用于提供位移信号的抗污染和缺陷光学编码器配置的制作方法

文档序号:16641026发布日期:2019-01-16 07:33阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种光学编码器配置包括标尺、照明源和光电检测器配置。照明源被配置为向标尺输出结构化照明。该标尺沿着测量轴方向延伸并且被配置为输出标尺光,该标尺光形成检测器条纹图案,该检测器条纹图案包括沿着测量轴方向在相对较长的尺寸上延伸的周期性高强度带和低强度带,并且沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向是相对窄且周期性的。当标尺光栅沿着测量轴方向移位时,高强度带和低强度带沿横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向移动。光电检测器配置被配置为检测沿检测到的条纹运动方向的高强度带和低强度带的位移,并提供指示标尺位移的相应空间相位位移信号。

技术研发人员:J.D.托比亚森;N.拉曼;木村彰秀;平田州
受保护的技术使用者:株式会社三丰
技术研发日:2018.06.29
技术公布日:2019.01.15
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