技术特征：
技术总结
本发明属于湿度传感器技术领域，并公开了一种柔性湿度传感器的制备方法及产品。其制备方法包括以下步骤：(1)光刻和显影；(2)去残胶及活化柔性基底，以增强基底的粘附性；(3)溅射制备金属电极，将所述活化的基底表面溅射一层金属电极材料，从而得到具有呈阵列排布的金属电极结构的基底；(4)生长超亲水湿敏层，在基底表面沉积一层Cu种子层，水平放置在NaOH和(NH4)2S2O8混合溶液中，以在Cu种子层上生长超亲水Cu(OH)2纳米线。本发明还公开了一种湿度传感器。本发明所制备的湿度传感器具备柔性和透明、延展性能好、响应快、湿滞小、灵敏度高、重复性好、性能稳定等特性，且制备工艺简单、便于操控、成本低。
技术研发人员：廖广兰;方涵;林建斌;谭先华;史铁林
受保护的技术使用者：华中科技大学
技术研发日：2018.10.23
技术公布日：2019.04.05