一种显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统的制作方法

文档序号:16005382发布日期:2018-11-20 19:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统,其特征在于:所述的测量系统包括棱镜,在正对棱镜底面的位置放置待测量样品,在正对棱镜顶面的位置从下到上依次放置偏振片和带镜头的工业相机,在正对棱镜一侧面的位置从近到远依次放置远心镜头和投影仪。

2.根据权利要求1所述的显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统,其特征在于:所述的工业相机、偏振片和棱镜分别通过一个可活动的支撑环安装在同一根立柱上。

3.根据权利要求2所述的显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统,其特征在于:所述的远心镜头单独通过一个可活动的支撑环安装在另一根立柱上。

4.根据权利要求3所述的显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统,其特征在于:所述的待测量样品放置在三轴位移平台上。

5.根据权利要求4所述的显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统,其特征在于:所述的投影仪安装在升降平台上。

6.根据权利要求5所述的显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统,其特征在于:所述的两根立柱、三轴位移平台和升降平台均安装在一块丝孔板上。

7.根据权利要求6所述的显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统,其特征在于:所述的工业相机与计算机相连接。

8.根据权利要求7所述的显微数字投影结构光照明微小物体三维形貌测量系统,其特征在于:所述的投影仪为短焦高清无线投影仪,该投影仪发出的是黑白光栅条纹。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1