技术特征：
技术总结
本发明公开了一种属于光纤传感技术领域的一种微纳米光纤EFPI传感器F‑P腔体制作装置及方法。所述装置由扩束准直聚焦光路和制作平台组成，所述光路包括激光器、扩束准直镜、微调机构、反射镜、聚焦透镜，用于将一束发散的激光束扩束准直聚焦为微米级的平行激光束；所述制作平台包括水平、竖直旋转台和直线滑台，用于实现膜片切割、膜片与毛细管熔接以及光纤与毛细管熔接等一体化集成制作。所述方法将整形后的激光光束均匀辐射至制作平台焊件表面，利用制作平台一体化集成构造对光纤EFPI传感器进行精密熔接密封。本发明制作过程一体集成连续，操作简单方便，有效保证焊点均匀，利用微米级腔长调节技术可实现实时监测、自动反馈功能，具有重要的应用价值。
技术研发人员：王伟;高超飞;王杨超;于雷;王世杰;王鹏;宋树
受保护的技术使用者：华北电力大学
技术研发日：2018.02.11
技术公布日：2018.08.17