一种倒置式X光管精密微调定位装置的制作方法

本实用新型属于高精度微调定位技术领域，尤其涉及一种倒置式x光管精密微调定位装置。

背景技术：

微束微区荧光分析是进行物质成分显微结构和元素含量定量分析相结合的新技术。该类仪器在进行样品显微观察的时候，需要同时开展观察点表面元素含量的定量分析。

现有的类似仪器是选择专用显微镜结构，再设计专用的移动平台，配合数控系统组成完整的仪器系统，这样的成本非常高。实际上，光学显微镜是很多实验室标配基础设备之一，如果能够在普通光学显微镜基础上，通过安装精密微调定位装置，利用已有的载物台、成像系统实现微束微区分析仪器的基本功能，能够大大节约仪器的成本，提升设备的使用率。

其次，目前微束微区荧光分析系统，其成像物镜位于观测样品上方。这样受到载物台与物镜移动最大行程的限制，能够观测的样品体积受到影响。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于解决上述现有技术存在的缺陷，提供一种倒置式x光管精密微调定位装置，实现高精度微调对一体化x光管进行定位，实现x光管、物镜以及信号探测器的中心轴线交汇于显微镜所观察的样本上。

本实用新型采用如下技术方案：

一种倒置式x光管精密微调定位装置，其特征在于，包括底板1、五轴位移台2、斜坡台3、一体化x光管4、信号探测器固定器5、信号探测器6，五轴位移台2的底部通过4个螺钉固定在底板1上，五轴位移台2的顶部通过螺栓安装有一个斜坡台3，斜坡台3包括中部的斜板和两侧的薄板，其中一侧的薄板上开设有五个直径相同的孔，孔中插入固定螺钉7，固定螺钉7将一体化x光管4顶在另一侧的薄板上，一体化x光管4上安装有信号探测器固定器5，信号探测器6安装在信号探测器固定器5上。

作为本实用新型的优选，所述的斜坡台3的中部的斜板的倾斜角度为10°。

作为本实用新型的优选，进一步的所述的信号探测器固定器5包括一个长方体，在长方体侧面延伸出的一个小长方体，小长方体的上表面为倾斜度为30度的斜面，且此面的小长方体开设有孔，信号探测器6通过孔安装于信号探测器固定器5上。

作为本实用新型的优选，进一步的所述的底板1上设置有多个用于固定一体化x光管精密微调定位装置的通孔。

本实用新型的有益效果：

(1).调整过程是通过五轴位移台的实现的，能轻松实现对一体化x光管的各方向与角度的调整。

(2).五轴位移台导轨采用精密线性滚珠配合精磨钢棒导轨，运动舒适，精度高。测微头驱动三轴平移，弹簧复位，定量读数，还能消除空回，俯仰和旋转调整采用m6x0.25超细牙螺杆，高品质碟簧复位，稳定性特佳，调整完成后不易变化。

(3).本实用新型结构简单，便于加工和拆装。

(4).安装的一体化x光管距离显微镜所观察的样品较近，能让x射线更多的照射在样品上。

(5).一体化光管从下部照射样品表面。样品只需贴近位移台表面即可观察，样品上表面空间大小无限制。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的侧视图；

图3为本实用新型的俯视图；

图4为本实用新型的底板结构示意图；

图5为本实用新型的五轴位移台的结构示意图；

图6为本实用新型的斜坡台结构示意图；

图7为本实用新型的一体化x光管结构示意图；

图8为本实用新型的信号探测器固定器结构示意图；

图9为本实用新型的信号探测器结构示意图。

图中：1-底板、2-五轴位移台、3-斜坡台、4-一体化x光管、5-信号探测器固定器、6-信号探测器、7-固定螺钉。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，本实用新型的一种倒置式x光管精密微调定位装置，包括底板1、五轴位移台2、斜坡台3、一体化x光管4、信号探测器固定器5、信号探测器6。

如图4所示，底板上有4个螺栓孔，五轴位移台2的底部通过这4个螺钉固定在底板1上。倒置金相显微镜的底座上四个圆垫对应底板1上条形长方体上四个圆孔，用于将金相显微镜显微镜放在底板1上。

如图5所示，所述的五轴位移台2的导轨采用精密线性滚珠配合的精磨钢棒导轨，五轴位移台2在导轨上能沿x/y/z三轴运行，并且顶部能进行俯仰和旋转。

如图6所示，斜坡台3的斜板台面上开设有竖直向下的沉头螺栓孔，斜坡台3通过此螺栓孔和螺栓安装于五轴位移台2的顶部；

斜坡台3包括中部的斜板和两侧的薄板，其中一侧的薄板上开设有五个直径相同的孔，一体化x光管4放在斜板上，五个直径相同的孔中旋入1-5个固定螺钉7将一体化x光管4顶在另一侧的薄板上。

如图7所示，所述的信号探测器固定器5包括一个长方体，在长方体侧面延伸出的一个小长方体，小长方体的上表面为倾斜度为30度的斜面，目的是为了使一体化x光管4和信号探测器固定器5轴线交汇。且此面的小长方体开设有13个孔，信号探测器6的引脚通过孔安装于信号探测器固定器5上。

进一步的，所述的底板1上设置有多个用于固定一体化x光管精密微调定位装置的通孔。

本实用新型的工作过程是：将本装置安装好后，旋转五轴位移台上的超细牙螺杆调整一体化x光管4和信号探测器6的位置，使一体化x光管4、信号探测器6以及物镜的中心轴线聚焦于倒置金相显微镜所观察的样品上的一点。

本实用新型能轻松实现对x光管的各方向的调整。其调整精度高，调整完成后稳定性好、不易变化。结构简单，便于拆装。并且设计安装x光管距离显微镜所观察的样品较近，能让x射线更多的照射在样品上。x光管从样品底部照射样品，样品只需贴紧载物台即可观察，其上部空间、体积无限制。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。