CHA的插入量设为包含0的任意多个插入量，针对每个第1色度调节用滤光片CHA的插入量，利用第2色度调节用滤光片CHB的任意多个插入量求得各个色度的第2近似直线BL。接着，根据多个第2近似直线BL的斜率求得相对于x、y其中一者的色度x的变化量的第2近似直线BL的近似2次曲线CL。再接着，以使从第1近似直线AL上的任意点S连接至表示目标色度的目标点T所形成的直线的斜率与求得近似曲线CL时的斜率相同的方式，来求得点S的包含第1色度调节用滤光片CHA的插入量在内的色度坐标。然后，在固定第1色度调节用滤光片CHA的插入量的状态下，调节第2色度调节用滤光片CHB的插入量，以与目标点T的色度坐标一致。接着，关于上述色度调节方法的具体处理例，作为基于本实施方式的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB而进行的色度的具体校正步骤，参照图7至图10进行说明。图7(A)至图7(F)是表示本实施方式的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB的移动(插入至光路LP)所致的色温、色度变化的一例的图。图7(A)表示第1色度调节用滤光片CHA的移动(插入至光路LP)所致的色温变化的一例，图7(B)表示第1色度调节用滤光片CHA的移动(插入至光路LP)所致的色度x变化的一例，图7(C)表示第1色度调节用滤光片CHA的移动(插入至光路LP)所致的色度y变化的一例。图7(D)表示第2色度调节用滤光片CHB的移动(插入至光路LP)所致的色温变化的一例，图7(E)表示第2色度调节用滤光片CHB的移动(插入至光路LP)所致的色度x变化的一例，图7(F)表示第2色度调节用滤光片CHB的移动(插入至光路LP)所致的色度y变化的一例。图8是用以说明基于本实施方式的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB所进行的色调的具体校正步骤的色度坐标图。图9是用以说明根据多个第2近似直线BL的斜率求得相对于色度x变化量的第2近似曲线BL的近似2次曲线CL的处理的图。图10是用以说明基于本实施方式的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB所进行的色调的具体校正步骤的流程图。(基于色度调节用滤光片CHA、CHB所进行的校正步骤例)在本实施方式中，使用第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB这2个种类。(步骤ST1)在步骤ST1中，根据装置的规格决定目标色度(x，y)。例如设为以下所示的值(点T)。[表1]xy0.42860.424(步骤ST2)在步骤ST2中，将第2色度调节用滤光片CHB的插入量设为0，在第1色度调节用滤光片CHA的任意插入量的2处(CHA，CHB)＝(0，0)与(10000，0)，如图8所示，形成色度的近似线性式(1)(直线AL1)。色度的测定是在晶圆台(测定台)500上使用基准色温计520而测定的。[表2]CHACHBxy000.42380.41611000000.39720.4711(1)y＝-2.0677x+1.2924(步骤ST3)在步骤ST3中，将第1色度调节用滤光片CHA的插入量设为0，在第2色度调节用滤光片CHB的任意插入量的2处(CHA，CHB)＝(0，0)与(0，10000)，如图8所示，形成色度的近似线性式(2)(直线BL2)。[表3]CHACHBxy000.42380.41610100000.44410.4227(2)y＝0.3251x+0.2783(步骤ST4)在步骤ST4中，将第1色度调节用滤光片CHA的插入量设为6000，在第2色度调节用滤光片CHB的任意插入量的2处(CHA，CHB)＝(6000，0)与(6000，9000)，如图8所示，形成色度的近似线性式(3)(直线BL3)。[表4]CHACHBxy600000.4180.4274600090000.43850.438(3)y＝0.5171x+0.2113(步骤ST5)在步骤ST5中，将第1色度调节用滤光片CHA的插入量设为8000，在第2色度调节用滤光片CHB的任意插入量的2处(CHA，CHB)＝(8000，0)与(8000，7000)，如图8所示，形成色度的近似线性式(4)(直线BL4)。[表5]CHACHBxy800000.41040.4429800070000.42360.454(4)y＝0.8409x+0.0978(步骤ST6)在步骤ST6中，如图9所示，根据式(2)～(4)的斜率求得「色度x变化量vsCHB斜率」的近似2次曲线CL的式(5)。[表6]色度xCHB斜率CHA00.42380.3251CHA60000.4180.5171CHA80000.41040.8409(5)y＝709.09x2-630.02x+139.97(步骤ST7)在步骤ST7中，以使从第1色度调节用滤光片CHA的近似直线AL1上的点S连接至目标色度(点T)所形成的直线的斜率与式(5)所求得的斜率相同的方式，来求得点S。[表7]色度x色度y点T0.42860.424点Sx-2.0677x+1.2924(6)斜率a＝(0.424-(-2.0677x+1.2924))/(0.4286-x)(步骤ST8)在步骤ST8中，求得式(6)时，点S的色度坐标如下。[表8]色度x色度yCHA点S0.42090.42214700(步骤ST9)在步骤ST9中，将第1色度调节用滤光片CHA的插入量固定为4700，并移动第2色度调节用滤光片CHB，从而能够与目标一致。[表9]另外，上述滤光片插入量的具体单位对应至例如构成第1马达1211以及第2马达1221的步进马达中的步进(step)数。根据通过滤光片的移动机构的构成算出的马达每1步进对应的滤光片移动量，可将步进数换算为距离。例如，若每1步进对应的移动量为0.02mm/步进，则在第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB的插入量(CHA，CHB)＝(6000，9000)的情况下，表示从各滤光片CHA、CHB的原点位置起，使第1色度调节用滤光片CHA插入120mm，使第2色度调节用滤光片CHB插入180mm。通过进行如上述说明的色度调节处理，能够使所有的装置间、指定照度间以及灯随时间变化所致的光的色调都相同。接着，说明上述构成的光源装置100的整体操作概要。在光源装置100中，光源101通过控制部400的驱动电压DV进行控制，以使得其照度成为预先设定的照度。在光源101中，与驱动电压DV相应地，将应照射至晶圆台500的晶圆搭载面500a所搭载的目标晶圆的光(白色光)L朝向配置于前面侧的聚光透镜102射出。来自光源101的出射光L在聚光透镜102聚集光束以向机械式狭缝103的方向集中。在机械式狭缝103处，通过调整开口103C的面积，来调整聚光透镜102所聚集的光的光量，在ND滤光片转盘104中，例如选择期望的减光量的ND滤光片。通过ND滤光片的光供给至颜色校正滤光片转盘105。然后，在颜色校正滤光片转盘105中，选择期望的颜色校正滤光片，通过颜色校正滤光片的光在光路LP传播并向半反射镜106入射。在半反射镜106中，在光路LP传播的来自光源101的光中规定波长范围的光经反射而在反射光路RLP传播并入射至镜筒部300的均光器131，而剩余波长范围的光被透过而在透过光路TLP传播并入射至均光器107。在镜筒部300的均光器131中，使半反射镜106所反射的来自光源101的光的照度分布均匀化，并供给至凸透镜132，在凸透镜132聚集光后，以例如使所聚集的光的强度分布均匀化的方式使光扩散，在控制光量、照度以及照度分布的同时将光照射至晶圆台500的晶圆搭载面500a所搭载的目标晶圆。另一方面，在均光器107中，使透过半反射镜106的来自光源101的光的照度分布均匀化，并供给至照度计108与分光器109。在照度计108中，测定来自均光器107的由光源射出的光的照度，并将测定结果输出至控制部400。另一方面，在分光器109中，测定来自均光器107的由光源射出的光的色度，并将测定结果输出至控制部400。在控制部400中，根据作为照度测定部的照度计108的测定结果监控光源101的出射光的照度变化，并控制光源101的驱动电压DV以使该照度成为预先设定的照度。另外，在控制部400中，根据作为色度测定部的分光器109的测定结果监控光源101的出射光的色度变化，并控制色度调节部120的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB在光路LP上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。如此一来，以照度与色度成为目标的方式被控制的光在光路LP传播并入射至半反射镜106。在半反射镜106中，如上所述，在光路LP传播的来自光源101的光中规定波长范围的光经反射而在反射光路RLP传播并入射至镜筒部300的均光器131，而剩余波长范围的光被透过而在透过光路TLP传播并入射至均光器107。然后，在镜筒部300的均光器131中，照度及色度被控制，使半反射镜106所反射的来自光源101的光的照度分布均匀化，并将该光供给至凸透镜132，在凸透镜132聚集光后，以例如使所聚集的光的强度分布均匀化的方式使光扩散，在控制光量、照度以及照度分布的同时将光照射至晶圆台500的晶圆搭载面500a所搭载的目标晶圆。如上述说明，根据本实施方式，光源装置100具有光源101、色度调节部120及控制部400，其中，光源101与驱动电压DV相应地将应照射至晶圆台500的晶圆搭载面500a所搭载的目标晶圆的光(白色光)L朝向配置于前面侧的聚光透镜102射出；色度调节部120能够使2个不同种类的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB在出射光的光路LP上(本例为颜色校正滤光片转盘105的输出侧与半反射镜106的反射面之间的光路LP上)进出，从而能够通过色度调节用滤光片的进出来调节出射光的色度；控制部400根据作为色度测定部的分光器109的测定结果监控光源101的出射光的色度变化，并控制色度调节部120的第1色度调节用滤光片CHA与第2色度调节用滤光片CHB在光路LP上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。如此一来，本实施方式的光源装置100构成为，在光源头内部配置能够测定色度的传感器，对例如卤素灯的光的色调随着时间的变化进行监控，将监控结果反馈至色度调节部，以针对随着时间的变化而能够照射相同色调的光。由此，根据本实施方式，能够使所有的装置间、指定照度间以及灯随时间变化所致的光的色调(色度)都相同。另外，根据本实施方式，为了成为目标色度，与色度坐标上的近似直线关联地独立控制第1色度调节用滤光片CHA的插入量与第2色度调节用滤光片CHB的插入量，因此可以实现高精度的色度调节。另外，本发明当然不限定于上述实施方式。例如，色度调节部并不限定于图2及图3的构成，而可采用以下所示的构成。(色度调节部的另一构成例)图11(A)至图11(C)是用以说明本发明实施方式的光源装置中的色度调节部的另一构成例的图。该色度调节部120A在光路LP上放置圆周方向上具有渐变的圆板状的第1色度调节用透过滤光片转盘TCHA与第2色度调节用透过滤光片转盘TCHB，通过这2个第1色度调节用透过滤光片转盘TCHA与第2色度调节用透过滤光片转盘TCHB的旋转量来校正色度。如图11(A)所示，第1色度调节用透过滤光片转盘TCHA与第2色度调节用透过滤光片转盘TCHB在光路LP上被支承为以同轴的旋转轴RAX为中心能够转动。通过第1色度调节用透过滤光片转盘TCHA与第2色度调节用透过滤光片转盘TCHB的旋转量来校正色度，相当于控制色度调节用透过滤光片在光路LP上的配置量。在该情况下，也能够使所有的装置间、指定照度间以及灯随时间变化所致的光的色调(色度)都相同。图12是用以说明本发明实施方式的光源装置中的色度调节部的再一构成例的图。图12的色度调节部120B在光路LP上放置分别在X方向与Y方向具具有色度的灰度的色度调节用滤光片CHC，通过X方向与Y方向上的移动量(配置量)来校正色度。在该情况下，也能够使所有的装置间、指定照度间以及灯随时间变化所致的光的色调(色度)都相同。另外，作为其他色度调节部，也可采用下述构成。该色度调节部的色度调节用滤光片CHA与CHB为具有可电气地变化浓度的功能的滤光片，通过施加于各滤光片的电压(电流)量来校正色度。在该情况下，也能够使所有的装置间、指定照度间以及灯随时间变化所致的光的色调(色度)都相同。另外，以上详细说明的方法也可作为与上述步骤对应的程序而形成，并构成为由CPU等计算机执行。再者，这种程序可构成为由半导体存储器、磁盘、光盘、软盘(注册商标)等记录媒体、设置有该记录媒体的计算机进行访问而执行上述程序。符号说明100光源装置；101光源；102聚光透镜；103机械式狭缝；104ND滤光片转盘；105颜色校正滤光片转盘；106半反射镜；107均光器；108照度计(照度测定部)；109分光器(色度测定部)；120、120A、120B色度调节部；121第1驱动部；122第2驱动部；CHA第1色度调节用滤光片；CHB第2色度调节用滤光片；131均光器；132凸透镜；133凹透镜；200光源头部；300镜筒部；400控制部；500晶圆台；510基准温度计；520基准色温计；530基准分光器。当前第1页1 2 3