高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法与流程

文档序号:16775747发布日期:2019-02-01 18:42阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法,该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成,所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头,所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件,反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本发明的测量装置及测量方法,克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。

技术研发人员:高爱华;侯劲尧;刘卫国;秦文罡;韦瑶
受保护的技术使用者:西安工业大学
技术研发日:2018.11.05
技术公布日:2019.02.01
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