技术总结
本实用新型提供了一种超精密三坐标测试平台，包括：基座和支承件连接件，支承件连接件上安装有方形平板真空预压气浮支承件；支承件连接件由X向直线电机驱动；固定在支承件连接件顶部的第一Z向立柱及安装在一侧的第二Z向立柱，第二Z向立柱的底部安装有圆形平板真空预压气浮支承件；Z向立柱上安装有Z向直线电机，第一真空预压气浮组件与Z向直线电机连接；龙门横梁固定在两个第一真空预压气浮组件之间，Y向直线电机安装在龙门横梁上并与第二真空预压气浮组件连接。本超精密三坐标测试平台采用真空预压气浮技术实现检测平台在X、Y、Z向上的无摩擦快速移动，Z向采用双向真空预压气浮组件并通过直线电机直接驱动，减少了Z向的阿贝误差。
技术研发人员：赵休金;刘震
受保护的技术使用者：深圳市金园智能科技有限公司
技术研发日：2018.06.28
技术公布日：2019.02.15