异物检查装置以及异物检查方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明涉及异物检查装置以及异物检查方法。减低异物的检测遗漏的可能。主面的法线方向相对于电磁波产生源放出的电磁波的强度最高的方向倾斜。

技术研发人员：加集功士
受保护的技术使用者：住友化学株式会社
技术研发日：2019.03.29
技术公布日：2019.10.15