基于F-P干涉仪透射式正交偏振相位显微成像装置的制作方法

文档序号:20682541发布日期:2020-05-08 18:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于f-p干涉仪腔内增强型的透射式正交偏振相位显微成像装置。其特征是:它由激光光源1、光衰减系统2、激光扩束系统3、f-p干涉仪4、偏振分光棱镜(pbs)5、显微物镜6和8、探测相机7和9、计算机10组成。所述装置中,将待测微粒放入f-p干涉仪(法布里-珀罗干涉仪),激光光源1发出的光经光衰减系统2衰减后,再由激光扩束系统3扩束,随后进入到f-p干涉仪4,光束在f-p干涉仪的腔内每反射一次,都有相应的透射光传至pbs偏振分光棱镜5中,经过多次反射后,pbs分光棱镜产生两束传播方向垂直且偏振态相互垂直的光束,分别传至显微物镜6和8,由探测相机7和9分别接收信号后,将得到的信号传输至计算机10进行处理。计算机10将得到的两组信号做出对比,消除掉单张图像所存在的误差,得到理想的图像。

2.根据权利要求1所述的显微成像装置,其特征是:所使用的光路系统中的f-p干涉仪作为产生成倍光程差的器件,通过光在f-p腔中的多次反射,每次经过待测微粒都可以成倍增加光程差,从而显著增大干涉条纹的宽度,达到了提高分辨率的目的。

3.根据权利要求2所述的f-p干涉仪,其特征是:所述的f-p干涉仪,腔体长度不变,待测物体置于腔体中,通过多次反射得到成倍放大的干涉条纹。

4.根据权利要求1所述的显微成像装置,其特征是:所使用的pbs偏振分光棱镜将光束分为偏振方向垂直的两束光,可以分别得到两幅图像,克服单一偏振态记录导致的信息缺失,提高图像分辨率。

5.根据权利要求1所述的显微成像测量装置。其特征是:所使用的显微物镜为高分辨率物镜。


技术总结
本发明提供的是一种基于F‑P干涉仪腔内增强型透射式正交偏振相位显微成像装置。其特征是:它由激光光源1、光衰减系统2、激光扩束系统3、F‑P干涉仪4、PBS偏振分光棱镜5、显微物镜6和8、探测相机7和9、计算机10组成。本发明可用于微小物体的数字全息测量,可广泛用于各种物体内部的折射率三维显微成像领域。

技术研发人员:苑立波;李晟;孟令知
受保护的技术使用者:桂林电子科技大学
技术研发日:2019.11.08
技术公布日:2020.05.08
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