真空泵、主传感器及螺纹槽定子的制作方法

本发明涉及用于检测堆积物达到既定的厚度的主传感器、具有该主传感器的真空泵及真空泵的螺纹槽定子。

背景技术：

在半导体制造装置中，在半导体的制造时，借助真空泵从反应装置排出粉状的反应性物质、气体状的反应原料。被从反应装置排出的反应性物质等通过真空泵内的流路，但此时向流路的壁面析出。若这样的析出物大量堆积，则真空泵内的气体的流动变乱，或堆积物与旋转部碰撞而破损。

因此，例如，在专利文献1、2中，公开了一种真空泵，前述真空泵为了在对于运转发生妨碍前防范于未然地进行真空泵内的维护，在真空泵的流路设置静电容量型膜厚传感器，能够借助该传感器测定向流路的壁面析出的析出物的膜厚。静电容量型膜厚传感器具有一对或多对电极、检测该电极间的静电容量的检测装置。若析出物堆积于电极表面，则与该析出物的相对介电常数对应地，电极间的静电容量变化。因此，借助检测装置检测成对的电极间的静电容量，基于该静电容量推定析出物的厚度。

专利文献1：日本特开平6-101655号公报。

专利文献2：日本特开平6-109409号公报。

这里，相对介电常数根据化学物质而不同。在上述静电容量型膜厚传感器中，使用析出物的相对介电常数推定析出物的厚度，所以为了准确地推定析出物的厚度，需要确定析出物的化学组成。然而，用于半导体的制造的原料等根据半导体而不同。因此，向泵内的流路析出的析出物的化学组成并非恒定，难以准确地确定析出物的化学组成。因此，在引用文献1、2所记载的静电容量型膜厚传感器中，不能准确地推定析出物的厚度，难以检测出析出物在流路内堆积至既定的厚度。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述问题所作出的，其目的为提供一种真空泵，前述真空泵具备在不能确定流路内的析出物的化学组成的情况下也能够检测出析出物在流路内堆积至既定的厚度。

本发明的真空泵具有旋转部及固定部、排气机构、主传感器，前述旋转部及固定部在其间形成有内部流路，前述排气机构将气体从吸入口穿过内部流路地送向排气口，前述主传感器用于检测堆积物在内部流路的检测对象位置达到既定的厚度，其特征在于，主传感器具有静电容量检测回路和至少一对电极，前述至少一对电极以与既定的厚度对应的间隔配置于内部流路，前述静电容量检测回路与一对电极连接，检测一对电极间的静电容量，静电容量检测回路基于静电容量的增加率下降，判定成内部流路内的堆积物达到既定的厚度。

在堆积于构成主传感器的一对电极的析出物之间存在间隙的情况(即一对电极之间未由于析出物而被掩埋的情况)下，真空泵被驱动，与各电极的堆积物堆积对应地应，静电容量增加。与此相对，构成主传感器的一对电极之间被堆积物掩埋而没有间隙的情况下，即使将真空泵驱动，电极间的静电容量也几乎不增加。因此，根据上述结构的本发明，能够通过检测到静电容量的增加率下降，检测到成一对电极之间由于堆积物而被掩埋的状态，由此，能够与堆积物的化学组成无关地检测到内部流路内的堆积物达到既定的厚度。

在本发明中，优选地，电极的间隔被设定成检测对象位置的旋转部及固定部的间隔的1~2倍。

堆积物堆积于各电极的表面，所以在静电容量的增加率下降的时刻，能够推定堆积物在各电极堆积至电极间的距离的一半的厚度。因此，仅简单地检测电极的旋转部及固定部之间是否被闭塞的情况下，考虑电极的间隔被设定成检测对象位置的旋转部及固定部的间隔的2倍。然而，若析出物这样地堆积至旋转部及固定部之间被闭塞的程度，则有由于析出物而旋转部破损的可能。与此相对，根据上述结构的本发明，电极的间隔被设定成检测对象位置的旋转部及固定部的间隔的1~2倍，所以能够在旋转部及固定部之间被闭塞前检测出堆积物堆积至既定的厚度。

在本发明中，优选地，一对电极为平板状，被平行地配置。

根据这样的结构的本发明，能够判定堆积于平板状的电极之间的堆积物的厚度达到既定的厚度。

在本发明中，优选地，一对电极为圆筒状，被同心同轴地配置。

根据这样的结构的本发明，能够判定堆积于圆筒状的电极之间的堆积物的厚度达到既定的厚度。

在本发明中，优选地，主传感器被配置于将排气机构的出口和真空泵的排气口连结的排气口侧流路内。

析出物在排气机构的出口和真空泵的排气口之间堆积最多。因此，根据上述结构的本发明，在析出物堆积最多的场所设置主传感器，由此能够切实地防止由于析出物堆积导致的不良情况。

在本发明中，优选地，主传感器被配置于排气口侧流路的距真空泵的排气口最远的部分。

析出物在排气口侧流路中被配置于距真空泵的排气口最远的部分。

因此，根据上述结构的本发明，通过在析出物堆积最多的场所设置主传感器，能够切实地防止由于析出物堆积而产生的不良情况。

在本发明中，优选地，一对电极被配置成沿着在内部流路内流动的气体的流动方向延伸。

根据上述结构的本发明，气体在电极间顺畅地流动，能够抑制由于传感器而妨碍气体的流动。

在本发明中，优选地，排气机构在最后段包括螺纹槽泵，在螺纹槽泵的出口附近设置有气体排出孔。

在螺纹槽泵的出口附近压力变高。这里，析出物容易在压力较高的部位析出，所以若在检测对象位置和设置有主传感器的位置压力差较大，则无法准确地检测析出物的厚度。与此相对，根据上述结构的本发明，在螺纹槽泵的出口附近设置有气体排出孔，所以在螺纹槽泵的出口附近和设置有主传感器的位置减少压力差，能够进行更准确的析出物的厚度的检测。

在本发明中，优选地，还具有配置于内部流路内而包括与静电容量检测回路连接的一对电极副传感器，副传感器的一对电极的间隔被设定成比主传感器的一对电极的间隔短。

根据上述结构的本发明，基于副传感器之间被析出物掩埋的时刻的静电容量，能够求出析出物的相对介电常数(介电常数)，基于该析出物的相对介电常数、主传感器的电极间的静电容量，能够推定堆积于主传感器的电极的析出物的厚度。

在本发明中，优选地，构成为，主传感器的一对电极间的施加电压为100v以下。

根据帕邢法则，若电极间的施加电压超过100v，则在真空泵的内部流路内的压力下有发生放电的可能。与此相对，根据上述结构的本发明，电极间的施加电压为100v以下，所以能够防止在电极间发生放电。

在本发明中，优选地，在主传感器的一对电极的表面形成有绝缘层。

根据上述结构的本发明，即使导电性物质堆积于电极表面，也能够防止在电极间发生短路。

在本发明中，优选地，主传感器的静电容量检测回路和一对电极仅在检测时被通电。

粉状的反应性物质、气体状的反应原料有时带电，析出物容易堆积于带相反的电荷的电极。与此相对，根据上述结构的本发明，电极仅在检测时带电，所以能够防止颗粒容易堆积于电极。

本发明的主传感器是用于上述真空泵的主传感器。

本发明的螺纹槽定子是用于上述真空泵而构成螺纹槽泵的螺纹槽定子。

发明效果

根据本发明，提供具备即使在流路内的析出物的化学组成并非一定的情况下也能够检测到析出物向流路内堆积至既定的厚度的传感器。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的真空泵的铅垂剖视图。

图2是表示本实施方式的真空泵的检测系统的结构的框图。

图3是表示本实施方式的真空泵的主传感器的结构的铅垂剖视图。

图4是将本实施方式的真空泵的螺纹槽定子的螺旋槽的排气口侧的端部展开来表示的图。

图5是表示在螺纹槽定子的出口未设置有气体排出孔的情况的螺旋槽内的气体的压力分布的图。

图6是表示堆积物堆积于主传感器的一对电极的情况的图。

图7是表示经过时间与主传感器的一对电极的静电容量的关系的图表。

图8是用于说明判断检测对象位置的堆积物是否堆积至既定的厚度的方法的流程图。

图9表示其他实施方式的主传感器的一对电极的形状，图9(a)是与中心轴垂直的平面的剖视图，图9(b)是沿中心轴的平面的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图，详细说明本发明的真空泵的一实施方式。

图1是表示本发明的一实施方式的真空泵的铅垂剖视图。

如图1所示，本实施方式的真空泵1在由壳12a及基部12b构成的空间内具有由涡轮分子泵部t及螺纹槽泵部s构成的排气机构8，从形成于壳12a的顶部的吸入口2穿过内部流路6向形成于基部12b的侧部的排气口4送出气体。真空泵1在由壳12a及基部12b构成的空间内具有旋转部14、固定于壳12a的固定部16，在这些旋转部14和固定部16之间形成有从吸入口2延伸至排气口4的内部流路6。

旋转部14具有被马达10旋转的轴18、固定于轴18的转子部20。转子部20具有设置于吸入口2侧的多个转子翼20a、设置于排气口4侧的圆筒部20b。转子翼20a由以相对于与轴18的轴线垂直的平面倾斜的方式放射状地延伸的叶片构成。圆筒部20b是圆筒状的部位，转子部20由不锈钢、铝合金等金属构成。

马达部10例如是直流无刷马达，具有绕轴18的设置的多个永久磁铁10a、设置于永久磁铁10a的周围的多个电磁铁10b。通过顺次切换电磁铁10b的电流在永久磁铁10a的周围生成旋转磁场，永久磁铁10a追随于该旋转磁场，轴18旋转。

此外，在马达部10的上下设置有将轴18沿径向方向轴支承的径向轴承部24、26。作为径向轴承部24、26，由设置于轴18的周围的多个电磁铁24a、26a、设置于轴18的与电磁铁24a、26a相向的位置的靶24b、26b构成。径向轴承部24、26通过电磁铁24a、26a被靶24b、26b吸引来将轴11在径向方向上非接触地支承。

此外，在径向轴承部26的下方设置有推力轴承部28。推力轴承部28具备设置于轴18的电枢盘28a、设置于电枢盘28a的上下的电磁铁28b。推力轴承部28通过电枢盘28a被电磁铁28b的磁力吸引来将轴11沿推力方向非接触地支承。另外，在径向轴承部24及推力轴承部28的附近设置有位置传感器(无图示)，借助该位置传感器检查轴的位置，控制向径向轴承部24、26及推力轴承部28的电磁铁24a、26a、28b供给的电力，使得轴11处于既定的位置。

固定部16具有设置于吸入口2侧的定子翼30、设置于排气口4侧的螺纹槽定子32。定子翼30由相对于与轴18的轴线垂直的平面倾斜而从壳2的内周面向中心延伸的多个叶片构成。在涡轮分子泵部t内，定子翼30和转子翼20a被沿上下方向交替地配置。

螺纹槽定子32是圆筒状的部件，在内周面形成有螺旋槽32a。螺旋槽32a从吸入口2侧向排气口4槽的深度逐渐变小。图4是将本实施方式的真空泵的螺纹槽定子的螺旋槽的排气口侧的端部展开表示的图。如该图所示，在螺纹槽定子32的螺旋槽32a的出口(即螺纹槽定子32的下边缘部)形成有作为气体排出孔的切口32b。

图5是表示在螺纹槽定子的出口未设置有气体排出孔的情况的螺旋槽内的气体的压力分布的图。如该图所示，螺旋槽内的气体朝向出口地压力变高，在出口附近产生高压的区域。与此相对，如上所述，在螺纹槽定子32的螺旋槽32a的出口形成切口32b，由此能够抑制高压的区域的产生。

在螺纹槽定子32的下表面和基部12b之间形成有将螺纹槽泵部s的出口和排气口4连结的排气口侧流路40。

根据上述结构，真空泵1若由于马达部10而旋转部14相对于固定部16旋转，则在前段的涡轮分子泵部t，气体分子被转子翼20a弹飞，气体被送向通过定子翼30之间的方向。并且，在螺纹槽泵部s处，沿着螺纹槽定子32的螺旋槽32a被压缩的同时被送出。由此，气体被从吸入口2吸入，借助排气机构8在内部流路6供给，被排气口4排出。

此外，本实施方式的真空泵1具有用于检测内部流路6的检测对象位置的堆积物达到既定的厚度的检测系统。在排气口侧流路40的真空泵的排气口4的水平方向相反侧(距排气口4最远的部分)，设置有构成检测系统的主传感器42，在主传感器42的附近设置有副传感器(无图示)。

图2是表示本实施方式的真空泵的检测系统的结构的框图。如该图所示，检测系统50具有主传感器42、副传感器44、控制装置52。控制装置52是pc等计算处理装置，例如具有液晶显示器等显示装置48。此外，在控制装置52内形成有静电容量检测回路46，静电容量检测回路46与显示装置48连接。另外，也能够省略副传感器44。

图3是表示本实施方式的真空泵的主传感器的结构的铅垂剖视图。如图3所示，主传感器42具有一对电极54、56、与各电极54、56连接的连接器58、60。下方的电极56被水平地载置于由绝缘材料构成的基板62上，上方的电极54借助被配置于下方的电极56上的由绝缘材料构成的间隔件55，以电极54、56的间隔为既定的间隔的方式被水平地支承。主传感器42的基板62借助螺纹件64固定于基部12b。

在排气口侧流路40，穿过螺纹槽定子32的螺旋槽32a的气体沿周向流动。如上所述，构成主传感器42的电极54、56被水平地支承，被设置于气体的流动方向。

一对电极54、56由金属板构成，表面形成有例如防蚀铝、ptfe(特氟隆(注册商标))等绝缘层。在各电极54、56处连接有被埋设于基部12b的连接器58、60，从连接器58、60延伸的电线66a、66b被连接于控制装置52的静电容量检测回路46。

副传感器44具有电极68、70，其结构为仅与主传感器42的电极间的距离不同，其他与主传感器42相同。与电极68、70连接的电线72a、72b与控制装置52的静电容量检测回路46连接。

静电容量检测回路46是用于检测一对电极间的静电容量的回路，测量真空泵1的累积驱动时间t，并且驱动时间每经过δt就测定主传感器42及副传感器44的静电容量cm(t)、cs(t)。并且，静电容量检测回路46基于各时间的静电容量cm(t)、cs(t)计算静电容量的增加率dcm(t)、dcs(t)。进而，静电容量检测回路46基于该静电容量的增加率dcm(t)、dcs(t)检测析出物是否达到既定的厚度。

另外，设定成，由静电容量检测回路46测定主传感器42的静电容量时施加至一对电极54、56的施加电压为100v以下。此外，设定成，由静电容量检测回路46测定副传感器44的静电容量时施加至一对电极68、70的施加电压也为100v以下。此外，静电容量检测回路46和主传感器42的一对电极54、56及副传感器44的一对电极68、70仅在检测静电容量期间通电，在静电容量的检测之间被切断。

在本实施方式中，对作为检测对象位置设定螺旋槽32a的出口、借助检测系统50检测螺旋槽32a的出口处的析出物是否达到既定的厚度的情况进行说明。

首先，对根据本实施方式的检测系统检测析出物是否达到既定的厚度的原理进行说明。

由一对平板状的金属构成的电极的静电容量c能够通过c＝ε0×εs×s/l计算。上述的式子中ε0表示真空的介电常数，εs是一对电极之间的物质的相对介电常数，s是电极的面积，l是电极的距离。

图6是表示堆积物在主传感器的一对电极堆积的情况的图，图7是表示经过时间和主传感器的一对电极的静电容量的关系的图表。另外，经过时间是指将堆积物未堆积于电极的时刻设为t0的真空泵的驱动时间。如图6(a)所示，在初始的时刻t＝t0下，堆积物未堆积于电极。因此，如图7所示，在主传感器42的一对电极54、56之间存在借助真空泵1抽吸的气体，静电容量为较小的值。接着，如图6(b)所示，在时刻t＝t1下，堆积物a析出至电极54、56的表面。若这样地向电极54、56的表面析出，则堆积物a的相对介电常数εs比在真空泵1的内部流路6流动的气体大，所以如图7所示地一对电极54、56的静电容量增加。如图6(b)所示，分别向电极54、56析出的堆积物之间存在间隙的期间，静电容量持续增加。与此相对，在时刻t＝t2下，如图6(c)所示，若分别向电极54、56析出的堆积物a之间没有间隙，则电极54、56之间的物质的相对介电常数εs不变化，所以如图7所示，单位时间的静电容量的增加率下降。在本实施方式的检测系统中，借助静电容量检测回路46检测主传感器42及副传感器44的静电容量，在该静电容量的单位时间的增加率下降的情况下，判定成在主传感器42及副传感器44的各电极54、56、68、70处堆积物堆积至各电极的间隔的一半的厚度。

这些主传感器42的一对电极54、56的间隔dm、及副传感器44的一对电极68、70的间隔ds如下所述，与成为检测对象位置的堆积物的危险的既定的厚度对应地被确定。如上所述，在本实施方式中，检测螺旋槽32a的出口处的析出物是否达到既定的厚度。螺旋槽32a的出口和主传感器42及副传感器44被设置的位置非常近，在螺旋槽32a的出口、主传感器42及副传感器44被设置的位置处呈气体的压力、温度大致相等的状态。这样的情况下，设定成主传感器42的电极54、56之间的间隔dm为螺旋槽32a的出口处的旋转部14及固定部16的间隔(即圆筒部20b和螺旋槽32a的槽底部的间隔)的1~2倍。这是为了不使得堆积于固定部16的析出物与旋转部14接触而使旋转部14破损。

此外，检测对象位置和设置主传感器42及副传感器44的位置离开的情况下，考虑检测对象位置、设置主传感器42及副传感器44的位置的气体的温度、压力来决定。这是因为，气体所含的成分由于温度、压力而析出量不同。

此外，副传感器44的电极68、70的间隔ds例如设定成主传感器42的电极54、56的间隔dm的0.5倍等比主传感器42的电极54、56的间隔dm小的间隔。这是为了如后所述地基于副传感器44的静电容量推定堆积物a的相对介电常数。

以下，说明借助本实施方式的真空泵的检测系统判定检测对象位置处的堆积物是否堆积至既定的厚度的方法。图8是用于说明判定检测对象位置处的堆积物是否堆积至既定的厚度的方法的流程图。

首先，真空泵的最初使用时、或进行将内部的堆积物除去的维护后，将静电容量检测回路46的累积驱动时间t设为t＝0，设定成静电容量检测回路46的测定时间tm＝0(s0)。

接着，若累积驱动时间t达到tm，则将静电容量检测回路46、主传感器42的一对电极54、56及副传感器44的一对电极68、70切换成通电状态，测定时刻t的主传感器42及副传感器44的静电容量cm(t)、cs(t)(s1)。另外，主传感器42及副传感器44的静电容量cm(t)、cs(t)的测定完成后，再次将静电容量检测回路46与主传感器42的一对电极54、56及副传感器44的一对电极68、70的连接切断。

并且，t＞0的情况下，基于测定的主传感器42及副传感器44的静电容量cm(t)、cs(t)计算时刻t的静电容量的增加率dcm(t)、dcs(t)(s2)。主传感器42的静电容量的增加率dcm(t)例如作为dcm(t)＝(cm(t)-dcm(t-δt))/δt计算即可，副传感器44的静电容量的增加率作为dcs(t)＝(cs(t)-dcs(t-δt))/δt计算即可。

接着，比较时刻t的副传感器44的静电容量的增加率dcs(t)与时刻t-δt的副传感器44的静电容量的增加率dcs(t-δt)(s3)。时刻t的副传感器44的静电容量的增加率dcs(t)与时刻t-δt的副传感器44的静电容量的增加率dcs(t-δt)相等或比dcs(t-δt)大的情况下(dcs(t)≧dcs(t-δt))，向后述的比较主传感器42的静电容量的增加率dcm(t)与时刻t-δt的主传感器42的静电容量的增加率dcm(t-δt)的步骤(s7)进入。此外，在s3中，时刻t的副传感器44的静电容量的增加率dcs(t)比时刻t-δt的副传感器44的静电容量的增加率dcs(t-δt)小的情况下(dcs(t)＜dcs(t-δt))，推定为副传感器44的一对电极68、70之间被析出物掩埋，所以向计算堆积物的相对介电常数的步骤(s4)进入。

在计算堆积物的相对介电常数的步骤(s4)中，基于副传感器44的一对电极68、70的间隔ds、测定的副传感器44的静电容量cs，计算堆积于一对电极68、70之间的析出物的相对介电常数εs。析出物的相对介电常数εs例如能够基于上述的式子c＝ε0×εs×s/l计算。另外，s1~s8的步骤重复直至在步骤s7中呈dcm(t)＜dcm(t-δt)，但在计算堆积物的相对介电常数的步骤(s4)进行一次后能够省略。

接着，基于上述计算的相对介电常数εs、主传感器42的静电容量cm(t)推定堆积于主传感器42的析出物的厚度(s5)。然后，在显示装置48显示推定的堆积于主传感器42的析出物的厚度。此时，例如，若基于析出物的堆积的速度(单位时间的堆积物的厚度的增加率)将真空泵1以今后的程度的时间驱动，则显示主传感器42的一对电极54、56之间是否被堆积物闭塞、即在检测对象位置处堆积物是否堆积至既定的厚度即可。

接着，比较时刻t的主传感器42的静电容量的增加率dcm(t)、时刻t-δt的主传感器42的静电容量的增加率dcm(t-δt)(s7)。时刻t的主传感器42的静电容量的增加率dcm(t)与时刻t-δt的主传感器42的静电容量的增加率dcm(t-δt)相等或比dcm(t-δt)大的情况下(dcm(t)≧dcm(t-δt))，作为tm＝tm＋δt(s8)返回s2。

此外，在s7中，在dcm(t)＜dcm(t-δt)的情况下，借助静电容量检测回路46判定成主传感器42的一对电极54、56之间被堆积物掩埋，由显示装置48进行内部流路6的检测对象位置的堆积物达到既定的厚度的意思的显示。作业员在显示装置48显示内部流路6的检测对象位置的堆积物达到既定的厚度的意思的情况下，将真空泵1解体来进行维护。另外，s7也能够省略至在s3中被判定成dcs(t)＜dcs(t-δt)为止。

如以上说明，若在堆积于构成主传感器42的一对电极54、56的析出物之间存在间隙，则真空泵1被驱动而与堆积物堆积对应地静电容量增加。与此相对，若构成主传感器42的一对电极54、56之间被堆积物掩埋而没有间隙，则之后即使驱动真空泵1，电极54、56间的静电容量也几乎不增加。因此，根据本实施方式，通过静电容量检测回路46检测主传感器42的一对电极54、56的静电容量的增加率下降，能够检测成为一对电极54、56之间被堆积物掩埋的状态，由此，能够与堆积物的化学组成无关地检测内部流路6内的堆积物达到既定的厚度。

此外，在上述实施方式中，主传感器42的一对电极54、56的间隔被设定为检测对象位置的旋转部14及固定部16的间隔的1~2倍。堆积物a堆积于各电极54、56的表面，所以能够在静电容量的增加率下降的时刻推定成堆积物在各电极54、56堆积至电极间的距离的一半的厚度。因此，仅简单地检测电极54、56的旋转部14及固定部16之间是否被闭塞的情况下，考虑电极54、56的间隔被设定成检测对象位置的旋转部14及固定部16的间隔的2倍。然而，若析出物这样地堆积至将旋转部14及固定部16之间闭塞的程度，则有由于析出物而旋转部16破损的可能。与此相对，根据上述实施方式，电极54、56的间隔被设定成检测对象位置的旋转部14及固定部16的间隔的1~2倍，所以能够在旋转部14及固定部16之间被闭塞前检测到堆积物堆积至既定的厚度。

此外，在上述实施方式中，一对电极54、56是平板状的，被平行地配置，由此，能够判定成堆积于平板状的电极54、56之间的堆积物的厚度达到既定的厚度。

析出物在排气机构8的出口和真空泵1的排气口4之间堆积地最多。与此相对，在上述实施方式中，主传感器42被配置于将排气机构8的出口和真空泵1的排气口4连结的排气口侧流路40内，所以能够切实地防止由析出物堆积而产生的不良情况。

析出物在排气口侧流路40中也堆积于距真空泵1的排气口4最远的部分。与此相对，在上述实施方式中，主传感器42配置于排气口侧流路40的距真空泵1的排气口4最远的部分，所以能够切实地防止由于析出物堆积导致的不良情况。

此外，根据上述实施方式，一对电极54、56被配置成沿在内部流路6内流动的气体的流动方向延伸，所以在电极间气体顺畅地流动，能够抑制由于传感器妨碍气体的流动。

在螺纹槽泵部s的出口附近压力变高。这里，析出物在压力较高的部位容易析出，所以若检测对象位置与设置有主传感器42的位置压力差变大，则无法进行准确的析出物的厚度的检测。与此相对，根据上述实施方式，在螺纹槽泵部s的螺旋槽32a的出口附近作为气体排出孔设置有切口32b，所以减少螺纹槽泵部s的出口附近和设置有主传感器42的位置的压力差，能够进行更准确的析出物的厚度的检测。

根据上述实施方式，还具有配置于内部流路6内而包括与静电容量检测回路46连接的一对电极68、70的副传感器44，副传感器44的一对电极68、70的间隔被设定为比主传感器42的一对电极54、56的间隔短。由此，基于副传感器44之间被析出物掩埋的时刻的静电容量能够求出析出物的介电常数，基于该析出物的介电常数、主传感器42的电极54、56间的静电容量，能够推定堆积于主传感器42的电极54、56的析出物的厚度。

根据帕邢法则，若电极间的施加电压超过100v，则在真空泵1的内部流路6内的压力下有发生放电的可能。与此相对，根据上述实施方式，电极54、56间的施加电压为100v以下，所以能够防止在电极54、56间发生放电。

根据上述实施方式，在主传感器42的一对电极54、56的表面形成有绝缘层，所以即使导电性物质堆积于电极54、56的表面，也能够防止在电极54、56间发生短路。

粉状的反应性物质、气体状的反应原料有带电的情况，析出物容易堆积于带有相反的电荷的电极。与此相对，根据上述实施方式，主传感器42的静电容量检测回路46和一对电极54、56仅在检测时被通电，所以能够防止颗粒容易堆积于电极54、56。

另外，在上述实施方式中，作为主传感器42及副传感器44的一对电极使用板状的部件，但一对电极的形状不限于此。图9表示其他实施方式的主传感器的一对电极的形状，图9(a)是与中心轴垂直的平面的剖视图，图9(b)是沿中心轴的平面的剖视图。如图9所示，作为主传感器42及副传感器44的电极，也可以采用同心同轴地配置的半径不同的圆筒状的金属部件154、156。在使用这样的电极来检测在检测对象位置处堆积物达到既定的厚度的情况下，将外侧的圆筒状的金属部件154的内径和内侧的圆筒状的金属部件156的外径的差设定成与既定的厚度对应的间隔即可。

根据上述实施方式，能够判定堆积于圆筒状的电极(金属部件154、156)之间的堆积物的厚度达到既定的厚度。

另外，在上述实施方式中，螺纹槽定子32是圆筒状的部件，在内周面形成有螺旋槽32a，但不限于此，也有在圆筒部20b的外周面形成螺旋槽32a而在螺纹槽定子32的内周面没有槽的情况。

此外，螺纹槽定子32被配置于圆筒部20b的内侧的情况下，螺旋槽32a被形成于外周面。

另外，有关本发明的主传感器、真空泵除了应用于将上述涡轮分子泵部和螺纹槽泵部组的复合式的真空泵以外，也能够应用于仅为涡轮分子泵部的真空泵。

此外，本发明的实施方式及各变形例也可以是根据需要组合的结构。此外，本发明只要不脱离本发明的精神能够进行各种改变，并且，本发明显然也涉及该改变。

附图标记说明

1真空泵

2吸入口

4排气口

6内部流路

8排气机构

10马达

10a永久磁铁

10b电磁铁

12a壳

12b基部

14旋转部

16固定部

18轴

20转子部

20a转子翼

20b圆筒部

24径向轴承部

24a电磁铁

24b靶

26径向轴承部

26a电磁铁

26b靶

28推力轴承部

28a电枢盘

28b电磁铁

30定子翼

32螺纹槽定子

32a螺旋槽

32b切口

40排气口侧流路

42主传感器

44副传感器

46静电容量检测回路

48显示装置

50检测系统

52控制装置

54、56电极

55间隔件

58、60连接器

62基板

64螺纹件

66a、66b电线

68、70电极

72a，72b电线

154、156金属部件

t涡轮分子泵部

s螺纹槽泵部。