一种基于信息工程的MEMS压力传感器的制作方法

文档序号:15648485发布日期:2018-10-12 22:52阅读:308来源:国知局

本实用新型涉及传感器领域,特别涉及一种基于信息工程的MEMS压力传感器。



背景技术:

压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,通常由压力敏感元件和信号处理单元组成,是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业;传统的压力传感器在使用时存在一定的弊端;如压力信号转换比较麻烦,同时需要提供能量,且可测压力范围较小,另外压力过大时可能造成传感器损坏,为此,我们提出了一种基于信息工程的 MEMS压力传感器。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种基于信息工程的MEMS压力传感器。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

本实用新型一种基于信息工程的MEMS压力传感器,包括保护盒与微控开关,所述保护盒的下端内表面固定安装有杠杆底座,且杠杆底座的上方设置有杠杆,所述杠杆的外表面中间位置处设置有一号活动轴,且杠杆通过一号活动轴与杠杆底座活动连接,所述杠杆的上端外表面一侧固定安装有固定底座,且杠杆上端外表面另一侧设置有弹簧底座,所述弹簧底座的上方设置有二号活动轴与弹簧,且二号活动轴的外表面中间位置处设置有固定圆环,所述保护盒的上端内表面固定安装有活动轴导向块,所述微控开关固定安装于保护盒的一侧内表面,且微控开关的下端内表面设置有固定架,所述固定架的中间位置设置有铁芯导向轴,且铁芯导向轴的内部设置有电磁铁芯,所述铁芯导向轴的上端外表面设置有绝缘转换盒,且绝缘转换盒的一侧内表面设置有固定挡板,所述固定挡板的下端外表面设置有应变片,所述绝缘转换盒的前端内表面设置有信号放大器,所述保护盒的外表面边缘位置处设置有紧固件。

优选的,所述二号活动轴贯穿于活动轴导向块与保护盒,且二号活动轴通过弹簧与保护盒活动连接。

优选的,所述电磁铁芯贯穿于铁芯导向轴,且电磁铁芯通过铁芯导向轴与绝缘转换盒活动连接。

优选的,所述绝缘转换盒的外表面设置有数据传输线,且绝缘转换盒通过数据传输线与微控开关电性连接。

优选的,所述所述绝缘转换盒的另一侧内表面设置有导线接口,所述信号放大器的两侧均设有导线,且信号放大器通过导线与导线接口电性连接。

优选的,所述保护盒的前端内表面固定安装有信号处理器,所述微控开关通过数据传输线与信号处理器电性连接。

本实用新型所达到的有益效果是:该基于信息工程的MEMS压力传感器,通过设有的微控开关和其内部的绝缘转换盒,在不需要外界对其供电的情况下将压力转换为电信号,另外利用杠杆原理将较大的压力转换变小,使得整个装置能够测量更大的压力,设有的保护盒对整个装置起到了保护作用,避免由于压力过大损坏传感器,整个信息工程的MEMS压力传感器结构简单,操作方便,使用的效果相对于传统方式更好。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是本实用新型的局部示意图;

图3是本实用新型的图2中A处的局部放大图;

图4是本实用新型的图3中B处的局部放大图。

图中:1、微控开关;2、电磁铁芯;3、固定底座;4、一号活动轴;5、杠杆底座;6、杠杆;7、弹簧底座;8、弹簧;9、固定圆环;10、二号活动轴; 11、活动轴导向块;12、数据传输线;13、信号处理器;14、保护盒;15、紧固件;16、铁芯导向轴;17、绝缘转换盒;18、固定架;19、固定挡板;20、应变片;21、信号放大器;22、导线接口。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1-4所示,一种基于信息工程的MEMS压力传感器,包括保护盒14与微控开关1,保护盒14的下端内表面固定安装有杠杆底座5,且杠杆底座5的上方设置有杠杆6,杠杆6的外表面中间位置处设置有一号活动轴4,且杠杆6 通过一号活动轴4与杠杆底座5活动连接,杠杆6的上端外表面一侧固定安装有固定底座3,且杠杆6上端外表面另一侧设置有弹簧底座7,弹簧底座7的上方设置有二号活动轴10与弹簧8,且二号活动轴10的外表面中间位置处设置有固定圆环9,保护盒14的上端内表面固定安装有活动轴导向块11,微控开关 1固定安装于保护盒14的一侧内表面,且微控开关1的下端内表面设置有固定架18,固定架18的中间位置设置有铁芯导向轴16,且铁芯导向轴16的内部设置有电磁铁芯2,铁芯导向轴16的上端外表面设置有绝缘转换盒17,且绝缘转换盒17的一侧内表面设置有固定挡板19,固定挡板19的下端外表面设置有应变片20,绝缘转换盒17的前端内表面设置有信号放大器21,保护盒14的外表面边缘位置处设置有紧固件15。

二号活动轴10贯穿于活动轴导向块11与保护盒14,且二号活动轴10通过弹簧8与保护盒14活动连接;电磁铁芯2贯穿于铁芯导向轴16,且电磁铁心2通过铁芯导向轴16与绝缘转换盒17活动连接;绝缘转换盒17的外表面设置有数据传输线12,且绝缘转换盒17通过数据传输线12与微控开关1电性连接;绝缘转换盒17的另一侧内表面设置有导线接口22,信号放大器21的两侧均设有导线,且信号放大器21通过导线与导线接口22电性连接;保护盒14的前端内表面固定安装有信号处理器13,微控开关1通过数据传输线12与信号处理器13电性连接。

需要说明的是,本实用新型为一种基于信息工程的MEMS压力传感器当有一定的压力下压二号活动轴10,二号活动轴10沿着活动轴导向块11向下压缩,通过固定于二号活动轴10表面的固定圆环9压缩弹簧8,再通过弹簧底座7下压杠杆6,由于杠杆6通过一号活动轴4活动安装于杠杆底座5上,所以杠杆6 的另一端翘起,此时设置于杠杆6表面的固定底座3压缩微控开关1内部的电磁铁芯2,电磁铁芯2沿着固定于固定架18中间位置的铁芯导向轴16挤压绝缘转换盒17设置于固定挡板19表面的应变片20,电磁铁芯2在线圈中运动,产生感应电流,由于应变片20受到挤压发生形变电阻发生变化,电路电流发生变化,信号放大器21将细微变化的电流捕捉并且放大后通过数据传输线12传送给信号处理器13,信号处理器13进行处理运算显示实时压力大小,紧固件 15方便保护盒14的固定,保护盒14对整个装置起到了保护作用,避免由于压力过大损坏传感器,较为实用。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1