MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路以及MEMS陀螺的制作方法

文档序号:15647583发布日期:2018-10-12 22:46阅读:228来源:国知局

本实用新型涉及MEMS陀螺,具体涉及一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路。



背景技术:

MEMS陀螺即硅微机电陀螺,其的工作原理可参见图1:当一个物体m沿x方向运动且在z方向施加角旋转速率时,物体m将在y方向受到力,xyz三个方向互相垂直。物体m将在y方向受到的力就是哥氏力f,且有f=2mΩv,其中m是物体质量, Ω是绕z轴的角速度,v是水平方向运动速度。参见图2,现在公开的MEMS陀螺信号处理电路通常分2部分,一部分输出振动信号,另外一部分输出检测信号,根据MEMS陀螺的机械特性,振动信号与检测信号相位相差90°,因此需要将振动信号进行90°移相后与检测信号相乘解调出角速度信号,然后做ADC采样变换、滤波、补偿等处理得到最终输出的角速度数字信号。但是,现在公开的电路通过乘法器解调出陀螺角速度信号,对相位特别敏感。0.1°相位误差可能会相当引起1°每秒的零位误差(标度10mv度每秒为10mv)。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题:针对现有技术的上述问题,提供一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路以及MEMS陀螺,本实用新型不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差,具有检测精确高的优点。

为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:

本实用新型提供一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,包括过零检测电路和ADC采样变换电路,所述过零检测电路的输入端与MEMS陀螺的振动信号输出端相连,所述过零检测电路的输出端与ADC采样变换电路的控制端相连,所述ADC采样变换电路的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连。

优选地,所述ADC采样变换电路的输出端还连接有滤波电路。

优选地,所述ADC采样变换电路的输出端还连接有补偿电路。

本实用新型还提供一种MEMS陀螺,包括带有驱动电路和检测电路的MEMS陀螺本体,所述驱动电路和检测电路的输出端连接有前述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,所述驱动电路的输出端与过零检测电路的输入端相连,所述检测电路的输出端ADC采样变换电路的输入端相连。

本实用新型具有下述优点:针对传统MEMS陀螺信号处理电路对相位特别敏感的缺陷,本实用新型利用MEMS陀螺中驱动信号和检测信号相位相差90°特性以及驱动信号不变特性,驱动信号零点正好是角速度信号峰值点,在驱动信号零点时刻抽取检测信号幅度,不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差,本实用新型电路与传统的乘法解调电路相比相同条件下0.1°相位误差只引起0.002°的零位误差(标度10mv度每秒为0.17mv),0.1°的相位误差造成的标度误差也小于0.2%,具有检测精确高的优点。

附图说明

图1为目前MEMS陀螺的工作原理示意图。

图2为现有的MEMS陀螺信号处理电路的框架结构示意图。

图3为本实用新型实施例电路的框架结构示意图。

具体实施方式

本实施例中MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法的实施步骤包括:

1)获取MEMS陀螺的振动信号;

2)针对所述振动信号进行过零检测,在振动信号的零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号进行ADC变换采样后输出。

本实施例中,步骤1)中获取MEMS陀螺的振动信号的函数表达式如式(1)所示;步骤2)中MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号的函数表达式如式(2)所示;

s1=Asinωt (1)

s2=Bsinωt+Csin(ωt-π/2) (2)

式(1)和式(2)中,s1为振动信号,A为振动信号的幅值,ω为角频率,s2为MEMS陀螺输出的混合有振动信号的检测信号,B为耦合的驱动信号幅度,C为检测信号的幅度。因为制造工艺限制,B耦合幅度做不到零,B会引起很大的零位误差和零位漂移,本实用新型在t=0精确采样,此刻正好是耦合信号的零点并且是有用角速度信号最大值点。参见式(1)和式(2)可知,振动信号s1的过零时刻s1=0,此时sinωt=0,并且ωt=0,这时混合有振动信号的检测信号s2=-C,因此可以利用MEMS陀螺中驱动信号和检测信号相位相差90°特性以及驱动信号不变特性,驱动信号零点正好是角速度信号峰值点,在驱动信号零点时刻抽取检测信号幅度,不仅省去了乘法解调电路,并且可以减少信号畸变引起的误差。 经试验证明,本实施例的方法与传统的乘法解调电路相比相同条件下0.1°相位误差只引起0.002°的零位误差(标度10mv度每秒为0.17mv),0.1°的相位误差造成的标度误差也小于0.2%,具有检测精确高的优点。

本实施例中,步骤2)中进行ADC变换采样后、输出之前还包括进行滤波的步骤。

本实施例中,步骤2)中进行ADC变换采样后、输出之前还包括进行补偿的步骤。

如图3所示,本实施例提供一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,包括过零检测电路1和ADC采样变换电路2,过零检测电路1的输入端与MEMS陀螺的振动信号输出端相连,过零检测电路1的输出端与ADC采样变换电路2的控制端相连,ADC采样变换电路2的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连。

本实施例中,ADC采样变换电路2的输出端还连接有滤波电路3。

本实施例中,ADC采样变换电路2的输出端还连接有补偿电路4。

如图3所示,本实施例提供一种MEMS陀螺,包括带有驱动电路5和检测电路6的MEMS陀螺本体(包括振动质量块和驱动选择开关、检测选择开关),驱动电路5和检测电路6的输出端连接有前述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路,驱动电路5的输出端与过零检测电路1的输入端相连,检测电路6的输出端ADC采样变换电路2的输入端相连。驱动电路5和检测电路6均为现有常规电路,其并不在本实施例MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路的改进之列,故在此不再详述其结构组成,且驱动电路5和检测电路6的实现并不局限于图2和图3所示的特定结构。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

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