技术特征：
技术总结
本发明提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器，包含：底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针；第一石英晶振的第一叉脚和第一石英晶振的第二叉脚上下相对配置，第二石英晶振的第一叉脚和第二石英晶振的第二叉脚左右相对配置；第二石英晶振的基座部配置于第一石英晶振的第一叉脚上，探针配置于第二石英晶振的第一叉脚上；第一石英晶振和第二石英晶振两者各叉脚的延伸方向相同，且两者的谐振频率不同。本发明的传感器具有结构简单的优点，且本发明的传感器具有两个维度原位激发/检测功能。
技术研发人员：彭平;兰永强
受保护的技术使用者：三明学院
技术研发日：2018.03.30
技术公布日：2018.11.06