一种新型激光功率探头的制作方法

文档序号:18447141发布日期:2019-08-16 22:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型激光功率探头,其特征在于:所述激光功率探头包括衬底、耐高温保护层、吸光导热材料层及薄膜热电堆,所述吸光导热材料层的下表面位于所述衬底的上表面,所述薄膜热电堆位于所述衬底的下表面,所述吸光导热材料层的上表面覆盖所述耐高温保护层,所述薄膜热电堆的两端引出正负电极。

2.如权利要求1所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述耐高温保护层厚度为2-20um;所述吸光导热材料层厚度为20-500um;所述薄膜热电堆厚度为10-1000nm。

3.如权利要求1或2所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述衬底为玻璃衬底、石英衬底或金属板衬底。

4.如权利要求1或2所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述耐高温保护层为二氧化钒或五氧化二钒层。

5.如权利要求1或2所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述吸光导热材料层为碳化硅或金刚砂层。

6.如权利要求1或2所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述薄膜热电堆的材料为镍-铬、镍-硅、镍-铝、铜、镍、康铜。

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