一种片上光学干涉式角速度传感模块的制作方法

文档序号:16590726发布日期:2019-01-14 19:05阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种片上光学干涉式角速度传感模块,包括分束模块,用于将输入光束等功率分束,模式转换模块,用于将输入的相向传输的两光束的其中一束由基横电模TE0转化为一阶横电模TE1,并在通过传感波导线圈之后再由TE1模式转化为TE0模式输出,而另一束光束则保持为TE0模式,并在通过传感波导线圈之后一直保持TE0模式输出,波导线圈模块,用来感应角速度信号以及实现双光束的固定相位差,干涉模块,用于将两束携带了角速度的相位信号的光束相互干涉,将相位信号转化为强度信号,本发明避免了相位调制器及环形器的使用。

技术研发人员:余宇;吴蓓蓓;张新亮
受保护的技术使用者:华中科技大学
技术研发日:2018.09.27
技术公布日:2019.01.11
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