放射线检测器和放射线检测装置的制作方法

文档序号:21367192发布日期:2020-07-04 04:42阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种放射线检测器,具备壳体以及配置在所述壳体的内侧的硅漂移型放射线检测元件,其特征在于,

所述壳体具有未被堵塞的开口部,

所述硅漂移型放射线检测元件具有大于所述开口部且与所述开口部对置的表面,

所述壳体还具有经由粘接构件与所述表面的一部分重叠的重叠部分,

所述粘接构件具有遮光性。

2.根据权利要求1所述的放射线检测器,其特征在于,

所述表面具有能够检测所入射的放射线的有感区域,

所述表面中由所述重叠部分重叠的部分包围的部分包含在所述有感区域中。

3.根据权利要求1或2所述的放射线检测器,其特征在于,

所述重叠部分由含金属材料构成,

所述粘接构件具有绝缘性。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的放射线检测器,其特征在于,

所述表面中由所述重叠部分重叠的部分包围的部分通过遮光膜覆盖。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的放射线检测器,其特征在于,

不具备对所述硅漂移型放射线检测元件进行冷却的冷却部,

所述壳体未被气密。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的放射线检测器,其特征在于,

在与所述表面对置的位置不设置窗构件。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的放射线检测器,其特征在于,

所述硅漂移型放射线检测元件还包括:

信号输出电极,设置在处于与所述表面相反侧的背面,流入通过放射线的入射而产生的电荷,输出与所述电荷对应的信号;

第一电极,设置在所述表面,被施加电压;以及

多个第二电极,设置在所述背面,包围所述信号输出电极,距所述信号输出电极的距离互不相同,

所述第二电极具有沿着所述背面的一个方向的长度大于沿着所述背面的其他方向的长度的形状,

所述信号输出电极由沿着所述一个方向排列且相互连接的多个电极构成。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的放射线检测器,其特征在于,

所述硅漂移型放射线检测元件还包括:

信号输出电极,设置在处于与所述表面相反侧的背面,流入通过放射线的入射而产生的电荷,输出与所述电荷对应的信号;

第一电极,设置在所述表面,被施加电压;以及

多个第二电极,设置在所述背面,包围所述信号输出电极,距所述信号输出电极的距离互不相同,

所述第二电极具有沿着所述背面的一个方向的长度大于沿着所述背面的其他方向的长度的形状,

所述信号输出电极包括设置在所述背面且沿着所述一个方向延伸的导电线。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的放射线检测器,其特征在于,

还包括填充在所述壳体与所述硅漂移型放射线检测元件之间的间隙的填充物。

10.一种放射线检测装置,其特征在于,包括:

权利要求1至9中任一项所述的放射线检测器;以及

光谱生成部,生成该放射线检测器检测到的放射线的光谱。

11.一种放射线检测装置,其特征在于,包括:

照射部,向试样照射放射线;

权利要求1至9中任一项所述的放射线检测器,检测从所述试样产生的放射线;

光谱生成部,生成该放射线检测器检测到的放射线的光谱;以及

显示部,显示该光谱生成部生成的光谱。


技术总结
本发明提供放射线检测器和放射线检测装置,通过减小放射线检测器的大小,提高了放射线的检测效率。放射线检测器(1)具备壳体(13、14)、以及配置在壳体(13、14)的内侧的硅漂移型放射线检测元件(11)。壳体(13、14)具有未被堵塞的开口部(131)。硅漂移型放射线检测元件(11)具有大于开口部(131)且与开口部(131)对置的表面(111)。壳体(13、14)还具有经由粘接构件(162)与表面(111)的一部分重叠的重叠部分(132)。粘接构件(162)具有遮光性。

技术研发人员:松永大辅;青山淳一;大久保悠史;井川圣史
受保护的技术使用者:株式会社堀场制作所
技术研发日:2018.12.14
技术公布日:2020.07.03
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1