多光谱传感器响应平衡的制作方法

光发射器可以发出被引导朝向对象的光。例如，在手势识别系统中，光发射器可以朝向用户发射近红外光，并且近红外光可以从用户朝向光接收器反射。在这种情况下，光接收器可以捕获关于近红外光的信息，并且该信息可以用于识别由用户正在执行的手势。例如，设备可以使用该信息来生成用户的三维表示，并基于该三维表示来识别由用户正在执行的手势。

在另一示例中，关于近红外光的信息可用于识别用户的身份、用户的特征(例如身高、体重、脉搏、血液氧合等)、另一类型的目标的特征(例如到对象的距离、对象的大小、对象的形状、对象的光谱特征等)等。然而，在近红外光朝向用户或对象的发射期间和/或在从用户或对象朝向光接收器的反射期间，环境光可能干扰近红外光。因此，光接收器可以光学地耦合到光滤波器，例如带通滤波器，以过滤环境光并允许近红外光朝向光接收器通过。另外或者可选地，当执行对多个波长的光的感测时，滤波器可以被提供来确保多个波长的光中的每一波长的光被引导到不同的传感器。

可以是光接收器的多光谱传感器设备可以被用于捕获关于多个波长的光的信息。多光谱传感器设备可以包括捕获信息并被耦合到多光谱滤波器的一组传感器元件(例如光传感器、光谱传感器、和/或图像传感器)。例如，传感器元件的阵列可以被用于捕获与多个频率相关的信息，并且多光谱滤波器可将与不同频率相关联的光引导到每个传感器元件。在一些情况下，单个滤波器可以被布置成覆盖传感器元件阵列中的每个传感器元件，并且可以形成传感器元件阵列的一组通道。

概述

根据一些可能的实现方式，光滤波器可以包括衬底。光滤波器可以包括第一反射镜。光滤波器可以包括第二反射镜。光滤波器可以包括间隔件。第一反射镜、第二反射镜、和间隔件可以形成多个分量滤波器。多个分量滤波器中的第一分量滤波器可以与第一横截面积相关联，并且多个分量滤波器中的第二分量滤波器与第二横截面积相关联。第一横截面积和第二横截面积可以被配置成使第一分量滤波器和第二分量滤波器响应平衡。

根据一些可能的实现方式，二元多光谱滤波器可以包括多个层。多个层可以包括与第一折射率相关联的一组高折射率层和与小于第一折射率的第二折射率相关联的一组低折射率层。多个层可以形成多个通道以引导多个波长的光。多个分量滤波器的可以对应于多个通道的多个横截面积被改变以将与多个通道相关联的响应配置为特定的响应。

根据一些可能的实现方式，系统可以包括被布置在衬底中的一组光传感器。该系统可以包括被沉积在衬底上的多光谱滤波器。多光谱滤波器可以包括被配置为形成对应于该组光传感器的多个通道的至少一层。多个通道的多个横截面积可以被配置成使该组光传感器响应平衡。

附图说明

图1是本文描述的多光谱滤波器的示例实现方式的图。

图2a和图2b是本文描述的关于多光谱滤波器的滤波器通道的响应平衡的示例实现方式的图。

图3是本文描述的多光谱滤波器的示例实现方式的图。

图4是包括本文描述的多光谱滤波器的光学系统的示例实现方式的图。

图5a和图5b是本文描述的多光谱滤波器的示例实现方式的图。

详细描述

以下示例实现方式的详细描述参考附图。在不同附图中的相同参考数字可以标识相同或相似的元件。

传感器元件(例如光传感器)可以被合并到光传感器设备内以获得关于一组电磁频率的信息(例如光谱数据)。例如，光传感器设备可以包括可以执行光的传感器测量的图像传感器、多光谱传感器等。光传感器设备可利用一种或更多种传感器技术，例如互补金属氧化物半导体(cmos)技术、电荷耦合器件(ccd)技术等。光传感器设备可以包括多个传感器元件(例如传感器元件的阵列)，每个传感器元件被配置成获得关于光的不同频率的信息。

传感器元件可以与对到传感器元件的光进行过滤的滤波器相关联。例如，传感器元件可以与线性可变滤波器(lvf)、圆形可变滤波器(cvf)、法布里-珀罗滤波器等对准，以使被朝向传感器元件引导的光的一部分被过滤。对于二元滤波器结构，例如法布里-珀罗滤波器，间隔件可以被定位于二元滤波器结构的反射器(例如反射镜)之间。反射器的层、间隔件的层等的折射率、厚度等的配置可以使二元滤波器结构的配置能够形成一组通道。通道可以包括将光引导到传感器元件阵列中的传感器元件的滤波器的一部分。以这种方式，传感器元件阵列可以获得关于多个不同波长的光的信息。

然而，传感器元件可以与用于第一波长的光的第一传感器响应度和用于第二波长的光的第二传感器响应度相关联。类似地，滤波器可以与用于使第一波长的光穿过的第一滤波器响应度和用于使第二波长的光穿过的第二滤波器响应度相关联。此外，在一些情况下，光源可以以不同波长的光提供不同水平的通量。从而，第一波长的光的光功率可能超过与第一传感器元件相关联的最大光功率阈值，这可能导致不足的信噪比用于第一传感器元件来执行对第一波长的光的准确测量。相反，第二波长的光的光功率可能小于与第二传感器元件相关联的最小光功率阈值，这可能导致不足的信噪比用于第二传感器元件来执行对第二波长的光的准确测量。此外，由于假信号效应、串扰效应、和散焦效应，饱和传感器元件(例如，接收大于阈值的辐射能的传感器元件)可以将电荷分配给相邻的传感器元件，而这可能降低测量的准确性。

在一些情况下，增益平坦滤波器可以被布置在光路中以通过使穿过增益平坦滤波器的光衰减来避免在第一波长的光和第二波长的光的光功率之间的不匹配。以这种方式，增益平坦滤波器可以防止第一波长的光超过最大光功率阈值，但是可以进一步降低第二波长的光的光功率。为了补偿第二波长的光的降低的光功率，可以增加传感器元件阵列的曝光时间以增加由第二传感器元件测量的第二波长的光的量。然而，增加曝光时间可能导致执行测量的过多的时间、与杂散光的捕获相关的不准确性等。

本文所述的一些实现方式提供了具有集成响应平衡的多光谱滤波器阵列。在这种情况下，多光谱滤波器阵列可以被配置有不同尺寸的通道(例如，具有第一横截面积的关于第一波长的光的第一通道和具有第二横截面积的关于第二波长的光的第二通道)，以平衡被引导到传感器元件阵列中的传感器元件的波长的光的光功率。以这种方式，可以为传感器元件阵列提供多光谱滤波器阵列，其提高了传感器元件阵列的测量的信噪比，提高了传感器元件阵列的准确度，减少了传感器元件阵列的曝光时间等。此外，多光谱滤波器可以通过降低传感器元件饱和的可能性、传感器元件的电荷到相邻的传感器元件的分布等来降低假信号效应、串扰效应、和散焦效应的可能性。

图1是本文描述的示例实现方式100的图。如图1中所示，多光谱滤波器105(例如，二元结构光滤波器阵列)可以包括第一反射镜110-1、第二反射镜110-2、和间隔件120。

如在图1中进一步所示的，第一反射镜110-1和第二反射镜110-2可以将间隔件120夹在中间。换句话说，间隔件120可以将第一反射镜110-1和第二反射镜110-2间隔开阈值距离，和/或间隔件120的端面可以被第一反射镜110-1和第二反射镜110-2包围。在一些实现方式中，反射镜110可以与特定材料相关联。例如，反射镜110可以包括一组金属反射镜层(例如银)、一组介质反射镜层(例如交替的氢化硅层和二氧化硅层)等，以将从光源引导的光的一部分引导到与多光谱滤波器105相关联的传感器元件。反射镜110可以与和多光谱滤波器105的每个通道相关联的传感器元件阵列中的每个传感器元件对准。

在一些实现方式中，间隔件120可以包括一个或更多个间隔件层130。例如，间隔件120可包括一组间隔件层130-1至130-5(例如介质层)。在一些实现方式中，一个或更多个间隔件层130的厚度可以与针对特定波长确保最小间隔件厚度相关联。在一些实现方式中，间隔件120可以与单腔构造相关联。在一些实现方式中，间隔件120可以与多腔构造相关联。

在一些实现方式中，多光谱滤波器105可以被沉积到与光传感器设备相关联的衬底上。例如，反射镜110-1可以被沉积(例如，通过沉积工艺和/或光刻剥离工艺)到包括传感器元件的阵列的衬底上，以捕获信息(例如光谱数据)。在一些实现方式中，间隔件120可以允许与多个波长相关的信息的捕获。例如，间隔件120的与第一传感器元件对准的第一部分可以与第一厚度相关联，并且间隔件120的与第二传感器元件对准的第二部分可以与第二厚度相关联。在这种情况下，被引导朝向第一传感器元件和第二传感器元件的光可以基于第一厚度而对应于在第一传感器元件处的第一波长以及基于第二厚度而对应于在第二传感器元件处的第二波长。以这种方式，多光谱滤波器105允许由使用与和多个厚度相关联的，和光传感器设备的多个传感器元件对准的多个部分相关联的间隔件(例如间隔件120)的光传感器设备进行多光谱感测。

在一些实现方式中，多光谱滤波器105可以与对应于一组分量滤波器的一组通道相关联。例如，多光谱滤波器105可以与和第一传感器元件对准的第一通道相关联，以将第一波长的光引导到第一传感器元件，并且第一通道可以由第一分量滤波器形成。在这种情况下，第一分量滤波器可以是多光谱滤波器105的一部分。类似地，多光谱滤波器105可以包括与第二传感器元件对准的第二通道，以将第二波长的光引导到第二传感器元件，并且第二通道可以由第二分量滤波器形成。

在一些实现方式中，多光谱滤波器105的第一通道相比于和多光谱滤波器105的第二分量滤波器可以与不同的横截面积相关联。例如，基于传感器元件阵列对第一波长和第二波长的响应度、多光谱滤波器105对第一波长和第二波长的响应度、第一层和第二层的通量和/或等等，第一分量滤波器和第二分量滤波器的相应横截面积可以被配置成使第一传感器元件响应平衡到在第二传感器元件的输出的阈值量内。在一些实现方式中，第一传感器元件可以被响应平衡到在通道之间的大约20％的差异内、在通道之间的大约15％的差异内、在通道之间的大约10％的差异内、在通道之间的大约5％的差异内、在通道之间的大约1％的差异内、在通道之间的大约0.5％的差异内和/或等等。

以这种方式，多光谱滤波器105被响应平衡，以相对于对于每个通道具有相等横截面积的另一多光谱滤波器提高关于使用与多光谱滤波器105相关联的每个传感器元件执行的测量的信噪比。此外，与用于响应平衡的其他技术相比，基于使用不同的横截面积来执行响应平衡，多光谱滤波器105可以与降低的成本、降低的复杂性、减少的曝光时间等相关联。

如上面所指示的，图1仅作为示例被提供。其它示例是可能的，并且可以不同于关于图1描述的示例。

图2a和图2b是本文描述的示例实现方式200/200’的图。如图2a中所示，多光谱滤波器可以包括由第一分量滤波器210形成的针对第一波长的第一通道和由第二分量滤波器220形成的针对第二波长的第二通道。

如在图2a中进一步示出的，每个分量滤波器可以与传感器元件阵列中的传感器元件对准。例如，分量滤波器210可以与传感器元件230-1对准，以及分量滤波器220可以与传感器元件230-2对准。在一些实现方式中，分量滤波器的尺寸可以不同，以使与传感器元件230相关联的响应平衡。例如，每个分量滤波器的尺寸可以基于下列函数来确定：

f1*a1*t1*r1＝f2*a2*t2*r2(1)

其中f表示被引导朝向分量滤波器的输入通量(来自光240-1和光240-2)，a表示分量滤波器的横截面积，t表示分量滤波器用于将波长朝向传感器元件引导的滤波器响应度(例如透射率)，以及r表示在由分量滤波器引导到传感器元件的波长下传感器元件的传感器响应度。在这种情况下，对于以被引导到分量滤波器210的第一波长和以被引导到分量滤波器220的第二波长进行的相等功率的输入通量(f210＝f220)，可以确定分量滤波器210与分量滤波器220的面积比：

在这种情况下，可以选择每个面积以满足(2)并且使得被引导到每个传感器元件的光功率的量不超过最大功率阈值并且不小于最小功率阈值(例如，传感器元件不饱和并且相对于非响应平衡传感器元件不太可能引起例如串扰)。以这种方式，可以选择分量滤波器210和分量滤波器220的相应面积，以实现跨越相应通道的相等能量平衡(e210＝e220，其中e是通道的能量)。

尽管本文描述的一些实现方式从相等功率的输入通量方面进行描述的，但是在不同波长下的不同功率的输入通量也许是可能的，并且不同的通道可以与不同的横截面积相关联，以使不同功率的输入通量响应平衡。而且，本文所述的一些实现方式是从使一组两个通道响应平衡方面进行描述的，然而额外数量的通道，例如多光谱滤波器的32个通道、64个通道、128个通道等，可以是响应平衡的。

在一些实现方式中，例如分量滤波器210和分量滤波器220的横截面积可以被配置成实现不相等的响应。例如，对于传感器元件的不相等的期望能量响应(例如，以使第一传感器元件具有比第二传感器元件更大的能量响应)，横截面积可以被配置成产生期望能量响应。以这种方式，另一种类型的可配置能量响应是可能的(例如，非响应平衡的能量响应)，以实现特定的光学功能。

如图2b中所示，不是单个孔径形成分量滤波器220，多个孔径可以共同形成具有面积a220’的分量滤波器220’。在这种情况下，总面积a220’可以与面积a220相同，这可以导致示例分量滤波器220’能够响应平衡分量滤波器210(类似于分量滤波器220响应平衡分量滤波器210)。在一些实现方式中，形成分量滤波器220’的每个孔径可以是相同面积。在一些实现方式中，形成分量滤波器220’的第一孔径可以是第一面积，以及形成分量滤波器220’的第二孔径可以是第二面积。

如上面所指示的，图2a和图2b仅作为示例被提供。其它示例是可能的，并且可以不同于关于图2a和图2b描述的示例。

图3是示例性光滤波器300的图。图3示出了本文所述的具有引导光的多个通道的光滤波器的示例叠层。如图3中进一步所示，光滤波器300包括光滤波器涂层部分310和衬底320。

光滤波器涂层部分310包括一组光滤波器层。例如，光滤波器涂层部分310包括第一组层330-1至330-n+1(n≥1)和第二组层340-1至340-n。在另一示例中，光滤波器涂层部分310可以是单一类型的层(例如一个或更多个层330)、三种或更多种类型的层(例如一个或更多个层330、一个或更多个层340、以及一个或更多个一种或更多种其它类型的层)等。在一些实现方式中，层330可以包括一组高折射率材料层(h层)，例如硅层、氢化硅层、硅锗(sige)层、氢化锗层、氢化硅锗层等。尽管一些层可以被描述为特定材料，例如sige，但是一些层可以包括(少量)磷光体、硼、氮化物等。在一些实现方式中，层340可以包括一组低折射率材料层(l层)，例如二氧化硅层等。另外或者可选地，l层可以包括氮化硅层、五氧化二钽(ta2o5)层、五氧化二铌(nb2o5)层、二氧化钛(tio2)层、氧化铝(al2o3)层、氧化锆(zro2)层、氧化钇(y2o3)层、氮化硅(si3n4)层、其组合和/或等。

在一些实现方式中，光滤波器涂层部分310可以与特定数量m的层相关联。例如，基于氢化硅锗的光滤波器可以包括大量交替的高折射率层和低折射率层，例如2层至200层的范围。在一些实现方式中，光滤波器涂层部分310可以使用溅射过程来制造。例如，如在本文所述的，光滤波器涂层部分310可以使用基于脉冲磁控管的溅射过程来制造，以在玻璃衬底或另一类型的衬底上溅射交替层330和340。在一些实现方式中，多个阴极可以被用于溅射过程，例如第一阴极用于溅射硅以及第二阴极用于溅射锗，从而形成硅锗层。

在一些实现方式中，光滤波器涂层部分310可以使用一个或更多个退火过程(例如在大约280摄氏度或在大约200摄氏度与大约400摄氏度之间的温度下的第一退火过程、在大约320摄氏度或在大约250摄氏度与大约350摄氏度之间的温度下的第二退火过程等)来退火。

在一些实现方式中，光滤波器涂层部分310的每一层可与特定厚度相关联。例如，层330和340可以每个与在1nm和1500nm之间的厚度、在10nm和500nm之间的厚度和/或等等相关联。此外或可选地，光滤波器涂层部分310可以与在0.1μm和100μm之间、在0.25μm和100μm之间和/或等等的厚度相关联。在一些实现方式中，层330和340中的至少一个可以每个与小于1000nm、小于100nm、或小于5nm和/或等等的厚度相关联。此外或可选地，光滤波器涂层部分310可以与小于100μm、小于50μm、小于10μm和/或等等的厚度相关联。在一些实现方式中，层可以与多个不同的厚度相关联。例如，为了形成一组通道，可以改变特定层(例如，布置在一组反射器之间的间隔件层)的厚度，以使不同波长的光经由不同的通道被引导到不同的传感器元件。

在一些实现方式中，光滤波器300可以与特定光谱范围(例如近红外光谱范围、中红外光谱范围等)相关联。例如，光滤波器300可以与从大约600nm到大约2500nm、从大约700nm到大约2000nm、从大约900nm到大约1500nm等的光谱范围相关联。

在一些实现方式中，每个通道的横截面积可以变化。例如，由第一分量滤波器形成的第一通道(例如，光滤波器300的具有第一厚度的第一区域)可以与第一横截面积相关联，并且由第二分量滤波器形成的第二通道(例如，光滤波器300的具有第二厚度的第二区域)可以与第二横截面积相关联。以这种方式，不同通道的不同横截面积可用于使不同通道的传感器元件的响应平衡。在一些实现方式中，光滤波器300的分量滤波器的横截面积可以改变阈值量。例如，第一分量滤波器可以与比第二分量滤波器的横截面积大大约1％、大约5％、大约10％、大约20％、大约50％、大约100％、大约200％等的横截面积相关联。

在一些实现方式中，多个通道可以与公共波长相关联。例如，第一通道可以与和第二通道相同的厚度以及与第三通道不同的厚度相关联。在这种情况下，第一通道和第二通道可以与第一波长相关联，并且第三通道可以与第三波长相关联。共同地，第一通道和第二通道的净面积可以基于第三通道的面积来配置，以使在与第一通道、第二通道、和第三通道相关联的传感器元件之间的响应平衡。以这种方式，形成多个通道的多个分量滤波器可以与净横截面积相关联，该净横截面积与另一个通道平衡，以使传感器元件对不同通道的响应平衡。

尽管是从二元多光谱滤波器方面描述本文所述的一些实现方式的，但是可使用具有用于分量滤波器的不同横截面积的另一种类型的多光谱滤波器，例如单层聚合物多光谱滤波器、多层聚合物多光谱滤波器、有机染料多光谱滤波器等。

如上面所指示的，图3仅作为示例被提供。其它示例是可能的，并且可以不同于关于图3描述的示例。

图4是本文描述的示例实现方式400的图。如图4中所示，示例实现方式400包括传感器系统410。传感器系统410可以是光学系统的一部分，并且可以提供与传感器决定相对应的电输出。例如，传感器系统410可以是生物测定系统、安全系统、健康监测系统、对象识别系统、光谱识别系统等的一部分。传感器系统410包括光滤波器结构420，光滤波器结构420包括光滤波器430和一组光传感器440(例如传感器元件阵列)。例如，光滤波器结构420可以包括执行阻挡功能等的光滤波器430。传感器系统410包括朝向目标460(例如，人、对象等)发射光信号的光发射器450。

尽管本文描述的实现方式可以从传感器系统中的光滤波器方面进行描述，但是本文描述的实现方式可以在另一种类型的系统中被使用，可以在传感器系统的外部被使用等。

在一些实现方式中，可以使用光滤波器430和光传感器440的另外的布置。例如，光滤波器430可在朝向不同位置的光传感器440的另一方向上引导光信号的第二部分，而不是与输入光信号共线地使光信号的第二部分通过。在一些实现方式中，光传感器440可以是雪崩光电二极管、砷化铟镓(ingaas)检测器、红外检测器等。

如在图4中并且由参考数字470进一步所示的，输入光信号被引导朝向光滤波器结构420。输入光信号可以包括由光发射器450发出的近红外光、中红外光等以及来自传感器系统410正在其中进行使用的环境的环境光。例如，当光滤波器430是带通滤波器时，光发射器450可以朝向用于进行光谱测量的对象来引导近红外光，并且近红外光可以从目标460(例如对象)朝向光传感器440反射离开，以允许光传感器440执行近红外光的测量。在这种情况下，环境光可以从一个或更多个环境光源(例如灯泡或太阳)被引导朝向光传感器440。

在另一个示例中，多个光束可以被引导朝向目标460，并且多个光束的子集可以被反射朝向光滤波器结构420，光滤波器结构420可以被布置成相对于光传感器440成一倾斜角度，如所示。在一些实现方式中，可以使用另一倾斜角度。在一些实现方式中，光滤波器结构420可以直接被布置和/或直接被形成到光传感器440上，被布置在距光传感器440一段距离处(例如，通过自由空间光学器件)等。例如，可以使用例如光刻法、溅射沉积技术(例如，使用氩气和氦气作为用于溅射沉积的惰性气体混合物)等来将光滤波器结构420涂覆并图案化到光传感器440上。

在另一示例中，光发射器450可以将近红外光引导朝向另一类型的目标460，例如用于在手势识别系统中检测手势、检测在车辆附近的对象、检测在盲人附近的对象、检测到对象的接近度(例如，使用激光雷达技术)等，并且从而，近红外光和环境光可以被引导朝向光传感器440。

在一些实现方式中，光信号的一部分通过光滤波器430和光滤波器结构420。例如，光滤波器430的交替的高折射率材料层和低折射率材料层可以使光的第一部分被反射以及光的第二部分通过。在这种情况下，光滤波器430可以包括使用多个分量滤波器而形成的多个通道，并且每个通道可以使不同波长的光通过。另外或者可选地，两个或更多个通道可以使公共波长的光通过。

如在图4中并由参考数字480进一步所示的，基于光信号的正在通过的到光传感器440的部分，光传感器440可以为传感器系统410提供输出电信号180，例如用于执行光谱测量、识别用户的手势、检测对象的存在等。基于配置对应于每个通道的分量滤波器的横截面积，光传感器440的响应被平衡，从而相对于在传感器元件阵列中的过度曝光或曝光不足的传感器元件提高了测量准确度。

如上面所指示的，图4仅作为示例被提供。其它示例是可能的，并且可以不同于关于图4描述的示例。

图5a和图5b是本文描述的示例实现方式500/500’的图。如图5a中所示，示例实现方式500可以包括具有形成多个通道的多个分量滤波器520的光滤波器510。

如在图5a中进一步示出的，每个分量滤波器520可以与被引导到与每个分量滤波器520对准的相应传感器元件的特定波长的光相关联。例如，第一分量滤波器520可以与使具有950纳米(nm)的波长的光通过相关联，第二分量滤波器520可以与使具有960nm的波长的光通过相关联等。如所示，分量滤波器520可以针对不同波长与不同滤波器响应度、不同传感器元件响应度等相对应的不同尺寸相关联，以使不同传感器元件响应平衡。如所示，一些波长可以通过多个分量滤波器520而被引导至一个或更多个传感器元件。例如，一组两个分量滤波器520可以与使与1090nm的波长相关联的光通过相关联，以使差分传感器元件响应平衡。

如图5b中所示，多个分量滤波器520可以与公共波长λ1(例如1090nm)相关联。在这种情况下，与公共波长相关联的每个分量滤波器520可以与不同的面积(例如，分别a1、a2、a3、和a4)相关联。基于包括具有不同面积的多个分量滤波器520以接收与公共波长相关联的光，示例实现方式500’使能够多次采样与公共波长相关联的光的信号电平(asignallevelofthelight)，从而实现高动态范围(hdr)成像。

如上面所指示的，图5a和图5b仅作为示例被提供。其它示例是可能的，并且可以不同于关于图5a和5b描述的示例。

以这种方式，多光谱滤波器可以包括分量滤波器和对应通道的变化的横截面积，以使与分量滤波器和对应通道相关联的传感器元件响应平衡。以这种方式，相对于上述其他感测技术和/或响应平衡技术，多光谱滤波器可以提高由传感器元件进行的感测的准确度、减少执行测量的曝光时间、降低成本、减小尺寸等。

前述公开提供了说明和描述，但并非旨在穷尽实现方式或将实现方式限制到所公开的精确形式。根据上面的公开进行修改和变化是可能的，或修改和变化可以从实现方式的实践中被获得。

本文结合阈值描述了一些实现。如本文所使用的，满足阈值可以指值大于阈值、多于阈值、高于阈值、大于或等于阈值、小于阈值、少于阈值、低于阈值、小于或等于阈值、等于阈值等。

即使在权利要求中列举了和/或在说明书中公开了特征的特定组合，这些组合也并不旨在限制可能的实现方式的公开。事实上，这些特征中的许多可以以权利要求中未具体列举的和/或在说明书中未公开的方式组合。尽管所列出的每个从属权利要求可以直接从属于仅仅一个权利要求，但是可能的实现的公开包括与权利要求组中的每个其他权利要求组合的每个从属权利要求。

除非明确如此说明，否则本文使用的任何元素、动作、或指令都不应被解释为关键或必要的。此外，如本文所使用的，冠词“一(a)”和“一(an)”旨在包括一个或更多个项，并且可以与“一个或更多个(oneormore)”可互换地使用。此外，如本文所使用的，术语“组(set)”旨在包括一个或更多个项(例如，相关项、不相关项、相关项和不相关项的组合等)，并且可以与“一个或更多个(oneormore)”可互换地使用。在仅仅一个项被预期的情况下，术语“一个(one)”或类似的语言被使用。此外，如本文所使用的，术语“具有(has)”、“具有(have)”、“具有(having)”等旨在是开放式的术语。此外，除非另有明确说明，否则“基于(basedon)”一词旨在表示“至少部分基于(based,atleastinpart,on)”。