一种扫描隧道显微镜的制作方法

本实用新型涉及一种扫描隧道显微镜。

背景技术：

扫描隧道显微镜是一种扫描探针显微术工具，通过探针接近待测样品从而对待测样品的表面进行高精度的扫描。在探针的探测过程中，其针尖可能会被污染，导致不符合探测条件，需对针尖进行处理并标定，去除针尖的污染，随后再进行探测。

但是，现有的扫描隧道显微镜，其内只有一个用于承载样品的平台，当需要对探针进行标定时，需将待测样品取出，随后放入标定样品，标定好后再将标定样品取出，并放入待测样品。这样频繁的取出放入，一方面增加了待测样品被污染的几率，另一方面极大的影响了工作效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种改进的扫描隧道显微镜，该扫描隧道显微镜能够有效的减少待测样品取放次数，减少待测样品被污染的几率，同时能够极大的提高工作效率。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种扫描隧道显微镜，所述扫描隧道显微镜包括筒体、设于所述筒体内的用于承载标定样品的第一平台、用于承载待测样品的第二平台、用于探测所述标定样品和所述待测样品的探针，所述第一平台和所述第二平台分别在水平方向上可滑动的设置，所述探针位于所述第一平台和所述第二平台上方且分别能够配合的接近所述标定样品和所述待测样品。

优选地，所述第一平台的承载面和所述第二平台的承载面位于同一水平面上。

进一步优选地，所述第一平台位于所述第二平台的上方，所述第二平台上设有用于承载所述待测样品的承载块，所述承载块的承载面与所述第一平台的承载面位于同一水平面上。

优选地，所述扫描隧道显微镜还包括用于驱动所述第一平台和所述第二平台运动的第一驱动组件。

进一步优选地，所述第一驱动组件包括设于所述筒体内的驱动支架、设于所述驱动支架和所述筒体之间的压电陶瓷，所述第一平台和所述第二平台分别连接于所述驱动支架上。

优选地，所述探针沿着竖直方向可滑动的设置。

进一步优选地，所述扫描隧道显微镜还包括用于驱动所述探针滑动的第二驱动组件。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型的扫描隧道显微镜，通过第一平台和第二平台的设置，使得探针能够方便的在待测样品和标定样品之间进行切换，能够有效的减少待测样品取放次数，减少待测样品被污染的几率，同时能够极大的提高工作效率。

附图说明

附图1为本实用新型的内部结构示意图。

其中：1、筒体；2、第一平台；3、第二平台；4、探针；5、承载块；6、第一驱动组件；61、驱动支架；62、压电陶瓷；

100、标定样品；101、待测样品。

具体实施方式

下面结合附图来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。

本实用新型涉及对扫描隧道显微镜的创新，提出了一种改进的扫描隧道显微镜，该扫描隧道显微镜能够很好的解决样品取放过于频繁的问题，减少了待测样品被污染的几率，同时极大的提高了工作效率。

具体地，参见图1所示，一种扫描隧道显微镜，扫描隧道显微镜包括筒体1、设于筒体1内的用于承载标定样品100的第一平台2、用于承载待测样品101的第二平台3、用于探测标定样品100和待测样品101的探针4，第一平台2和第二平台3分别在水平方向上可滑动的设置，探针4位于第一平台2和第二平台3上方且分别能够配合的接近标定样品100和待测样品101。当需要探测待测样品101时，第二平台3载着待测样品101移动至探针4下方，探针4能够对待测样品101进行探测；当需要标定时，第二平台3回位，第一平台2载着标定样品100移动至探针4下方，探针4能够进行标定。

在本实施例中，第一平台2的承载面和第二平台3的承载面位于同一水平面上。优选地，出于空间考虑，第一平台2位于第二平台3的上方，第二平台3上设有用于承载待测样品101的承载块5，承载块5的承载面与第一平台2的承载面位于同一水平面上。这里，将第一平台2设于第二平台3的上方，避免了两者移动时相互影响。

上述的探测装置还包括用于驱动第一平台2和第二平台3运动的第一驱动组件6。这里的第一驱动组件6包括设于筒体1内的驱动支架61、设于驱动支架61和筒体1之间的压电陶瓷62，第一平台2和第二平台3分别连接于驱动支架61上。在本实施例中，第一平台2和第二平台3同步运动，且压电陶瓷62在驱动支架61顶部和底部的各设有三个，通过脉冲电流控制压电陶瓷形变从而带动第一平台2和第二平台3移动，当第一平台2接近探针4时，第二平台3即远离探针4；反之则第一平台2远离，第二平台3接近探针4。

本实施例的探针4沿着竖直方向可滑动的设置，上述的探测装置还包括用于驱动探针4滑动的第二驱动组件（图中未示出）。当待测样品100或标定样品101到达探针4下方时，探针4向下移动并进行探测。这里的第二驱动组件也可以为压电陶瓷。

以下具体阐述下本实施例的工作过程：当需要探测待测样品101时，第二平台3载着待测样品101移动至探针4下方，探针4能够对待测样品101进行探测；当需要标定时，第二平台3回位，第一平台2载着标定样品100移动至探针4下方，探针4能够进行标定。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种扫描隧道显微镜，其特征在于：所述扫描隧道显微镜包括筒体（1）、设于所述筒体（1）内的用于承载标定样品（100）的第一平台（2）、用于承载待测样品（101）的第二平台（3）、用于探测所述标定样品（100）和所述待测样品（101）的探针（4），所述第一平台（2）和所述第二平台（3）分别在水平方向上可滑动的设置，所述探针（4）位于所述第一平台（2）和所述第二平台（3）上方且分别能够配合的接近所述标定样品（100）和所述待测样品（101）。

2.根据权利要求1所述的一种扫描隧道显微镜，其特征在于：所述第一平台（2）的承载面和所述第二平台（3）的承载面位于同一水平面上。

3.根据权利要求2所述的一种扫描隧道显微镜，其特征在于：所述第一平台（2）位于所述第二平台（3）的上方，所述第二平台（3）上设有用于承载所述待测样品（101）的承载块（5），所述承载块（5）的承载面与所述第一平台（2）的承载面位于同一水平面上。

4.根据权利要求1所述的一种扫描隧道显微镜，其特征在于：所述扫描隧道显微镜还包括用于驱动所述第一平台（2）和所述第二平台（3）运动的第一驱动组件（6）。

5.根据权利要求4所述的一种扫描隧道显微镜，其特征在于：所述第一驱动组件（6）包括设于所述筒体（1）内的驱动支架（61）、设于所述驱动支架（61）和所述筒体（1）之间的压电陶瓷（62），所述第一平台（2）和所述第二平台（3）分别连接于所述驱动支架（61）上。

6.根据权利要求1所述的一种扫描隧道显微镜，其特征在于：所述探针（4）沿着竖直方向可滑动的设置。

7.根据权利要求6所述的一种扫描隧道显微镜，其特征在于：所述扫描隧道显微镜还包括用于驱动所述探针（4）滑动的第二驱动组件。

技术总结
本实用新型公开了一种扫描隧道显微镜，扫描隧道显微镜包括筒体、设于筒体内的用于承载标定样品的第一平台、用于承载待测样品的第二平台、用于探测标定样品和待测样品的探针，第一平台和第二平台分别在水平方向上可滑动的设置，探针位于第一平台和第二平台上方且分别能够配合的接近标定样品和待测样品。本实用新型的扫描隧道显微镜，通过第一平台和第二平台的设置，使得探针能够方便的在待测样品和标定样品之间进行切换，能够有效的减少待测样品取放次数，减少待测样品被污染的几率，同时能够极大的提高工作效率。

技术研发人员：张磊
受保护的技术使用者：苏州衡微仪器科技有限公司
技术研发日：2019.12.31
技术公布日：2020.09.04