技术总结
本实用新型公开了一种制备工艺简单、可靠性高、绿色环保以及低成本的多轴纸基加速度传感器，包括单轴纸基加速度传感器和纸基制成的安装载体；所述单轴纸基加速度传感器配置有至少两个，各所述单轴纸基加速度传感器各自独立运行；所述安装载体上配置有两轴安装部或三轴安装部，两个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述两轴安装部上；或三个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述三轴安装部上。本实用新型的多轴纸基加速度传感器，利用纸基易折叠变形的特点，能够降低制备工艺的难度，以及纸基的环保特性，相较于传统的硅基加速度传感器不影响其灵敏度的前提下降低了成本，同时不会对环境造成污染，绿色环保。
技术研发人员：翟荣安;马海波;刘新宇;汝长海;孙钰
受保护的技术使用者：江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
技术研发日：2018.12.27
技术公布日：2019.08.02